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2.1 Enddruck
Unter dem Enddruck von Turbomole-
kularpumpen wird nach DIN 28 428 der
Druck verstanden, der in einem Meß-
dom 48 Stunden nach dem Ausheizen
erreicht wird.
TPH 055
Der Enddruck für die Turbopumpe
TPH 055 liegt bei <1 . 10 -6 mbar. Metall-
dichtungen sind zum Erreichen nied-
rigerer Enddrücke nicht einsetzbar, da
diese Turbopumpen nicht mit CF-F
Flanschen versehen sind.
TPH/U 062
Der Enddruck für die Turbopumpe
TPH/U 062 liegt je nach verwendetem
Vorpumpensystem bei folgenden
Werten:
Enddruck/
Vorpumpensystem
Final pressure/
Pression finale
TPH/U 062
1·10 -10
Zweistufige Drehschieber-
vakuumpumpe
und Turbopumpe
1·10 -9
Zweistufige Drehschieber-
vakuumpumpe
1·10 -8
Zweistufige Drehschieber-
vakuumpumpe
Jede TPH/U 062 unterschreitet
während der Endabnahme die
Enddruckwerte 2 und 3, wobei der
Enddruck 3 ohne Ausheizen der Pumpe
erreicht wird.
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2.1 Final Pressure
According to DIN 28 428, the final
pressure of turbomolecular pumps is
the pressure attained in a test dome
48 hours after baking-out.
TPH 055
The final pressure of the TPH 055
Turbo Pump is < 1 . 10 -6 mbar. It is not
possible to use metal seals in order to
obtain lower final pressures because
these turbo pumps are not equipped
with CF-F flanges.
TPH/U 062
Depending on the backing pump
system used, the final pressure of the
TPH/U 062 Turbo Pump has the
following values:
Backing-pump combination
Two-stage rotary vane
vacuum pump and turbo
molecular pump
Two-stage rotary vane
vacuum pump
Two-stage rotary vane
vacuum pump
At final acceptance, the final pressure
of each TPH/U 062 is better than the
above values 2 and 3, with the final
pressure 3 being attained without
baking out of the pump.
2.1 Pression finale
Par pression finale des pompes
turbomoléculaires on entend,
conformément à DIN 28 428, la
pression atteinte dans un dôme de
mesure 48 heures après l'étuvage.
TPH 055
La pression finale de la pompe turbo
TPH 055 est < 1 . 10 -6 mbars. Il n'est pas
possible d'utiliser des joints
métalliques pour atteindre des
pressions finales basses, étant donné
que ces pompe turbos ne sont pas
dotées de brides CF-F.
TPH/U 062
Les valeurs de la pression finale de la
pompe turboTPH/U 062 sont les
suivantes, en fonction du système de
pompes primaires utilisé:
Systéme de
Dichtung für
pompes primaires
Ansaugflansch/
Seal for
intake socket/
Joint pour bride d'aspiration
Pompe à vide rota-
Metall
tive à palettes à
Metal
deux étages et pompe
Métallique
turbomoléculaire
Pompe à vide rota-
Metall
tive à palettes à
Metal
deux étages
Metalique
Pompe à vide rota-
tive à palettes à
Viton
deux étages
Chaque TPH/U 062 descend au-delà
des valeurs de pression finale 2 et 3
pendant la réception finale, la pression
finale 3 étant atteinte sans étuvage de
pompe.
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