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3 Vorvakuumpumpen
Als Vorvakuumpumpe empfehlen wir
die Drehschiebervakuumpumpe
DUO 1,5 A oder je nach Anwendung
eine Pumpe der "B-Reihe" aus
unserem Programm. Sie zeichnen sich
aus durch:
– hohe Saugleistung
– hohe Wasserdampf-Verträglichkeit
– integriertes Hochvakuum-Sicherheits-
ventil.
4 Installation
4.1 Hinweise zur Installation
– Die Turbopumpe wird mit Betriebs-
mittel-Füllung geliefert.
– Blindflansche an Hoch- und Vorva-
kuumanschluß erst unmittelbar vor
der Montage entfernen.
– Arbeiten die Turbopumpen in einem
Magnetfeld bei Feldstärken über den
in den technischen Daten angege-
benen Werten, sind geeignete
Abschirmmaßnahmen vorzusehen
(Abschirmgehäuse auf Anfrage).
4.2 Hochvakuumanschluß
Achtung!
Bei verankerter Turbopumpe dürfen
keine Kräfte aus dem Rohrleitungs-
system auf die Pumpe einwirken.
Beim Anschluß der Pumpe an den
Rezipienten ist zu beachten, daß der
Hochvakuum-Flansch bis max. 20 kg
senkrecht belastbar ist.
Ein frei angeflanschter Rezipient darf
kein Drehmoment auf den Flansch
ausüben (einseitige Belastung).
– Alle UHV-Teile müssen bei größter
Sauberkeit montiert werden.
Unsaubere Bauelemente verlängern
die Auspumpzeit durch eine hohe
Desorptionsrate.
– Die Pumpe kann in horizontaler bis
vertikaler Einbaulage an den Rezi-
pienten angeflanscht werden.
– Weicht die Einbaulage von der Verti-
kalen ab, muß die Pumpe mit dem
Vorvakuumanschluß 4 nach unten
eingebaut werden. Eine maximale
Abweichung von 20° nach links oder
rechts ist zulässig (Fig. 6).
– Bei der Verbindung Turbopumpe-
Rezipient über einen Federungs-
körper sollte die Pumpe verankert
werden.
– Zur Verankerung der Pumpe sind im
Unterteil (Standfläche) vier Gewinde-
löcher M5 vorhanden. Die Gewinde-
löcher dienen auch zur Aufnahme der
Gummifüße.
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3 Backing Pumps
We recommend that you use the
DUO 1.5 A rotary vane vacuum pump
or depending on your application a
pump of series "B" as the backing
pump from our programme. These
pumps are distinguished by:
– High volume flow rate
– High water vapour compatibility
– Integrated high-vacuum safety valve.
4 Installation
4.1 Notes for Installation
– On delivery the turbo pump is filled
with operating fluid.
– The blank flanges on the high and
fore-vacuum side should only be
removed immediately before
installation of the pump.
– If the pump operates in a magnetic
field with higher intensities than
those given under "Technical Data",
appropriate screening must be
provided (screening housing on
request).
4.2 High Vacuum Connection
Attention!
No loads from the piping system must
act on the turbo pump if it is anchored.
When the pump is connected to the
vacuum chamber, it must be taken into
consideration that the high-vacuum
flange can be loaded in vertical
direction to a maximum of 20 kg.
The weight of an unsupported vacuum
chamber must not exert any torque on
the flange (asymetric loading).
– All UHV components should be
assembled under absolutely clean
conditions. Unclean components
increase the pumping-down time as a
result of the high desorption rate.
– The pump can be flanged to the
vacuum chamber in any mounting
direction from horizontal to vertical.
– If the mounting direction deviates
from vertical, the pump has to be
installed with the fore-vacuum
connection 4 facing downwards. A
maximum deviation of 20° to the
right or left is admissible (Fig. 6).
– If the turbo pump is connected to the
vacuum chamber via a bellows, the
pump should be anchored.
– The bottom part (base) of the pump
has four threaded holes size M5 for
anchoring. These holes can also be
used for the rubber legs.
3 Pompes à vide primaire
Comme pompe à vide primaire, nous
recommandons la pompe à vide
rotative à palettes tournantes
DUO 1,5 A ou, selon l'application, une
pompe de la "série B" de notre
programme. Elles sont caractérisées
par:
– une grande puissance d'aspiration
– une grande résistance à la vapeur
d'eau
– une vanne de sûreté de vide élevé
intégrée.
4 Installation
4.1 Indications relatives à l'installation
– La pompe turbo est livrée remplie de
fluide moteur.
– N'enlever les fausses brides des
raccords de vide élevé et primaire
que juste avant le montage.
– Si les pompe turbos fonctionnent
dans un champ magnétique dont les
puissances sont supérieures aux
valeurs indiquées dans les caractéri-
stiques techniques, des mesures de
blindage adaptées doivent être
prévues (corps de blindage sur
demande).
4.2 Raccord de vide élevé
Attention!
Si la pompe turbo est ancrée, aucune
force émanant du système de
conduites ne doit agir sur la pompe.
Lors du raccordement de la pompe au
récipient, il faut veiller à ce que la bride
de vide élevé puisse subir une charge
verticale de 20 kg maxi.
Un récipient bridé librement ne doit
pas exercer de couple de rotation sur la
bride (charge unilatéral).
– Toutes les pièces d'ultravide doivent
être montées á un endroit le plus
propre possible. Des éléments
souillés entraînent une augmentation
du temps de pompage due à un taux
de désorption élevé.
– La pompe peut être bridée au
récipient en position horizontale à
verticale.
– Si la position de montage diverge de
la verticale, la pompe doit être
montée avec le raccord de vide
primaire 4 dirigé vers le bas. Une
divergence maximale de 20° vers la
gauche ou la droite est admissible
(Fig. 6).
– Lorsque la turbopompe et le récipient
sont reliés par un soufflet, la pompe
devrait être ancrée.
– Pour ancrer la pompe, quatre trous
filetés M5 sont situés dans la partie
inférieure (surface d'appui). Les trous
filetés servent également à accueillir
les pieds en caoutchouc.
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