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1.2.1 Sicherheitshinweise zum Arbeiten
mit der Turbomolekularpumpe
– Pumpe niemals mit offenem HV-
Flansch betreiben. Verletzungsgefahr
durch rotierende Turbine und durch
Kontakt mit den gepumpten Medien
(Prozeßgasen). Durch Hineinfallen
von Gegenständen kann die Pumpe
zerstört werden.
– Steckerverbindung zur Antriebselek-
tronik nur bei gezogenem Netzstecker
und Stillstand der Pumpe lösen. An
den Kontakten können Spannungs-
spitzen >100 V auftreten.
– Verbindungsleitungen von der Turbo-
molekularpumpe zur Vorpumpe nur
bei Stillstand der Anlage lösen um
Kontakt mit Prozeßgasen auszu-
schließen.
– Vor der Demontage der Turbomole-
kularpumpe aus der Anlage, Flutvor-
gang wie unter 4.5 beschrieben,
durchführen.
– Pumpe in die Anlage fest installieren.
– Hinweise auf Gefahren, die durch
Kontakt mit gefährlichen Pumpme-
dien entstehen können, sind vom
Betreiber entsprechend mitzuteilen.
Entsprechende Schutzmaßnahmen
sind vorzuschreiben.
1.3 Sonstige Hinweise
– Turbopumpe, Verbindungskabel und
Antriebselektronik bilden mit einer
entsprechenden Vorvakuumpumpe,
eine betriebsfertiges System. Der
Lieferumfang entspricht jeweils der
Abbildung in Fig. 1 und 2.
– Turbopumpen TPH und TPU sind im
Aufbau gleich. Sie unterscheiden sich
lediglich im Ansaugflansch.
– Pumpen TPH: ISO-K/ISO-KF Flansche;
– Pumpen TPU: CF-F Flansche.
– Das Kugellager hat eine Umlauf-
schmierung.
– Die Pumpen werden mit Betriebs-
mittelfüllung geliefert.
– Serienmäßig sind die Pumpen kon-
vektionsgekühlt (siehe Abschnitt 4.4).
– Sie können mit wenigen Handgriffen
auf Wasser-oder Luftkühlung umge-
stellt werden.
– Gegen zu hohe Umgebungstempera-
turen sind die Pumpen thermisch
geschützt.
– Bei unzulässigen Temperaturen der
Lager, des Antriebs oder des Pum-
pengehäuses wird die Antriebs-
leistung bis auf Null zurückgeregelt.
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1.2.1 Working with the Turbomolecular
Pump; Safety Information
– Never operate the pump with open
HV flange because this may cause
injuries from the rotating turbine and
contact with vacuum with the
pumped media (process gases).
Objects falling into the pump can
cause damage.
– Only uncouple the connection to the
electronic drive unit after you have
disconnected the mains plug and the
pump is at standstill. Peak voltages of
100 V may be present at the contacts.
– Only remove the connecting lines
between the turbomolecular pump
and the backing pump when the
system is at standstill so as to avoid
any contact with process gases.
– Before you remove the turbo-
molecular pump from the system, the
pump must be vented as described
in 4.5.
– Install the pump firmly in the system.
– The user must provide information
on any danger that may arise from
coming into contact with any
hazardous media to be pumped.
Appropriate safety precaution
instructions must be provided.
1.3 Other Information
– The turbo pump, connecting cable
and electronic drive unit form an
operational unit together with an
appropriate backing pump. The
contents of the consignment is
shown in Fig. 1 and 2.
– The TPH and TPU turbo pumps are of
identical design. They only differ in
their intake flange.
– TPH pumps: ISO-K/ISO-KF flanges;
– TPU pumps: CF-F flanges.
– The ball bearing has an oil-circulation
lubrication system.
– The pumps are delivered with
operating fluid filling.
– The pumps are convection-cooled as
standard (see Section 4.4).
– They can easily be converted to
water or air cooling.
– The pumps have thermistor
protection against excessive ambient
temperatures.
– When the bearing, drive or pump
case temperatures are impermissibly
high, the drive power is reduced to
zero.
1.2.1 Instructions de sécurité pour le
travail avec la pompe
turbomoléculaire
– Ne jamais utiliser la pompe avec la
bride de vide élevé ouverte. Il y a
danger d'accident par la rotation de
la turbine et par le contact avec des
agents pompés (gaz de processus). Il
y a danger de détérioration de la
pompe par la chute d'objets.
– Démonter le connecteur de
l'électronique d'entraînement
seulement lorsque le connecteur
d'alimentation du réseau est enlevé
et la pompe est à l' arrêt. Des pointes
de tension >100 V pourraient se
produire sur les contacts.
– Les raccordements de la pompe
turbo à la pompe primaire ne
peuvent être enlevés qu'à l'arrêt afin
d'éviter tout contact avec des gaz de
processus.
– Avant le démontage de la pompe
turbo du système, effectuer la remise
à l'air comme indiqué dans 4.5.
– Fixer la pompe dans l'installation,
afin d'éviter des dangers dus á des
couples.
– Les indications concernant les
dangers provenant de contacts avec
des agents pompés seront à
communiquer par l'utilisateur. Par
consequént des mesures de sécurité
seront à prescrire par celui-ci.
1.3 Indications diverses
– La pompe turbo, le câble de
raccordement et l'électronique
d'entraînement forment, avec une
pompe à vide primaire
correspondante, une unité prête à
fonctionner. Le volume de livraison
est respectivement conforme à
l'illustration de la Fig. 1 et 2.
– Les pompe turbos TPH et TPU ont la
même structure. Seules leurs brides
d'aspiration sont différentes.
– Pompes TPH: brides ISO-K/ISO-KF;
– Pompes TPU: brides CF-F.
– Les pompes sont livrées remplies de
fluide moteur.
– Les pompes de série sont refroidies
par convection (voir paragraphe 4.4).
– Quelques manipulations suffisent
pour passer au refroidissement à
l'eau ou à l'air.
– Les pompes disposent d'une
protection thermique contre les
températures ambiantes trop
élevées.
– Lorsque la température des paliers,
de l'entraînement ou du corps de
pompe n'est pas dans les limites
admissibles, la puissance
d'entraînement est réduite à zéro.
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