Table des Matières
Publicité
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI
INSTALACE
VAROVÁNÍ!
Před připojením turbomolekulární vývěvy do
systému nesundávejte adhezní a ochranné víko.
Čerpací systém neinstalujte v prostředí, které je
vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led),
prachu,
agresivním
prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím
požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující
podmínky dané prostředím:
− maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým
tlakem
− teplota: od +5 °C do +35 °C
− relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení)
V přítomnosti magnetických polí se čerpací systém
musí chránit feromagnetickým stíněním.
TPS-mobile musí být umístěn na rovný povrch.
Umístěte TPS-mobile do stabilní polohy připojením
vstupní příruby turbovývěvy k protipřírubě schopné
odolávat krouticímu momentu 50 Nm ve své ose
(přímo nebo nepřímo prostřednictvím pružného
spoje).
Turbovývěva se vstupní přírubou ISO musí být
pripojena k protipřírubě prostřednictvím svorek.
Následující tabulka popisuje pro každý druh svorky
potřebný počet svorek a příslušný utahovací
moment.
PŘÍCHYTNÉ
PŘÍRUBA
ZAŘÍZENÍ
ISO 63
Spony M10
ISO 100 K
Spony M10
ISO 160 K
Spony M10
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou
ConFlat se musí připevnit
použitím příslušného materiálu firmy Varian. Viz
podrobný popis v příloze "Technical Information".
POZNÁMKA
Vývěvu TPS-mobile nelze připevnit pomocí její
podstavy.
Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství,
viz "Technical Information".
POUŽITÍ
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních
pracovních postupů.
Před použitím systému zkontrolujte, zda byla
správně
zrealizována
a pneumatická zapojení. Při zahřívání vakuové
komory teplota vstupní příruby nesmí překročit 120
°C.
VÝSTRAHA!
Čerpací systém nikdy nepoužívejte, nebude-li
vstupní příruba připojená k vakuové komoře.
plynům,
ve
výbušném
UTAHOVACÍ
POČET
MOMENT
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
k vakuové komoře
všechna
elektrická
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího
příslušenství nedotýkejte. Vysoká teplota může
způsobit popáleniny.
Předcházejte
turbomolekulární vývěvy během jejího chodu.
Mohlo by dojít k poškození ložisek a také ke
zranění osob či škodám na věcech.
Pro odvětrání vývěvy používejte inertní plyn bez
prachu, částic a vlhkosti (např. dusík). Tlak při
odvětrávacím otvoru musí být menší než 2 bary
(nad atmosférickým tlakem).
Pokud používáte čerpací systém pro čerpání
toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů,
dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci
každého plynu.
Vývěvu
nepoužívejte
plynů.
Zapnutí a používání vývěvy TPS-mobile
− Po vybalení TPS-mobile se vizuální kontrolou
ujistěte,
že
nepoškodil (kritickými částmi jsou: příruby
vývěvy, konzoly pro upevnění vývěvy Foreline,
čelní panel a kola systému).
− Zkontrolujte vstupní napětí uvedené na štítku
Varian,
přilepeném
jednotky systému.
Když je napětí v elektrické síti vhodné pro
−
napájení systému, je možné připojit napájací
kabel
elektrického
elektrického rozvodu typu IEC320, která se
nachází na zadním panelu systému (viz
obrázek). Zásuvka má přidržovací pružinu, aby
se zabránilo náhodnému odpojení napájecího
kabelu;
použijte
napájecího kabelu.
68/105
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
VÝSTRAHA!
VÝSTRAHA!
nárazům
či
posunům
VAROVÁNÍ!
VÝSTRAHA!
v přítomnosti
výbušných
se
systém
během
na
rámu
elektronické
Číslo modelu (PN)
Výrobní číslo (SN)
Údaje elektrického
rozvodu
napájení
do
pružinu
pro
87-901-005-01(A)
přepravy
zásuvky
připojení
Publicité
Table des Matières
