2. Kennenlernen des Pumpstandes
2.1. Hauptmerkmale
Der Turbomolekular-Drag-Pumpstand TSD 022
1
Hochvakuumflansch
2
Antriebselektronik
Die Pumpstände sind anschlußfertige und vollautomatisch
arbeitende Pumpeinheiten.
Das integrierte Pumpstandsteuergerät (TCS) dient zur
Steuerung und zur Überwachung und arbeitet in Verbindung
mit der Antriebselektronik (TCP).
Kühlung
Standardmäßig:
Luftkühlung (bis 35 °C
Umgebungstemperatur)
Alternativ:
Wasserkühlung (auf Anfrage)
Bestimmungsgemäße Verwendung
– Die Turbomolekularpumpstände dürfen nur zur Vakuumer-
zeugung eingesetzt werden.
– Die Turbomolekularpumpstände dürfen nur in der
vorliegenden Konfiguration betrieben werden.
Nicht bestimmungsgemäße Verwendung
Als nicht bestimmungsgemäß gilt u. a.:
– Das Pumpen von korrosiven oder explosiven Gasen,
– das Einsetzen des Pumpstandes in explosionsgefährdeten
Bereichen
– das Verwenden von Zubehörteilen, die nicht in dieser
Anleitung genannt werden oder mit dem Hersteller nicht
abgesprochen wurden.
Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher
Haftungs- und Gewährleistungsanspruch.
2.2. Pumpstandsteuerung
Pumpstand
TSD 022
TSH 064 D
TSU 064 D
TSH 065 D
TSU 065 D
Zubehöranschluß an TCP 015:
Luftkühlung
Flutventil TSF 012
Heizung der Turbopumpe
Anschluß TCS 015:
Membranvakuumpumpe MZ 2T
Vorvakuum-Sicherheitsventil TVV 001
Pumpstandsteuerung
TCS 015
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