Table des Matières
Publicité
KURZANLEITUNG
für
Turbomolekularpumpen
TPH/TPU 062, TPH 055
TPH 062
Diese Kurzanleitung ist nur gültig in Zusammen-
hang mit der ausführlichen Betriebsanleitung.
- Blatt heraustrennen und bei der Pumpe
aufbewahren.
INSTALLATION
- Anschlußzubehör:
Antriebselektronik TCP 121 oder 380 und Anschluß-
kabel bei TPH/U 062, Antriebselektronik TCP 015
und Anschlußkabel bei TPH 055.
- Blindflansche erst unmittelbar vor Montage
entfernen.
- Auf größtmögliche Sauberkeit achten!
- Betriebsmittel ist eingefüllt!
- HV Flansch-Belastung (drehmomentfrei!): max.
20 kg.
- Einbaulage: vertikal bis horizontal (Abschnitt 4.2).
- Je nach Einsatz, Turbopumpe verankern und
Splitterschutz verwenden (Abschnitt 4.2.1).
- Vibrationsübertragung von Vorpumpe ausschließen.
- Kühlungsart (Standard): Konvektion.
- Umgebungstemperatur ≥ 30° C: Luftkühlung.
- Umgebungstemperatur ≥ 35°C und bei beheizten
Pumpen: Wasserkühlung.
- Anschluß Fluteinrichtungen: über Anschlußgewinde
G 1 /8" (DN 10 ISO-KF-Bauteile mittels Adapter
PM 006 702; siehe 4.5).
- Elektrischer Anschluß nach den örtlich geltenden
Bestimmungen; besondere Anforderungen: siehe
Abschnitt 4.6.
BETRIEB
- Alle erforderlichen Zusatzgeräte anschließen
(Abschnitt 4.3-4.6).
EINSCHALTEN Turbopumpe:
- Schalter S1 am TCP drücken (siehe 5.1).
RESET:
- über Spannungsunterbrechung ≥ 2 Sekunden z.B.
mit Schalter S1 (siehe Abschnitt 5.1).
HEIZEN der Pumpe:
- Schalter S2 an der TCP drücken (siehe Abschnitt
5.2).
ABSCHALTEN der Pumpe:
- Schalter S1 am TCP drücken. Bei Pfeiffer
Vorvakuumpumpen schließt HV-Sicherheitsventil
automatisch (siehe Abschnitt 4.3 und 5.3).
ABBREVIATED INSTRUCTIONS
for
Turbomolecular Pumps
TPH/TPU 062, TPH 055
TPH 055
These abbreviated instructions are only valid
together with the detailed operating instructions.
- Take out this page and store it near the pump.
INSTALLATION
- Connection accessories:
TCP 121 or 380 electronic drive unit and connecting
cable for the TPH/U 062.
TCP 015 electronic drive unit and connecting cable
for the TPH 055.
- Remove the blank flanges immediately before
assembly.
- Utmost cleanliness is a must.
- The operating fluid is already filled in!
- HV flange loading (without torque!): max. 20 kg.
- Mounting direction: from vertical to horizontal
(Section 4.2).
- Depending on your application, anchor the turbo
pump and use the splinter shield (Section 4.2.1).
- Prevent vibrations from being transmitted from the
backing pump.
- Type of cooling (standard): convection.
- Ambient temperature ≥ 30 °C: air cooling.
- Ambient temperature ≥ 35 °C and heated pumps:
water cooling.
- Connection of venting devices: via G 1/8" connecting
thread (DN 10 ISO-KF components via adapter
PM 006 702; see 4.5).
- Electrical connection in accordance with the valid
local regulations; special requirements: see Section
4.6.
OPERATION
- Connect all required optional accessories (Section
4.3.4.6).
SWITCHING on the turbo pump:
- Press the switch S1 on the TCP (see 5.2).
RESET:
- by interrupting the voltage supply for ≥ 2 seconds,
e.g. by pressing switch S1 (Section 5.1).
HEATING the turbo pump:
- Press switch S2 (Section 5.2).
SWITCHING OFF the turbo pump:
- Press the switch S1 on the TCP. If Pfeiffer backing
pumps are used, the HV valve closes automatically
(see 4.3 and 5.3).
INSTRUCTIONS ABREGEES
pour
pompes turbomoléculaires
TPH/TPU 062, TPH 055
Ces instructions abrégées ne sont valables qu'en
liai son avec les instructions de service détaillées.
- Enlever la feuille et la conserver à proximité de la
pompe
INSTALLATION
- Accessoires de raccordement:
commande d'entraînement TCP 121 ou 380 et câble
de raccordement pour TPH/U 062,
commande d'entraînement TCP 015 et câble de
raccordement pour TPH 055.
- N'enlever les fausses brides que juste avant le
montage.
- Veiller à une propreté maximum!
- Remplissage du fluide moteur effectué!
- Charge de la bride de vide élevé (sans couple de ro-
tation): 20 kg maxi.
- Position de montage: verticale à horizontale (para-
graphe 4.2).
- Selon l'utilisation, ancrer la pompe turbo et utiliser
un pare-éclats (paragraphe 4.2.1).
- Exclure toute transmission de vibrations par la
pompe primaire.
- Mode de refroidissement (standard): convection.
- Température ambiante ≥ 30°C: refroidissement à
l'air.
- Température ambiante ≥ 35°C et pompes chauffées:
refroidissement à l'eau.
- Raccordement d'équipements de remise à l'air: par
le biais du filetage de raccordement G 1/8"
(composants DN 10 ISO-KF) avec adaptateur
PM 006 702; voir 4.5).
- Branchement électrique conformément aux
prescriptions valables localement; exigences
particulières: voir paragraphe 4.6.
FONCTIONNEMENT
- Raccorder tous les appareils supplémentaires
nécessaires (paragraphes 4.3 à 4.6).
MISE EN MARCHE de la pompe turbomoléculaire:
- Appuyer sur le commutateur S1 de TCP (voir 5.1).
RESET:
- par coupure de la tension ≥ 2 secondes, par ex.
avec le commutateur S1 (voir paragraphe 5.1).
CHAUFFAGE de la pompe:
- Appuyer sur le commutateur SP2 de TCP (voir
paragraphe 5.2).
Mise à l'arrêt de la pompe:
- Appuyer sur le commutateur S1 de TCP. Chez les
pompes à vide primaire Pfeiffer, la vanne de sûreté
de vide élevé se ferme automatiquement (voir
paragraphes 4.3 et 5.3).
Publicité
Table des Matières
