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6.2 Reinigung der Turbopumpe
Ein Zeichen für die Verschmutzung der
Pumpe ist, wenn der gewünschte
Arbeitsdruck nicht mehr in der übli-
chen Zeit erreicht wird, obwohl sich die
Leck- und Desorptionsrate nicht ver-
ändert hat.
Bei leichter Verschmutzung, z.B. durch
Betriebsmittelniederschläge, kann die
Pumpe in unzerlegtem Zustand mit
reinem Alkohol gereinigt werden (siehe
6.2.1). Handelt es sich jedoch um
schwerlösliche Medien oder liegt eine
extreme Verschmutzung vor, muß die
Pumpe vollkommen demontiert
werden. Hierzu sollte grundsätzlich der
PFEIFFER-Service herangezogen
werden, damit die Gewähr für
einwandfreie Funktion gegeben ist.
6.2.1 Reinigung in unzerlegtem
Zustand
Fig. 15
– Pumpe abschalten und auf Atmo-
sphärendruck fluten.
– Pumpe aus der Anlage demontieren.
– Wenn vorhanden, Heizmanschette
abnehmen.
– Betriebsmittelspeicher entnehmen
(siehe 6.1).
– Pumpe senkrecht, mit Hochvakuum-
flansch nach unten, in passenden
Behälter stellen.
– Reinigungsmittel (reiner Alkohol) in
den Behälter füllen, bis Vorvakuum-
flansch der Pumpe eingetaucht ist.
Achtung!
Die gesetzlichen und lokalen
Bestimmungen im Umgang mit
Lösungsmitteln sind einzuhalten.
– Reinigungsmittel ca. 5 - 10 Minuten
einwirken lassen.
– Pumpe in dieser Zeit mehrmals lang-
sam heben und senken, so daß an
den Stator- und Rotorscheiben eine
Spülung stattfindet.
– Vorgang mit neuem Reinigungsmittel
mindestens einmal wiederholen.
– Pumpe aus dem Bad herausnehmen.
– Zur Entleerung der Reinigungsmittel-
reste aus dem Magnetlager, Pumpe
mehrmals langsam von senkrechter
Position (bezogen auf den Hochva-
kuumflansch oben) um 180˚ kippen.
– Pumpe ca. 30 Minuten mit Hochva-
kuumflansch nach unten auf einen
Rost oder ähnliches stellen. Achtung
Dichtfläche!
6.2 Cleaning the Turbo Pump
It is a sign of contamination if the
pump does not attain its working
pressure in the usual time despite
unchanged rate of leak and desorption.
In case of slight contamination, e.g. by
pump fluid deposits, the turbo pump
can be cleaned with pure alcohol in
assembled condition (see Section
6.2.1). However, if contamination has
been caused by insoluble media or is
severe, the turbo pump must be
completely dismantled. For this,
"PFEIFFER Service" should always be
called, to ensure troublefree
functioning of the pump.
6.2.1 Cleaning in fully assembled
Condition
Fig. 15
– Switch off the turbo pump, vent to
atmospheric pressure.
– Remove pump from the system.
– If applicable, remove heating jacket.
– Remove operating fluid reservoir (see
Section 6.1).
– Place pump vertically, high vacuum
flange down, in a suitable container.
– Fill cleaning agent (pure alcohol) into
the container until the fore-vacuum
flange of the pump is covered.
Important:
All regulations regarding the handling
of solvents must be observed.
– Allow the cleaning agent to work for
about 5 - 10 minutes.
– During this time slowly raise and
lower the pump several times so that
the stator and rotor discs are flushed.
– Repeat the process with fresh
cleaning agent at least once.
– Remove pump from the bath.
– To remove cleaning agent residues
from the magnetic bearings, slowly
tilt the pump several times from the
vertical (relative to the high vacuum
flange up) by 180˚.
– Allow the pump to stand for about 30
minutes on a grid or the like with the
high vacuum flange down. Caution:
sealed surface.
6.2 Nettoyage de la pompe turbo
Le degré de salissure de la pompe
turbo vous sera signalé lorsque la
pression de travail souhaitée ne sera
pas atteinte dans les temps habituelles,
bien que les taux de fuite et de
désorption restent inchangés.
Pour des salissures légères par ex., par
des dépôts de fluide moteur, la pompe
turbo, non démontée, peut être
nettoyée avec de l'alcool pur (voir
6.2.1). Mais s'il s'agit d'agents
difficilement solubles ou de fortes
salissures, la pompe turbo devra être
complètement démontée. Dans ce cas,
il faudra absolument faire appel au
service après-vente PFEIFFER, afin de
garantir un parfait fonctionnement.
6.2.1 Nettoyage sans démontage
Fig. 15
– Mettre la pompe à l'arrêt, remettre à
l'air sur la pression atmosphérique.
– Démonter la pompe de l'installation.
– Enlever la chemise chauffage si
existante.
– Enlever le réservoir de fluide moteur
(voir 6.1).
– Placer la pompe turbo verticalement,
avec la bride de vide élevé vers le bas
dans un récipient approprié.
– Remplir le récipient avec du produit
de nettoyage (alcool pur) jusqu'à ce
la bride de vide primaire soit
totalement recouverte.
Attention!
Les spécifications concernant la
législation locale en vigueur sur les
produits solubles doivent être
respectées.
– Laisser agir le produit de nettoyage
env. 5 - 10 minutes.
– Pendant ce temps soulever et baisser
doucement la pompe turbo plusieurs
fois, pour rincer les disques stator et
rotor.
– Répéter ce procédé deux fois de plus
en renouvelant le produit de
nettoyage.
– Sortir la pompe turbo du bain.
– Afin de vider le reste de produit de
nettoyage des paliers à aimants,
basculer la pompe turbo de 180˚
doucement de la verticale (par
rapport à la bride de vide élevé
supérieure) plusieurs fois.
– Placer la pompe turbo env. 30 minu-
tes sur une grille ou similaire avec la
bride vers le bas. Attention à la
surface étanche!
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