Page 1 TPS-mobile Models: 9698400, 9698402, 9698404, 9698406, 9698412, 9698416, 9698418, 9698422, 9698424, 9698426, 9698428, 9698430, 9698432, 9698401, 9698403, 9698405, 9698411, 9698417, 9698419, 9698421, 9698423, 9698425, 9698427, 9698429, 9698431, 9698433 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções...
Page 2: Safety Notices
Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2016 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
Page 3 TPS-mobile TPS-mobile TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 3/400...
Page 4 TPS-mobile 4/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 5: Table Des Matières
Contents Contents Istruzioni per l’uso 13 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento 19 Preparazione per l’installazione 20 Installazione Uso 24 Unità Speciali Manutenzione 32 Smaltimento Gebrauchsanleitung 35 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 36 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 42 Installation 44 Gebrauch Spezialeinheiten 53...
Page 6 Contents Entsorgung 55 Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Préparation pour l'installation Installation 65 Utilisation 67 Unités spéciales 74 Entretien Mise au rebut Manual de istrucciones 77 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 79 Almacenamiento Preparación para la instalación 83 Instalación 85...
Page 7 Contents Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 98 Informações gerais 99 Armazenagem 102 Preparação para a instalação 103 Instalação 105 Utilização Unidade especial Manutenção Eliminação 116 Bedrijfshandleiding 117 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 118 Algemene informatie Opslag Uitpakken 123 Installatie 125 Gebruik Speciale units 134...
Page 8 Contents Generel Information 139 Opbevaring 142 Forberedelse før installation 143 Installation 145 Anvendelse 147 Specielle enheder Vedligeholdelse 154 Bortskaffelse Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 158 Allmän Information 159 Förvaring Förberedelser för installationen 163 Installation 165 Använding 167 Speciella enheter Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 177 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper...
Page 9 Contents Klargjøre til installasjon 183 Installasjon 185 Bruk Spesialenheter 193 Vedlikehold 194 Kassering Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja Varastointi 202 Valmistelut asennusta varten203 Asennus Käyttö Erityisyksiköt Huolto Hävittäminen Felhasználói Kézikönyv 217 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 218 Általános információ 219 Tárolás Előkészítés telepítésre 223 Telepítés TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 10 Contents Használat 227 Speciális egység 234 Karbantartás Megsemmisítés 236 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 238 Ogólne informacje 239 Magazynowanie 242 Przygotowanie do instalacji 243 Instalacja Użytkowanie Jednostki specjalne 254 Konserwacja Przetworstwo odpadow 256 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 258 Všeobecné...
Page 11 Contents Údržba Likvidace Návod na Obsluhu 277 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Špeciálne jednotky 293 Údržba Likvidácia Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 298 Splošne informacije 299 Shranjevanje Priprava za montažo 303 Montaža Uporaba Posebne enote 314...
Page 12 Contents Instructions for Use 317 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 318 General Information 319 Storage Preparation for Installation 323 Installation 325 Use 327 Modified Standard 334 Maintenance Disposal Technical Information 337 Description of the TPS mobile Technical Specification 347 TPS-Mobile Outline 358 Turbo Pumping System Connection 359 Electrical Connections Letter Protocol Description 370...
Page 13: Istruzioni Per L'uso
TPS-mobile User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali 15 Simboli usati 17 Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 20 Installazione Accensione ed Uso del TPS-mobile 25 Arresto del TPS-mobile 30 Arresto di Emergenza 30 Unità Speciali Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali...
Page 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Page 15: Informazioni Generali
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Page 16 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
Page 17: Simboli Usati
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali AVVERTENZA! Il Sistema deve essere installato in modo da permettere una facile interruzione dell’alimentazione. Simboli usati I seguenti simboli sono utilizzati in modo coerente in tutte le illustrazioni: Pericolo “Riferirsi a Conduttore di installazione / protezione funzionamento”...
Page 18 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali AVVERTENZA! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi. La pompa è progettata per un elevato trasferimento di N2, Ar e gas leggeri.
Page 19: Immagazzinamento
Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità dei sistemi di pompaggio Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: ▪ durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: ▪...
Page 20: Preparazione Per L'installazione
Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione Il TPS-mobile viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TPS-mobile e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni.
Page 21 Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Il TPS-mobile non può essere danneggiato rimanendo semplicemente esposto NOTA all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere. I modelli indicati in questo manuale d’istruzioni sono basati sulla piattaforma sistemi di pompaggio Agilent denominata TPS-mobile, le differenze introdotte dai vari numeri di modello sono relative alla pompa turbomolecolare ed alla pompa di foreline integrata nello...
Page 22: Installazione
Istruzioni per l’uso Installazione Installazione AVVERTENZA! Usare molta attenzione quando si sollevano parti pesanti. Si raccomanda di effettuare il sollevamento con 2 persone. Il mancato sollevamento da parte di due persone può provocare lesioni personali. Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del ATTENZIONE! collegamento della turbopompa al sistema.
Page 23 Istruzioni per l’uso Installazione La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata per mezzo dell'apposita minuteria meccanica Agilent. Per la coppia di seraggio delle viti fare riferimento al manuale della turbopompa da utilizzare. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information".
Page 24: Uso
Istruzioni per l’uso In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema verificare che tutti i collegamenti elettrici e pneumatici siano stati realizzati correttamente. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C con flangiatura ConFlat e a 80 °C con flangiatura ISO.
Page 25: Accensione Ed Uso Del Tps-Mobile
Istruzioni per l’uso Per la mandata all'aria della pompa utilizzare gas inerte esente da polvere, ATTENZIONE! particelle o umidità (es. Azoto). La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica). AVVERTENZA! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas.
Page 26 Istruzioni per l’uso Numero di modello (PN) Numero di serie (SN) Dati elettrici Se la tensione fornita dall’alimentazione elettrica è compatibile ▪ con quella del sistema, si può procedere a collegare il cavo d’alimentazione elettrica alla presa elettrica di tipo IEC320 presente sul pannello posteriore del sistema (vedi figura).
Page 27 Istruzioni per l’uso Molla di ritenzione Cavo di alimentazione Il modello 9698433 è fornito con un cavo d’alimentazione integrato, quindi non è NOTA necessario eseguire questa operazione. Fornire la tensione corretta al sistema mediante il cavo ▪ d’alimentazione. Il sistema è equipaggiato con un interruttore principale ▪...
Page 28 Istruzioni per l’uso Interruttore principale (con protezione termica) L’attivazione del sistema mediante l’Interruttore Principale ▪ fornisce alimentazione al controller della pompa turbo ma sia la pompa turbo sia la pompa di foreline restano spente. L’attivazione del sistema permette al controller d’iniziare la lettura del dato di pressione attraverso il Full Range Gauge FRG- 700 opzionale, se quest’ultimo è...
Page 29 Istruzioni per l’uso Porta gauge Porta seriale ▪ È possibile avviare il sistema mediante il selettore denominato “Pumping”. Dopo aver portato il selettore “Pumping” nella posizione “1” la pompa turbo e la pompa di foreline si avvieranno. Selettore „Pumping“ TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 29/400...
Page 30: Arresto Del Tps-Mobile
Istruzioni per l’uso I modelli 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, NOTA 9698433 non sono equipaggiati con il selettore denominato “Pumping”; la stessa funzione è svolta dal pulsante “Start/Stop” posto sul controller. Arresto del TPS-mobile È possibile spegnere il sistema mediante il selettore “Pumping” ▪...
Page 31: Unità Speciali
Istruzioni per l’uso Unità Speciali Unità Speciali La piattaforma TPS-mobile può essere personalizzata in funzione delle diverse esigenze, ottenendo specifici numeri di modello. Ad eccezione di casi specifici forniti di specifica documentazione, questo manuale è applicabile a tutte le unità speciali marcate con MXXXX (ad esempio 9698416M2006).
Page 32: Manutenzione
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il TPS-mobile non richiede alcuna manutenzione (ad eccezione della sostituzione del Tip-seal, per le versioni equipaggiate con pompe scroll o il rabbocco/cambio olio per le versioni con pompe Rotary Vane). Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato.
Page 33: Smaltimento
Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Page 34 Istruzioni per l’uso Smaltimento 34/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 35: Gebrauchsanleitung
TPS-mobile User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 36 Allgemeine Informationen 37 Verwendete Symbole Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TPS-mobile Stoppen des TPS-mobile Not-Aus Spezialeinheiten 53 Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 35/400...
Page 36: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Page 37: Allgemeine Informationen
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Page 38 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
Page 39: Verwendete Symbole
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen WARNUNG! Das System muss so installiert werden, dass die Stromversorgung schnell abgeschaltet werden kann. Verwendete Symbole Folgende Symbole wurden durchgängig in allen Illustrationen verwendet: Gefahr! Schlagen Sie im Schutzleiter Installations- und Betriebshandbuch nach Heiße Oberfläche – ON - Start Verbrennungsgefahr bei (Versorgung) Berührung...
Page 40 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen WARNUNG! Wird die Pumpe zum Pumpen von giftigen, brennbaren oder radioaktiven Gasen verwendet, die entsprechenden Verfahren für das jeweilige Gas befolgen. Die Pumpe nicht bei Präsenz von explosiven Gasen verwenden. Die Pumpe ist entworfen worden, um Stickstoff, Argon und leichtere Gase zu pumpen.
Page 41: Lagerung
Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Zur Garantie der höchsten Funktionstüchtigkeit und Zuverlässigkeit der Agilent – Pumpsysteme müssen die folgenden Vorschriften eingehalten werden: ▪ Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: ▪ Temperatur: siehe Handbücher der einzelnen Komponenten der TPS ▪...
Page 42: Vor Der Installation
Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Modell TPS-mobile wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TPS-mobile ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß...
Page 43 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Modell TPS-mobile kann durch die Umgebung an sich keine Schäden erleiden. HINWEIS Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden. Die in dieser Gebrauchsanleitung angegebenen Modelle unterliegen dem Angebot der Agilent-Pumpensymsteme TPS-mobile;...
Page 44: Installation
Gebrauchsanleitung Installation Installation WARNUNG! Lassen Sie beim Anheben schwerer Teile äußerste Vorsicht walten. Es empfiehlt sich, solche Arbeiten mit zwei Personen durchzuführen, andernfalls kann es zu Unfällen mit Personenschaden kommen. Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluß der VORSICHT! Turbopumpe an das System abnehmen.
Page 45 Gebrauchsanleitung Installation Die Turbopumpe mit ConFlat-Eingangsflansch muss mit dem dafür vorgesehenen Zubehör von Agilent befestigt werden. Für das Drehmoment zum Anziehen der Schrauben schauen Sie im Handbuch der verwendeten Turbopumpe nach. Für weitere Details schauen Sie im Anhang "Technical Information" nach. Wenn das Modell TPS-mobile mit Turbomolekularpumpen ausgestattet wird, die kleiner oder gleich groß...
Page 46: Gebrauch
Gebrauchsanleitung Gebrauch Gebrauch In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert. Bevor das System benützt wird, prüfen, ob alle Strom- und Pneumatikanschlüsse korrekt ausgeführt wurden. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch bei einem ConFlat-Flansch nicht über 120°C und bei einem ISO-Flansch nicht über 80 °C steigen.
Page 47: Einschaltung Und Gebrauch Von Modell Tps-Mobile
Gebrauchsanleitung Gebrauch Für die Belüftung der Pumpe staub- , partikel- und feuchtigkeitsfreies Inertgas VORSICHT! (z.B. Stickstoff) verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen. WARNUNG! Wenn das Pumpensystem zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen.
Page 48 Gebrauchsanleitung Gebrauch Modellnummer (PN) Seriennummer (SN) Elektrische Daten Wenn die durch die Stromspeisung gelieferte Spannung mit der ▪ Spannung des Systems kompatibel ist, kann man das Stromkabel an die Steckdose IEC320 am hinteren Paneel des Systems anschließen (siehe Abbildung). Die Steckdose ist mit einer Rückhaltefeder ausgestattet, um plötzliche Trennung des Speisekabels zu vermeiden;...
Page 49 Gebrauchsanleitung Gebrauch Rüchhaltefeder Speisekabel Das gelieferte Modell 8988433 wird mit einem integrierten Speisekabel geliefert, HINWEIS somit ist dieser Vorgang nicht notwendig. ▪ Dem System mittels Speisekabel die korrekte Spannung geben. ▪ Das System ist mit einem Hauptschalter (Thermoschalter) ausgestattet, der die Bestandteile des Systems gegen Überlastungen oder Kurzschlüsse schützt.
Page 50 Gebrauchsanleitung Gebrauch Hauptschalter (mit Thermoschalter) Die Aktivierung des Systems durch den Hauptschalter liefert dem ▪ Controller der Turbopumpe Speisung, aber die Turbopumpe wie die Forelnepumpe bleiben ausgeschaltet. Die Aktivierung des Systems ermöglicht dem Controller, das Lesen des Druckwerts über den zusätzlichen Full Range Gauge FRG-700 zu beginnen;...
Page 51 Gebrauchsanleitung Gebrauch Gauge Halter Serielles Tor ▪ Es ist möglich, das System über den Wahlschalter „Pumping“ zu starten. Nachdem der Wahlschalter „Pumping“ auf die Position „1“ gestellt wurde, starten die Turbopumpe und die Forelinepumpe. „Pumping Wahlschalter“ TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 51/400...
Page 52: Stoppen Des Tps-Mobile
Gebrauchsanleitung Gebrauch Die Modelle 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, HINWEIS 9698433 sind nicht mit dem Wahlschalter “Pumping” ausgestattet; dieselbe Funktion wird durch den Druckknopf “Start/Stopp” am Controller ausgeführt. Stoppen des TPS-mobile Es ist möglich, das System durch den Wahlschalter „Pumping“ ▪...
Page 53: Spezialeinheiten
Gebrauchsanleitung Spezialeinheiten Spezialeinheiten Das Angebot TPS-mobile kann je nach Wunsch und Bedarf individuell gestaltet werden, wodurch spezifische Modellnummern erhalten werden. Außer in den durch die spezifische Dokumentation genannten Fällen ist dieses Handbuch für alle speziellen Einheiten geeignet, die mit MXXXX gekennzeichnet sind (zum Beispiel 9698416M2006).
Page 54: Wartung
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung TPS-mobile ist wartungsfrei (außer der Austausch des Tip-seal, bei den Ausführungen mit Scroll-Pumpen oder Öl auffüllen/-Wechsel für die Ausführungen mit Rotary Vane - Pumpen). Eventuelle Eingriffe dürfen nur durch autorisiertes Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.
Page 55: Entsorgung
Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Page 56 Gebrauchsanleitung Entsorgung 56/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 57: Mode D'emploi
TPS-mobile User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales 59 Symboles utilisés 61 Stockage Préparation pour l'installation 63 Installation Utilisation Mise en marche et utilisation du TPS-mobile 68 Arrêt du TPS-mobile Arrêt d'urgence Unités spéciales 74 Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale...
Page 58: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Page 59: Indications Générales
Mode d’emploi Indications générales Indications générales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
Page 60: Cette Notice Utilise Les Signes Conventionnels Suivants
Mode d’emploi Indications générales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manœuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le non- ATTENTION! respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage.
Page 61: Symboles Utilisés
Mode d’emploi Indications générales AVERTISSEMENT! Le système doit être installé de manière à permettre une interruption facile de l’alimentation. Symboles utilisés Les symboles suivants sont utilisés dans les différentes illustrations: Danger “Consultez le Conducteur de chapitre installation / protection fonctionnement” Surface chaude “Risque de ON –...
Page 62: Stockage
Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des systèmes de pompage Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes: Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent ▪ impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température: consulter les manuels des composants du TPS ▪...
Page 63: Préparation Pour L'installation
Mode d’emploi Préparation pour l'installation Préparation pour l'installation Le TPS-mobile est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
Page 64 Mode d’emploi Préparation pour l'installation Le TPS-mobile ne peut s'endommager en restant simplement exposé à NOTE l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à la poussière, il est conseillé de le garder dans son emballage clos jusqu'au moment de l'installation. Les modèles décrits dans ce manuel d'instructions sont basés sur la plateforme des systèmes de pompage Agilent dénommée TPS-mobile, les différences entre les différents modèles concernent la pompe...
Page 65: Installation
Mode d’emploi Installation Installation AVERTISSEMENT! Agir avec la plus grande prudence lors du levage de charges lourdes. Il est conseillé d’effectuer le levage à deux. Le levage d’une charge lourde par une seule personne comporte des risques de blessure. Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment de ATTENTION! brancher la turbopompe au système.
Page 66 Mode d’emploi Installation La turbopompe à bride d’entrée ConFlat doit être raccordée à l’aide des composants mécaniques Agilent prévus à cet effet. Pour connaître le couple de serrage des vis, consulter le manuel de la turbopompe à utiliser. Pour plus de précisions, consulter l’annexe «Technical information».
Page 67: Utilisation
Mode d’emploi Utilisation Utilisation Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles. Avant de sortir vérifiez que tous les raccordements électriques et pneumatiques ont été correctement effectués. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 120°C en cas de bridage ConFlat et 80°C en cas de bridage ISO.
Page 68: Mise En Marche Et Utilisation Du Tps-Mobile
Mode d’emploi Utilisation Pour le "refoulement à l'air" de la pompe, utiliser un gaz inerte dépourvu de ATTENTION! poussière, particules ou humidité (Ex. azote). La pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bars (au-delà de la pression atmosphérique).
Page 69 Mode d’emploi Utilisation Numéro du modèle (PN) Numéro de série (SN) Caractéristiques électriques Si la tension de l'alimentation électrique est compatible avec celle ▪ du système, vous pouvez brancher le câble d'alimentation dans la prise électrique de type IEC320 située à l’arrière du système (cf. figure).
Page 70 Mode d’emploi Utilisation Ressort de maintien Câble d’alimentation Le modèle 9698433 étant doté d’un câble d’alimentation intégré, cette opération NOTE n’est pas nécessaire. Alimenter la machine à la tension prescrite à l’aide du câble ▪ d’alimentation. Le système est doté d’un interrupteur principal (à disjoncteur ▪...
Page 71 Mode d’emploi Utilisation Interrupteur principal (à protection thermique) La mise en marche du système avec l’interrupteur principal ▪ alimente également le contrôleur de la turbopompe mais la pompe turbo et la pompe primaire restent à l’arrêt. La mise en marche du système permet au contrôleur de commencer à...
Page 72 Mode d’emploi Utilisation Port manomètre Port série Il est alors possible de démarrer le système à l'aide du sélecteur ▪ dénommé "Pumping" en position 1. La pompe turbo et la pompe primaire démarrent. Sélecteur “Pumping” 72/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 73: Arrêt Du Tps-Mobile
Mode d’emploi Utilisation Les modèles 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, NOTE 9698433 ne sont pas dotés du sélecteur “Pumping”; cette fonction est assurée par le bouton “Start/stop” situé sur le contrôleur. Arrêt du TPS-mobile ▪ Pour arrêter le pompage, placez le sélecteur "Pumping” en position “0”.
Page 74: Unités Spéciales
Mode d’emploi Unités spéciales Unités spéciales La plateforme TPS-mobile peut être personnalisée en fonction des exigences en obtenant des numéros de modèle spécifiques. A l’exception de cas particuliers accompagnés d’une documentation spéciale, ce manuel s’applique à toutes les machines estampillées MXXXX (exemple 9698416M2006).
Page 75: Entretien
Mode d’emploi Entretien Entretien Le TPS-mobile n'exige aucun entretien particulier (à l’exception du remplacement du Tip-seal pour les versions équipées de pompes scroll ou le remplissage/vidange de l’huile pour les versions avec pompe Rotary Vane) Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé.
Page 76: Mise Au Rebut
Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
Page 77: Manual De Istrucciones
TPS-mobile User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 78 Información general Símbolos usados 81 Almacenamiento 82 Preparación para la instalación 83 Instalación Encendido y Uso del TPS-mobile 88 Parada del TPS-mobile 93 Parada de Emergenica 93 Unidades especiales 94 Mantenimiento Eliminación...
Page 78: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Page 79: Información General
Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Page 80 Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza las convenciones siguientes: ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una ejecución específica que, de no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
Page 81: Símbolos Usados
Manual de istrucciones Información general ¡ADVERTENCIA! Instalar el sistema de modo que se pueda interrumpir fácilmente la alimentación. Símbolos usados Los siguientes símbolos se utilizan de modo coherente en todas las ilustraciones: Peligro “Referirse a Conductor de instalación / protección funcionamiento”...
Page 82: Almacenamiento
Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de los sistemas de bombeo Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las ▪ bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: consultar los manuales de cada componente del ▪...
Page 83: Preparación Para La Instalación
Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación El TPS-mobile se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas. Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el TPS-mobile y de no someterlo a golpes o vibraciones.
Page 84 Manual de istrucciones Preparación para la instalación El TPS-mobile no puede dañarse permaneciendo simplemente expuesto a la NOTA atmósfera. De todas formas, se aconseja mantener cerrada la bomba hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo.
Page 85: Instalación
Manual de istrucciones Instalación Instalación ¡ADVERTENCIA! Prestar suma atención cuando se levantan partes pesadas. Se recomienda realizar el levantamiento con 2 personas. Si esto no es así, pueden provocarse lesiones personales. Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el momento de ¡ATENCIÓN! conectar la turbobomba al sistema.
Page 86 Manual de istrucciones Instalación La turbobomba con brida de entrada ConFlat debe fijarse con piezas mecánicas Agilent. En cuanto al par de ajuste de los tornillos consultar el manual de la turbobomba por utilizar. Para ulteriores detalles ver en el apéndice “Technical Information”. Si el TPS-mobile está...
Page 87: Uso
Manual de istrucciones En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema, controlar que todas las conexiones eléctricas y neumáticas se hayan realizado correctamente. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 120 °C con una fijación con brida ConFlat y a 80 ºC con una fijación con brida ISO.
Page 88: Encendido Y Uso Del Tps-Mobile
Manual de istrucciones Para el "envío al aire" de la bomba utilizar gas inerte exento de polvo, ¡ATENCIÓN! partículas y humedad (por ej.: nitrógeno). La presión de entrada a través de la respectiva puerta debe ser inferior a 2 bares (por encima de la presión atmosférica).
Page 89 Manual de istrucciones Número de modelo (PN) Número de serie (SN) Datos eléctricos Si la tensión suministrada por la alimentación eléctrica es ▪ compatible con la tensión del sistema, se puede conectar el cable de alimentación eléctrica a la toma de corriente tipo IEC320 presente en el panel trasero del sistema (véase la figura).
Page 90 Manual de istrucciones Muelle de retención Cable de alimentación El modelo suministrado 9698433 se provee con un cable de alimentación NOTA integrado, por lo tanto, no es necesario realizar esta operación. Suministrar la tensión correcta al sistema mediante el cable de ▪...
Page 91 Manual de istrucciones Interruptor principal (con protección térmica) La activación del sistema mediante el Interruptor Principal ▪ suministra la alimentación al controlador de la turbobomba, pero tanto ésta como la bomba de apoyo permanecen apagadas. La activación del sistema permite al controlador comenzar con la lectura del dato de presión mediante el Full Range Gauge FRG- 700 opcional, si este último está...
Page 92 Manual de istrucciones Puerto del gauge Puerto serial Se puede poner en marcha el sistema mediante el selector ▪ denominado "Pumping". Después de colocar el selector “Pumping” en la posición “1”, la bomba y la bomba de apoyo se pondrán en marcha. Selector “Pumping”...
Page 93: Parada Del Tps-Mobile
Manual de istrucciones Los modelos 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432 y NOTA 9698433 no están equipados con el selector denominado “Pumping”; la misma función es llevada a cabo por el pulsador "Start/Stop" ubicado en el controlador. Parada del TPS-mobile Se puede apagar el sistema mediante el selector “Pumping”...
Page 94: Unidades Especiales
Manual de istrucciones Unidades especiales Unidades especiales La plataforma TPS-móvil se puede personalizar de acuerdo con las distintas necesidades, obteniendo números de modelo específicos. A excepción de casos especiales provistos de documentación específica, este manual se puede aplicar a todas las unidades especiales con marcado MXXXX (por ejemplo 9698416M2006).
Page 95: Mantenimiento
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El TPS-mobile no necesita ningún mantenimiento (a excepción de la sustitución del Tip-seal, para las versiones equipadas con bombas scroll o con llenado/cambio de aceite para las versiones con bombas de paleta rotativa). Toda intervención deberá ser realizada por personal autorizado.
Page 96: Eliminación
Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Page 97: Manual De Istruções
TPS-mobile User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 98 Informações gerais Símbolos utilizados 101 Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Acendimento e Utilização do TPS-mobile 108 Paragem do TPS-mobile 113 Paragem de Emergência Unidade especial 114 Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais...
Page 98: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
Page 99: Informações Gerais
Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
Page 100 Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: ATENÇAO! As mensagens de atençao chamam a atenção do operador para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais. As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! efectuados correctamente, podem causar danos à...
Page 101: Símbolos Utilizados
Manual de Istruções Informações gerais Símbolos utilizados Os seguintes símbolos são utilizados de modo coerente em todas as ilustrações: Perigo “Consulte a Condutor de proteção instalação/ funcionamento” Superfície quente “Perigo ON - Ligação de queimaduras se as (Alimentação) partes quentes forem tocadas”...
Page 102: Armazenagem
Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade dos sistemas de bombagem Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das ▪ bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: consultar os manuais dos componentes ▪...
Page 103: Preparação Para A Instalação
Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O TPS-mobile é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair o TPS-mobile e para não submetê-lo a choques ou vibrações.
Page 104 Manual de Istruções Preparação para a instalação TPS-mobile não pode ser danificado permanecendo simplesmente exposto à NOTA atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o momento da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó. Os modelos indicados neste manual de instruções estão baseados na plataforma de sistema de bombagem Agilent denominada TPS-móvel, as diferenças introduzidas pelos diferentes número de modelo são relativas à...
Page 105: Instalação
Manual de Istruções Instalação Instalação ATENÇAO! Prestar muita atenção ao elevar partes pesadas. Recomenda-se efetuar a elevação com 2 pessoas. A não elevação por parte de duas pessoas pode provocar lesões pessoais. Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no CUIDADO! momento de ligar a turbobomba ao sistema.
Page 106 Manual de Istruções Instalação A bomba turbo com flange de entrada ConFlat deve ser fixa por meio de parafusos e afins da Agilent. Para o binário de aperto do parafuso, consultar o manual da bomba turbo a ser utilizada. Para mais detalhes, consultar o a secção "Informações técnicas".
Page 107: Utilização
Manual de Istruções Utilização Utilização En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema, controlar que todas las conexiones eléctricas y neumáticas se hayan realizado correctamente. Durante o possível aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve ser superior a 120°C com flangeamento ConFlat e a 80°C com flangeamento ISO.
Page 108: Acendimento E Utilização Do Tps-Mobile
Manual de Istruções Utilização Para a "saída de ar" da bomba, utilizar gás inerte sem poeiras, partículas ou CUIDADO! humidade (p. ex.: Azoto). A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bars (além da pressão atmosférica). ATENÇAO! Quando a bomba é...
Page 109 Manual de Istruções Utilização Número de modelo (PN) Número de série (SN) Dados eléctricos Se a tensão fornecida pela alimentação eléctrica for compatível ▪ com a do sistema, é possível conectar o cabo de alimentação eléctrica na tomada eléctrica do tipo IEC320 presente no painel traseiro do sistema (ver figura).
Page 110 Manual de Istruções Utilização Mola de retenção Cabo de alimentação O modelo fornecido 989-8433 é entregue com um cabo de alimentação NOTA integrado, portanto não é necessário realizar esta operação Fornecer a tensão correcta ao sistema por meio do cabo de ▪...
Page 111 Manual de Istruções Utilização Interruptor principal (com protecção térmica) A activação do sistema por meio do interruptor Principal fornece ▪ alimentação ao controller da bomba turbo mas tanto a bomba turbo quanto a bomba de foreline permanecem desligadas. A activação do sistema permite ao controller iniciar a leitura do dado de pressão por meio do Full Range Gauge FRG-700 opcional, se este último estiver conectado na porta de conexão do medidor colocada na parte traseira do sistema.
Page 112 Manual de Istruções Utilização Porta do gauge Porta serial ▪ É possível arrancar o sistema por meio do selector denominado “Pumping”. Após ter colocado o selector “Pumping” na posição "1”, a bomba turbo e a bomba de foreline são activadas. Selector “Pumping”...
Page 113: Paragem Do Tps-Mobile
Manual de Istruções Utilização Os modelos 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, NOTA 9698433 não são equipados com o selector denominado “Pumping”; a mesma função é desenvolvida pelo botão “Start/Stop” posicionado no controller. Paragem do TPS-mobile ▪ É possível desligar o sistema por meio do selector “Pumping” (deslocando-o para a posição “0”);...
Page 114: Unidade Especial
Manual de Istruções Unidade especial Unidade especial A plataforma TPS-móvel pode ser personalizada em função das diferentes exigências, obtendo números específicos de modelo. Com excepção de casos específicos fornecidos de documentação específica, este manual pode ser aplicado a todas as unidades especiais marcadas com MXXXX (por exemplo, 9698416M2006).
Page 115: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TPS-compact não requer qualquer manutenção (com excepção da substituição do Tip-seal, para as versões equipadas com as bombas scroll ou o abastecimento/troca de óleo para as versões com bombas Rotary Vane). Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado.
Page 116: Eliminação
Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Page 117: Bedrijfshandleiding
TPS-mobile User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 118 Algemene informatie 119 Gebruikte symbolen Opslag 122 Uitpakken Installatie Gebruik Inschakeling en gebruik van de TPS-mobile Afzetten van de TPS-mobile 133 Noodstop Speciale units Onderhoud Afvalverwerking 136 Vertaling van de originele instructies 117/400...
Page 118: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Page 119: Algemene Informatie
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
Page 120 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken.
Page 121: Gebruikte Symbolen
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Gebruikte symbolen In alle afbeeldingen worden systematisch de volgende symbolen gebruikt: Gevaar “Raadpleeg Beschermingsgeleider installatie / werking” Heet oppervlak “Gevaar ON - Starten (Voeding) voor verbrandingen bij aanraken van hete onderdelen” Gevaar, risico op OFF - Stoppen elektrische schok (Voeding) WAARSCHUWING!
Page 122: Opslag
Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de pompsystemen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan ▪ de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: raadpleeg de handleidingen van de ▪...
Page 123: Uitpakken
Bedrijfshandleiding Uitpakken Uitpakken De TPS-mobile wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de TPS-mobile niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Page 124 Bedrijfshandleiding Uitpakken De TPS-mobile kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de OPMERKING atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen. De in deze handleiding aangegeven modellen zijn gebaseerd op het pompsysteem-platform van Agilent dat TPS-mobile wordt genoemd, de verschillen van de diverse modelnummers hebben betrekking op...
Page 125: Installatie
Bedrijfshandleiding Installatie Installatie WAARSCHUWING! Wees zeer voorzichtig bij het optillen van zware onderdelen. Het optillen dient door twee personen te worden uitgevoerd. Indien het optillen niet door twee personen wordt uitgevoerd kan persoonlijk letsel het gevolg zijn. Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt VOORZICHTIG! aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden.
Page 126 Bedrijfshandleiding Installatie De turbopomp met ingangsflens ConFlat moet bevestigd worden met behulp van de toegewijde mechanische instrumenten Agilent. Om het aanhaalkoppel van de schroeven te kennen, raadpleeg de handleiding van de te gebruiken turbopomp. Voor meer informatie, raadpleeg de bijlage "Technical Information". Als TPS-mobile uitgerust is met turbomoleculaire pompen kleiner dan of gelijk aan TwisTorr 304 FS, kan de pomp ook ingeschakeld worden indien gemonteerd op de TPS-mobile.
Page 127: Gebruik
Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld. Controleer alvorens het systeem te gebruiken of alle elektrische en pneumatische aansluitingen correct tot stand zijn gebracht. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen met flens ConFlat en 80 °C met flens ISO.
Page 128: Inschakeling En Gebruik Van De Tps-Mobile
Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik voor de "luchttoevoer" naar de pomp inert gas zonder stof, vaste VOORZICHTIG! deeltjes of vocht (bijv.: stikstof). De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder van 2 bar (boven de atmosferische druk) bedragen. WAARSCHUWING! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld.
Page 129 Bedrijfshandleiding Gebruik Modelnummer (PN) Seriennummer (SN) Elektrische gegevens Als de spanning van het elektrische voedingsnet compatibel is ▪ met die van het systeem, kan de elektrische voedingskabel op het contact type IEC320 op het achterpaneel van het systeem worden aangesloten (zie figuur). Het aansluitcontact is voorzien van een borgveer om onvoorziene afkoppeling van de voedingskabel te voorkomen;...
Page 130 Bedrijfshandleiding Gebruik Borgveer Voedingskabel Het model 9698433 wordt met een voedingskabel geleverd, dus hoeft deze OPMERKING handeling niet uitgevoerd te worden. Sluit de juiste spanning op het systeem aan door middel van de ▪ voedingskabel. Het systeem is uitgerust met een hoofdschakelaar (thermische ▪...
Page 131 Bedrijfshandleiding Gebruik Hoofdschakelaar (met thermische beveiliging) Bij inschakeling van het systeem via de hoofdschakelaar wordt de ▪ controller van de turbopomp gevoed maar zowel de turbopomp als de foreline pomp blijven uit. Door inschakeling van het systeem kan de controller beginnen met het aflezen van de drukwaarde via de optionele Full Range Gauge FRG-700, als deze op de gauge-poort aan de achterkant van het systeem is aangesloten.
Page 132 Bedrijfshandleiding Gebruik Gauge-poort Seriële poort Het systeem kan worden gestart via de keuzeschakelaar ▪ “Pumping”. Nadat de keuzeschakelaar “Pumping” in de stand “1” is gezet worden de turbopomp en de foreline pomp gestart. Selector “Pumping” 132/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 133: Afzetten Van De Tps-Mobile
Bedrijfshandleiding Gebruik De modellen 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, OPMERKING 9698433 hebben geen keuzeschakelaar “Pumping”; de knop “Start/Stop” op de controller heeft dezelfde functie. Afzetten van de TPS-mobile ▪ Het systeem kan worden gestopt via de keuzeschakelaar “Pumping” (door hem in de stand “0” te zetten); de controller blijft ingeschakeld en indien een gauge op het systeem is aangesloten kan de druk ook worden afgelezen als de pompen uit staan.
Page 134: Speciale Units
Bedrijfshandleiding Speciale units Speciale units Het TPS-mobile platform kan op verschillende behoeften worden aangepast, waardoor specifieke modelnummers worden verkregen. Met uitzondering van specifieke gevallen voorzien van specifieke documentatie, is deze handleiding van toepassing op alle speciale units aangeduid met MXXXX (bijvoorbeeld 9698416M2006). 134/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 135: Onderhoud
Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De TPS-mobile is onderhoudsvrij (behalve de vervanging van de Tip- seal, bij de uitvoeringen met scroll-pompen of het olie bijvullen/verversen bij de uitvoeringen met Rotary Vane pompen). Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Page 136: Afvalverwerking
Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Page 137: Istruktionsbog
TPS-mobile User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Anvendte symboler 141 Opbevaring Forberedelse før installation Installation Anvendelse Start og anvendelse af TPS-mobile Stop af TPS-mobile 152 Nødstop Specielle enheder Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 137/400...
Page 138: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Page 139: Generel Information
Istruktionsbog Generel Information Generel Information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
Page 140 Istruktionsbog Generel Information I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader.
Page 141: Anvendte Symboler
Istruktionsbog Generel Information Anvendte symboler De følgende symboler anvendes sammenhængende i alle illustrationer: Fare “Henvis til Beskyttelsesleder insallation/drift” Varm overflade “Fare for ON - Start (Forsyning) skoldninger hvis de varme dele berøres” Fare, risiko for elektrisk OFF - Stop (Forsyning) stød ADVARSEL! Når pumpen anvendes til at pumpe giftige, brændbare eller radioaktive...
Page 142: Opbevaring
Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring For at sikre maksimal sikkerhed og driftssikkerhed af Agilent pumpe- systemerne er det nødvendigt at overholde følgende forskrifter: Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i ▪ forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: temperatur: Der henvises til vejledningerne der omhandler de ▪...
Page 143: Forberedelse Før Installation
Istruktionsbog Forberedelse før installation Forberedelse før installation TPS-mobile leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TPS-mobile ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen.
Page 144 Istruktionsbog Forberedelse før installation Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade TPS-mobile. Det anbefales dog, BEMÆRK at opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil den skal installeres. Herved forhindres, at der kommer støv i pumpen. Modellerne der er beskrevet i denne instruktionsbog stammer fra Agilent pumpesystem serien benævnt TPS-mobile.
Page 145: Installation
Istruktionsbog Installation Installation ADVARSEL! Pas meget godt på, når tunge dele løftes. Det er stærkt anbefalet at 2 personer udfører løfteindgrebet. Manglende overholdelse af denne forholdsregel kan medføre personlige kvæstelser. Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen tilsluttes FORSIGTIG! systemet. Installér og anvend ikke pumpeanlægget i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø.
Page 146 Istruktionsbog Installation Turbopumpen med ConFlat-indgangsflange skal fastspændes ved brug af de pågældende Agilent mekaniske smådele. Til skruernes drejningsmoment henvises der til vejledningen af den relevante turbopumpe i brug. For yderligere detaljer se bilaget "Technical Information". Hvis TPS-mobile er forsynet med turbomolekularpumper med mål, der er mindre eller lig med TwisTorr 304 FS, er det muligt at tænde for pumpen selv hvis den er installeret på...
Page 147: Anvendelse
Istruktionsbog Anvendelse Anvendelse Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Før systemet tages i brug, kontroller, at alle elektriske og pneumatiske tilslutninger er korrekt udført. I forbindelse med vakuumkammerets eventuelle opvarmning, må indløbsflangens temperatur ikke overskride 120 °C med flange af ConFlat-type, og 80 °C med flange af ISO-type.
Page 148: Start Og Anvendelse Af Tps-Mobile
Istruktionsbog Anvendelse ADVARSEL! For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! Start og anvendelse af TPS-mobile Efter at have udpakket TPS-mobile, udfør en visuel kontrol for at ▪...
Page 149 Istruktionsbog Anvendelse Hvis netforsyningens spænding stemmer med anlæggets ▪ forsyning, er det muligt at tilslutte forsyningsledningen til den elektriske stikdåse af IEC320 type der sidder på systemets bagpanel (jf. figuren). Stikdåsen er udstyret med en låsefjeder der har som formål at undgå utilsigtede frakoblinger af forsyningsledningen;...
Page 150 Istruktionsbog Anvendelse Hovedafbryder (med termisk beskyttelse) Systemets aktivering ved brug af hovedafbryderen forsyner ▪ turbopumpens styreenhed med strøm, men turbopumpen og Foreline pumpen vedbliver slukket. Systemets aktivering giver styreenheden mulighed for at starte aflæsning af trykværdien ved hjælp af Full Range Gauge FRG-700 anordningen (ekstraudstyr) hvis dette er tilsluttet gauge forbindelsesporten der sidder bag på...
Page 151 Istruktionsbog Anvendelse Måleinstrument port Seriel port ▪ Det er muligt at starte anlægget ved hjælp af “Pumping” afbryderen. Efter at have stillet afbryderen “Pumping” i position “1” starter både turbopumpen og “Foreline” pumpen. “Pumping” kontakt TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 151/400...
Page 152: Stop Af Tps-Mobile
Istruktionsbog Anvendelse Modellerne 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, BEMÆRK 9698433 er ikke udstyret med “Pumping” afbryderen; den samme funktion er sikret med “Start/Stop” knappen der sidder på styreenheden. Stop af TPS-mobile Det er muligt at slukke anlægget ved brug af “Pumping” ▪...
Page 153: Specielle Enheder
Istruktionsbog Specielle enheder Specielle enheder TPS-mobile serien kan tilpasses afhængigt af forskellige krav, med specifikke modelnumre. Med undtagelse af specifikke tilfælde der er ledsaget med en specifik dokumentation, kan denne manual anvendes til alle de specielle enheder mærket med MXXXX (for eksempel: 9698416M2006).
Page 154: Vedligeholdelse
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse TPS-compact behøver ikke nogen vedligeholdelse (med undtagelse af Tip-seal pakningen, for de versioner der er udstyret med scroll pumper eller med påfyldning/udskiftning af olie til de versioner med Rotary Vane pumper) Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale.
Page 155: Bortskaffelse
Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...
Page 156 Istruktionsbog Bortskaffelse 156/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 157: Bruksanvisning
TPS-mobile User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 158 Allmän Information Symboler som används 161 Förvaring Förberedelser för installationen 163 Installation Använding Start och användning av TPS-mobile 168 Att stänga av TPS-mobile Nödstopp Speciella enheter 173 Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 157/400...
Page 158: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Page 159: Allmän Information
Bruksanvisning Allmän Information Allmän Information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador som helt eller delvis beror på åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Page 160 Bruksanvisning Allmän Information I bruksanvisningen används följande standardrubriker: VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada ska uppstå.
Page 161: Symboler Som Används
Bruksanvisning Allmän Information Symboler som används De följande symbolerna används vanligen i alla illustrationer: Fara “Se installationen Skyddsledare /funktionen” Varm yta “Fara för ON - Start brännskador vid kontakt (försörjning) med varma delar” Fara, risk för elektrisk stöt OFF - Stopp (försörjning) VARNING! När pumpen används för en pumpning av giftiga, antändabara eller...
Page 162: Förvaring
Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande ▪ omgivningsförhållanden respekteras: Temperatur: se handböckerna för de enstaka komponenterna ▪ på TPS Relativ fuktighet: se handböckerna för de enstaka ▪...
Page 163: Förberedelser För Installationen
Bruksanvisning Förberedelser för installationen Förberedelser för installationen TPS-mobile levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TPS-mobile inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen.
Page 164 Bruksanvisning Förberedelser för installationen Normal påverkan från atmosfären kan inte skada TPS-mobile. Trots det är det OBSERVERA säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den. Modellerna i denna instruktionsbok grundar sig på...
Page 165: Installation
Bruksanvisning Installation Installation VARNING! Var mycket försiktig när tunga delar lyfts. Det rekommenderas att två personer lyfter pumpen. Om den lyfts av bara en person kan det leda till kroppsskador. Ta bort tejpen och dra ut skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till OBSERVER! systemet.
Page 166 Bruksanvisning Installation Turbopumpen med ingångsfläns ConFlat ska fästas med hjälp av avsett urvrk Agilent. Se motsvarande turbopumps handbok för skruvarnas åtdragningsmoment. För ytterligare information, se bilaga "Technical Information". Om TPS-mobile har en turbopump med en storlek som är mindre än eller lika stor som TwisTorr 304 FS kan pumpen sättas igång även om den installeras på...
Page 167: Använding
Bruksanvisning Använding Använding Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens bruksanvisning. Innan systemet används, kontrollera att alla el- och tryckluftsanslutningar genomförts riktigt. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120 °C med flänsningen ConFlat och 80 °Cmed flänsningen ISO. VARNING! Sätt aldrig igång pumpsystemet om intagsflänsen varken är kopplad till vakuumkammaren eller är blockerad på...
Page 168: Start Och Användning Av Tps-Mobile
Bruksanvisning Använding VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpsystemet i närheten av explosiva gaser. Start och användning av TPS-mobile Efter att ha packat upp TPS-modellen, se till att det inte uppstått ▪...
Page 169 Bruksanvisning Använding Om spänningen från elförsörjningen är kompatibel med ▪ systemets, kan elkabeln kopplas till eluttaget av typ IEC320 som sitter på systemets bakre panel (se figuren). Uttaget har en fästklämma för att undvika oavsiktliga frånkopplingar av elkabeln. Använd klämman för att fästa elkabeln. Fästklämma Elkabel Modellen 9698433 som erhålls levereras med en integrerad elkabel och därmed...
Page 170 Bruksanvisning Använding Huvudbrytare (med termiskt skydd) Aktiveringen av systemet med huvudströmbrytaren försörjer ▪ turbopumpens kontrollenhet men både turbopumpen och Foreline-pumpen förblir släckta. Aktiveringen av systemet gör att kontrollenheten börjar att läsa av trycket genom Full Range Gauge FRG-700 (tillval) om mätaren är kopplad till uttaget för mätare som sitter bak på...
Page 171 Bruksanvisning Använding Mätarens port Serieport ▪ Det går att starta systemet med väljaren som kallas “Pumping”. Efter att väljaren ”Pumping” ställts på läget "1” starta turbopumpen och Foreline-pumpen. Väljaren “Pumping” TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 171/400...
Page 172: Att Stänga Av Tps-Mobile
Bruksanvisning Använding Modellerna 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, OBSERVERA 9698433 är inte utrustade med väljaren “Pumping”. Knappen “Start/Stop” som sitter på kontrollenheten har samma funktion. Att stänga av TPS-mobile Det går att släcka systemet med väljaren “Pumping” (genom att ▪...
Page 173: Speciella Enheter
Bruksanvisning Speciella enheter Speciella enheter Plattformen TPS-mobile kan anpassas i funktion till olika krav och få specifika modellnummer. Med undantag av särskilda fall som ges i en specifik dokumentation, gäller denna handbok för alla speciella enheter som markerats med MXXXX (t. ex. 9698416M2006. TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 173/400...
Page 174: Underhåll
Bruksanvisning Underhåll Underhåll TPS-compact är underhållsfritt (förutom bytet av Tip-seal, för versioner utrustade med scroll-pumpar eller påfyllning/byte av olja för versionerna med pumparna Rotary Vane). Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas.
Page 175: Bortskaffning
Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Page 176 Bruksanvisning Bortskaffning 176/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 177: Instruksjon Manual
TPS-mobile User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 179 Symboler i bruk Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk 187 Starte og bruke TPS-mobile 188 Stoppe TPS-mobile 192 Nødstopp Spesialenheter Vedlikehold Kassering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 177/400...
Page 178: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Turbomolekylærpumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Page 179: Generell Informasjon
Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
Page 180 Instruksjon Manual Generell informasjon Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! fore til at utstyret skades.
Page 181: Symboler I Bruk
Instruksjon Manual Generell informasjon Symboler i bruk Følgende symboler brukes i alle illustrasjonene: Fare. “Se Jording installasjon/funksjon” Varm flate. “Fare for PÅ – start forbrenning ved berøring (strømforsyning) av varme flater” Fare for elektrisk støt AV – stopp (strømforsyning) ADVARSEL! Når pumpen brukes for å...
Page 182: Lagring
Instruksjon Manual Lagring Lagring For å garantere maksimalt nivå for funksjonalitet og driftssikkerhet til pumpesystemet Agilent, må en følge forskriftene nedenfor: Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende ▪ miljøforhold overstiges: temperatur: se håndbøkene til de enkelte komponentene til ▪...
Page 183: Klargjøre Til Installasjon
Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon TPS-mobile leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TPS-mobile pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Page 184 Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge TPS-mobile. Likevel MERK anbefaler vi å holde pumpen lukket til den er montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving. Modellene som angis i denne bruksanvisningen baserer seg pè plattformen av pumpesystemer fra Agilent kalt TPS-mobile.
Page 185: Installasjon
Instruksjon Manual Installasjon Installasjon ADVARSEL! Vær svært forsiktig når du løfter tunge deler.Løfting bør utføres av to personer. Fare for personskader hvis løftingen ikke utføres av to personer. Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når turbopumpen koples til FORSIKTIG! systemet. Ikke installer eller bruk pumpesystemet i miljøer som utsettes for regn, snø...
Page 186 Instruksjon Manual Installasjon Hvis TPS-mobile er utstyrt med en turbomolekulær pumpe som er mindre eller større enn TwisTorr 304 FS, kan pumpen slås på selv om den er installert på TPS-mobile. Hvis TPS-mobile er utstyrt med en pumpe som er større enn 304 FS, kan TPS-mobile kun brukes for håndtering av pumpen (turbopumpe slått av), som må...
Page 187: Bruk
Instruksjon Manual Bruk Bruk Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Før bruk av systemet, kontroller at alle de elektriske og pneumatiske koblingene er blitt korrekt utført. Hvis vakuumkammeret varmes opp, skal temperaturen på inngangsflensen ikke overskride 120 °C med ConFlat inngangsflens eller 80 °C med ISO inngangsflens.
Page 188: Starte Og Bruke Tps-Mobile
Instruksjon Manual Bruk ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpesystemet skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. Starte og bruke TPS-mobile Etter å ha pakket ut TPS-mobile, sjekk at systemet ikke har spor ▪...
Page 189 Instruksjon Manual Bruk Hvis spenningen til strømtilførselen er forenlig med systemets, er ▪ det mulig å koble den strømførende kabelen til til el-uttaket av typen IEC320 som finnes på systemets bakre del (se figuren). Uttaket er utstyrt med en koblingsfjær som er satt på for å unngå uhensiktsmessige frakoblinger av strømkaleben;...
Page 190 Instruksjon Manual Bruk Hovedbryter (med beskyttelse mot Innkoblingen av systemet ved bruk av Hovedbryteren sørger for ▪ strømtilførsel til turbopumpens controller, men både turbopumpen og Foreline-pumpen forblir åvslåtte. Aktiveringen av systemet gjør det mulig for controlleren å starte avlesning av trykkets data gjennom Full Range Gauge FRG-700 (ekstrautstyr), hvis denne er koblet til koblingsporten for gauge som befinner sge på...
Page 191 Instruksjon Manual Bruk Gauge-port Seriell port ▪ Det er mulig å sette systemet i gang ved hjelp av valgbryteren kalt “Pumping”. Etter å ha satt velgeren “Pumping” i posisjon “1” vil turbopumpen og Foreline-pumpen starte. Bryter for "pumping" TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 191/400...
Page 192: Stoppe Tps-Mobile
Instruksjon Manual Bruk Modellene 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, MERK 9698433 er ikke utstyrt med valgbryteren kalt “Pumping”; den samme funksjonen utføres av knappen “Start/Stop” som befinner seg på controlleren. Stoppe TPS-mobile Det er mulig å slå av systemet ved hjelp av valgbryteren ▪...
Page 193: Spesialenheter
Instruksjon Manual Spesialenheter Spesialenheter Plattformen TPS-mobile kan brukertilpasses i henhold til de enkelte behov, og dermed oppnå spesifikke modellnummere. Med unntak av spesifikkke tilfeller utstyrt med spesifikk dokumentasjon, kan dette håndboken brukes for alle spesialenheter merket med MXXXX (for eksempel 9698416M2006). TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 193/400...
Page 194: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TPS-compact er vedlikeholdsfri (bortsett fra utskifting av Tip-seal, for versjonene utstyrt med scrollpumper og etterfylling/oljeskift for versjonene med pumper Rotary Vane). Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noearbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å...
Page 195: Kassering
Instruksjon Manual Kassering Kassering Betydningen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet som vises nedenunder, er anvendt i henhold til EC-direktivet kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det står på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
Page 196 Instruksjon Manual Kassering 196/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 197: Ohjekäsikirja
TPS-mobile User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 198 Yleisiä tietoja Käytetyt symbolit 201 Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 207 TPS-mobile:n käynnistys ja käyttö TPS-mobile: n pysäyttäminen Hätäpysäytys 212 Erityisyksiköt Huolto 214 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 197/400...
Page 198: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 198/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 199: Yleisiä Tietoja
Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
Page 200 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: VAROITUS! Vaara-merkinnät saavat käyttäjän huomion kiinnittymään erityisiin toimintotapoihin, joiden seuraamatta jättäminen voi aiheuttaa vakavia henkilövaurioita. Huomio-merkinnät varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen HUOMIO! vaurioitumiseen. Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa. HUOM Ennen pumpun käynnistämistä, tarkistakaa Rotary Vane -pumpun öljytaso.
Page 201: Käytetyt Symbolit
Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Käytetyt symbolit Seuraavia symboleita käytetään johdonmukaisesti kaikissa selityksissä: Vaara “Viittaa Suojajohdin asennukseen / toimintaan” Kuuma pinta ON - Käynnistys “Palovammojen vaara jos (Virransyöttö) kuumia pintoja kosketaan” Vaara, sähköiskun vaara OFF - Pysäytys (Virransyöttö) VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, palavien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudata jokaiselle kaasutyypille kuuluvia menetelmiä.
Page 202: Varastointi
Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavassa annettuja ohjeita Agilent pumppausjärjestelmien parhaan ja luotettavan toiminnan takaamiseksi: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia ▪ ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: viittaa yksittäisten TPS:n osien ohjekirjoihin ▪ suhteellinen kosteus: viittaa yksittäisten TPS:n osien ▪...
Page 203: Valmistelut Asennusta Varten203
Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten TPS-mobile toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TPS-mobile:n putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali voidaan kierrättää...
Page 204 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten TPS-mobile ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On HUOM kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen. Tässä käyttöohjeessa osoitetut mallit perustuvat Agilent pumppausjärjestelmä arkkitehtuuriin, jota kutsutaan nimellä TPS- mobile.
Page 205: Asennus
Ohjekäsikirja Asennus Asennus VAROITUS! Toimikaa erittäin varovaisesti kuumia osia nostettaessa Nostakaa kahden henkilön voimin. Jos nostoa ei suoriteta kahden henkilön voimin, siitä voi syntyä henkilövahinkoja. Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään HUOMIO! järjestelmään. Pumppausjärjestelmää ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä...
Page 206 Ohjekäsikirja Asennus Turbopumppu ConFlat-sisäänmenolaipalla on kiinnitettävä asianmukaisten mekaanisten Agilent-asennustarvikkeiden kautta. Ruuvien kiristysmomenttia varten, viittaa käytettävän turbopumpun ohjekirjaan. Lisätietoja varten ks. liite "Technical Information". Jos TPS-mobile on varustettu Twis Torr 304 FS nähden pienemmillä tai vastaavilla turbomolekyylipumpuilla, pumppu voidaan käynnistää vaikka se olisikin asennettu TPS-mobileen. Jos TPS-mobile on varustettu 304 FS:ään nähden suuremmilla pumpuilla, TPS-mobilea voidaan käyttää...
Page 207: Käyttö
Ohjekäsikirja Käyttö Käyttö Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet. Ennen järjestelmän käyttöä tarkista, että kaikki sähkö- ja paineilmaliitännät on tehty oikein. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 120 °C:tta ConFlat laipoituksella ja 80 °C:tta ISO laipoituksella. VAROITUS! Älkää...
Page 208: Tps-Mobile:n Käynnistys Ja Käyttö
Ohjekäsikirja Käyttö VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppausjärjestelmää räjähdysherkkien kaasujen lähellä. TPS-mobile:n käynnistys ja käyttö Kun TPS-mobile on purettu pakkauksesta varmista ▪ silmämääräisen tarkistuksen avulla, että järjestelmässä ei näy kuljetuksesta syntyneitä...
Page 209 Ohjekäsikirja Käyttö Jos sähköjärjestelmän syöttämä jännite sopii yhteen järjestelmän ▪ jännitteen kanssa, kytke sähköjohto IEC320 tyyppiseen sähköpistokkeeseen, joka sijaitsee järjestelmän takapaneelissa (katso kuva). Pistoke on varustettu pidätysjousella, joka on asennettu estämään virtajohdon satunnaista irtoamista; käytä jousta johdon kiinnittämistä varten. Pidätys-jousi Virtajohto Malli 9698433 on varustettu integroidulla virtajohdolla, joten tämän HUOM...
Page 210 Ohjekäsikirja Käyttö Pääkatkaisin (lämpösuojauksella) Kun järjestelmä kytketään päälle pääkatkaisimella, virtaa ▪ syötetään turbopumpun ohjaimelle mutta sekä turbopumppu että foreline pumppu pysyvät pois päältä. Järjestelmän aktivoinnin myötä ohjain aloittaa painearvon luennan valinnaisen Full Range Gaugen FRG-700 avulla jos se on kytketty mittauslaitteen liitäntäporttiin järjestelmän takaosassa. 210/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 211 Ohjekäsikirja Käyttö Mittauslaitteen portti Sarjaportti ▪ Voit käynnistää järjestelmän "Pumping" nimisen valitsimen kautta. Kun olet asettanut "Pumping" -valitsimen asentoon "1", turbopumppu ja foreline pumppu käynnistyvät. “Pumping”-valitsin TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 211/400...
Page 212: Tps-Mobile: N Pysäyttäminen
Ohjekäsikirja Käyttö Malleja 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, HUOM 9698433 ei ole varustettu "Pumping" nimisellä valitsimella”; sama toiminto suoritetaan ohjaimelle asetetun "Start/Stop” -painikkeen kautta. TPS-mobile: n pysäyttäminen Järjestelmä voidaan sammuttaa “Pumping” -valitsimen kautta ▪ (siirtämällä se asentoon “0”); ohjain jää päälle ja jos mittauslaite on kytketty järjestelmään, paineenarvon lukemista voidaan jatkaa myös pumput sammutettuina.
Page 213: Erityisyksiköt
Ohjekäsikirja Erityisyksiköt Erityisyksiköt TPS-mobile arkkitehtuuri voidaan yksilöllistää erilaisten vaatimusten perusteella saamalla aikaan erityisiä mallinumeroita. Lukuun ottamatta erityisellä dokumentaatiolla varustettuja määrättyjä tapauksia, tätä käyttöohjetta voidaan soveltaa kaikissa erityisissä yksiköissä, jotka on merkitty MXXXX (esimerkiksi 9698416M2006). TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 213/400...
Page 214: Huolto
Ohjekäsikirja Huolto Huolto TPS-compact ei vaadi lainkaan huoltoa (tip-seal-tiivisteen vaihtamista lukuun ottamatta, malleissa, jotka on varustettu scroll pumpuilla tai öljyn lisäyksellä/vaihdolla Rotary Vane pumpuilla varustetuissa malleissa) Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää...
Page 215: Hävittäminen
Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...
Page 216 Ohjekäsikirja Hävittäminen 216/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 217: Felhasználói Kézikönyv
TPS-mobile User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános információ 219 Felhasznált jelképek Tárolás Előkészítés telepítésre 223 Telepítés Használat A TPS-mobile bekapcsolása és használata A TPS-mobile kikapcsolása 233 Vészleállítás 233 Speciális egység 234 Karbantartás Megsemmisítés 236 Az eredeti utasítás fordítása 217/400...
Page 218: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
Page 219: Általános Információ
Felhasználói Kézikönyv Általános információ Általános információ A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
Page 220 Felhasználói Kézikönyv Általános információ Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt használja: VESZÉLY! A figyelmeztető üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! követnek, a berendezés károsodását okozhatják.
Page 221: Felhasznált Jelképek
Felhasználói Kézikönyv Általános információ Felhasznált jelképek Az alábbi jelképeket valamennyi ábrán következetesen használtuk: Veszélyjel “A telepítés / Biztonsági berendezés működést vegye vezetéke figyelembe” Forró felület “A forró ON - Bekapcsolás részek érintése (Táp) égésveszéllyel jár” Veszélyjel, áramütés OFF - Kikapcsolás veszélye (Táp) VESZÉLY!
Page 222: Tárolás
Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent szivattyú-rendszerek maximális működési szintjének és megbízhatóságának biztosításához tartsa be a következő előírásokat: szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő ▪ környezeti paramétereket nem szabad túllépni: hőmérséklet: olvassa el a TPS egyes alkatrészeinek ▪ kézikönyvét relatív páratartalom: olvassa el a TPS egyes alkatrészeinek ▪...
Page 223: Előkészítés Telepítésre
Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A TPS-mobile-ot különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását. Ne ártalmatlanítsa a csomagoló...
Page 224 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a TPS-mobile-ot. MEGJEGYZÉS Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját. Az ebben a használati kézikönyvben szereplő típusok az ún TPS-mobil Agilent szivattyúrendszer azonosságán alapulnak, a különböző...
Page 225: Telepítés
Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés VESZÉLY! Gondosan járjanak el, amikor nehéz részeket emelnek. Ajánljuk, hogy az emelést két ember végezze. Ha nem két személy gondoskodik az emelésről, személyi sérülés veszélye áll fenn. Ne távolítsa el az öntapadó és védőkupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez FIGYELEM! való...
Page 226 Felhasználói Kézikönyv Telepítés A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút rögzítse megfelelő Agilent mechanikus csavarokkal. A csavarok zárónyomatékához olvassa el a használandó turbószivattyú kézikönyvét. A további részletekhez lásd a „Technical Information” mellékletet. Ha a TPS-mobile a TwisTorr 304 FS méreténél kisebb vagy azonos méretű...
Page 227: Használat
Felhasználói Kézikönyv Használat Használat Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. Mielőtt a rendszert használja, ellenőrizze, hogy valamennyi elektromos és hidraulikus csatlakozás megfelelően készült. A vákuumkamra esetleges melegítése közben a bemeneti karima hőmérséklete nem haladhatja meg a 120 °C-ot ConFlat karima és a 80 °C-ot ISO karima esetén.
Page 228: A Tps-Mobile Bekapcsolása És Használata
Felhasználói Kézikönyv Használat Használjon portól, szemcséktől vagy nedvességtől mentes semleges gázt (pl. FIGYELEM! nitrogént) a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton lévő nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött). VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok ártalmatlanításához szükséges eljárásokat.
Page 229 Felhasználói Kézikönyv Használat Típusszám (PN) Sorozatszám (SN) Elektromos adatok Ha az elektromos hálózat feszültsége megfelel a rendszerének, az ▪ elektromos tápkábel csatlakoztatható a rendszer hátsó paneljén lévő IEC320 típusú elektromos konnektorba (lásd az ábrát). A konnektor visszatartó rugóval van ellátva a tápkábel véletlen szétcsatlakozásának megakadályozására.
Page 230 Felhasználói Kézikönyv Használat Visszatartó rugó Tápkábel A 9698433 típus integrált tápkábellel van ellátva, tehát ezt a műveletet nem kell MEGJEGYZÉS elvégezni. A tápkábelen keresztül biztosítsa a megfelelő feszültséget a ▪ rendszernek. A rendszer olyan főkapcsolóval (hőkapcsolóval) rendelkezik, ▪ amely képes a rendszer elemeit a túlterheléstől vagy a rövidzárlattól megóvni.
Page 231 Felhasználói Kézikönyv Használat Főkapcsoló (hővédelemmel)) A rendszer főkapcsolóval történő bekapcsolása tápot biztosít a ▪ turbószivattyú vezérlőjének, de a turbószivattyú és a Foreline szivattyú kikapcsolva maradnak. A rendszer bekapcsolásával a vezérlő elkezdi a nyomásadatok olvasását a választható Full Range Gauge FRG-700 segítségével, ha ez utóbbi rá...
Page 232 Felhasználói Kézikönyv Használat Gaugeport Serialport El lehet indítani a rendszert az ún. “Pumping” kapcsolóval. A ▪ “Pumping” kapcsoló “1” helyzetbe hozását követően a turbószivattyú és a Foreline szivattyú beindul. “Pumping” kapcsoló 232/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 233: A Tps-Mobile Kikapcsolása
Felhasználói Kézikönyv Használat A 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, 9698433 MEGJEGYZÉS típusok nem rendelkeznek ún. “Pumping” kapcsolóval; ezt a funkciót a vezérlőn elhelyezett “Start/Stop” gomb látja el. A TPS-mobile kikapcsolása ▪ A rendszert ki lehet kapcsolni a “Pumping” kapcsolóval (“0” helyzetbe hozással);...
Page 234: Speciális Egység
Felhasználói Kézikönyv Speciális egység Speciális egység A TPS-mobile alapot a különböző igényeknek megfelelően testre lehet szabni ezáltal specifikus típusszámok nyerhetők. A specifikus dokumentációval rendelkező specifikus esetek kivételével ez a kézikönyv az összes MXXXX jelzésű speciális egységre alkalmazható MXXXX (például 9698416M2006). 234/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 235: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TPS-compact nem igényel karbantartást (kivéve a Tip-seal cseréjét a scrollszivattyúval felszerelt változatoknál vagy az olajadagoló/cserélő cseréjét a Rotary Vane szivattyús változatnál). A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő...
Page 236: Megsemmisítés
Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Page 237: Podrecznik Instrukcji
TPS-mobile User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne informacje 239 Zastosdowane symbole 241 Magazynowanie 242 Przygotowanie do instalacji 243 Instalacja Użytkowanie Włączenie i obsługa systemu TPS-mobile 248 Zatrzymanie TPS-mobile Zatrzymanie Alarmowe 253 Jednostki specjalne Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 237/400...
Page 238: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Page 239: Ogólne Informacje
Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje Ogólne informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich norm krajowych.
Page 240 Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: ZAGROZENIE! Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść...
Page 241: Zastosdowane Symbole
Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje Zastosdowane symbole Niżej pokazane symbole zamieszczane są odpowiednio obok wszystkich rysunków: Niebezpieczeństwo Przewód ochronny “Dotyczy instalacji/działania” Gorąca powierzchnia ON - Włączenie “Dotknięcie gorących (Zasilanie) części grozi oparzeniem” Niebezpieczeństwo, grozi OFF - Zatrzymanie porażeniem elektrycznym (Zasilanie) ZAGROZENIE! Kiedy pompa jest stosowana do pompowania gazów toksycznych, palnych lub radioaktywnych, należy postępować...
Page 242: Magazynowanie
Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Magazynowanie By zagwarantować maksymalny poziom funkcjonalności i działania systemów pompujących Agilent, powinny być przestrzegane następujące zasady: podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp, nie ▪ mogą być przekroczone następujące warunki środowiskowe: temperatura: informacje podano w instrukcjach obsługi ▪ poszczególnych komponentów TPS wilgotność...
Page 243: Przygotowanie Do Instalacji
Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji System TPS-mobile jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować...
Page 244 Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji System TPS-mobile, nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go na PRZYPIS działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem. Modele przedstawione w niniejszej instrukcji bazują na platformie systemów pompowania Agilent o nazwie TPS-mobile;...
Page 245: Instalacja
Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja ZAGROZENIE! Zachować szczególną ostrożność przy podnoszeniu cięzkich przedmiotów. Zaleca się, aby podnoszenie było wykonywane przez dwie osoby. W przeciwnym razie grozi to poważnymi obrażeniami. Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający tylko w momencie UWAGA! połączenia pompy do systemu. Nie instalować...
Page 246 Podrecznik Instrukcji Instalacja Turbopompa kołnierzem wlotowym ConFlat musi zostać przymocowania za pomocą elementów mechanicznych Agilent. Dane dotyczące momentu dokręcania śrub podano instrukcji przewidzianej dla stosowanej turbopompy. Więcej informacji zawarto w załączniku „Technical Information”. Jeżeli TPS-mobile jest wyposażony w pompy turbomolekularne mniejsze lub takie same jak TwisTorr 304 FS, pompa może zostać...
Page 247: Użytkowanie
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Użytkowanie W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury operacyjne. Przed rozpoczęciem korzystania z układu należy sprawdzić, czy wszystkie podłaczenia elektryczne i pneumatyczne są wykonane poprawnie. Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na kołnierzu nie może przekroczyć 120 °C w przypadku kołnierza ConFlat i 80 °C w przypadku kołnierza ISO.
Page 248: Włączenie I Obsługa Systemu Tps-Mobile
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Dla wlotu do powietrza pompy zastosować obojętny gaz bez pyłu lub innych UWAGA! cząstek i bez wilgoci (np.: Azot). Ciśnienie wejściowe poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2 barów ( ponad ciśnienie atmosferyczne). ZAGROZENIE! Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać...
Page 249 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Numer modelu (PN) Numer seryjny (SN) Dane elektryczne ć Jeżeli napięcie zasilania elektrycznego jest zgodne z podanym dla ▪ systemu można podłączyć kabel zasilania elektrycznego do gniazda typu IEC320, które znajduje się na tylnym panelu systemu (patrz rysunek). Gniazdo posiada sprężynę blokującą, której celem jest uniemożliwienie przypadkowego odłączenia kabla zasilania;...
Page 250 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Sprężyna zabezpieczając Kabel zasilający łą ć Model 9698433 jest wyposażony w zintegrowany kabel zasilający, w związku z PRZYPIS czym operacja ta nie jest konieczna. Doprowadzić prawidłowe napięcie do systemu za pomocą kabla ▪ zasilającego. System jest wyposażony w wyłącznik główny (wyłącznik ▪...
Page 251 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Wyłącznik główny (z zabezpieczeniem termicznym) ć Uruchomienie systemu za pomocą wyłącznika głównego ▪ powoduje doprowadzenie zasilania do sterownika turbopompy, ale zarówno turbopompa jak i pompa „foreline” pozostają wyłączone. Uruchomienie systemu umożliwia sterownikowi rozpoczęcie odczytu ciśnienia przez opcjonalny Full Range Gauge FRG-700, jeżeli przyrząd ten jest podłączony do portu przyrządu pomiarowego znajdującego się...
Page 252 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Port przyrządu pomiarowego Port szeregowy Postać 5 Podłączenie przyrządu pomiarowego (gauge) System można uruchomić za pomocą przełącznika „Pumping” ▪ (pompowanie). Po ustawieniu przełącznika „Pumping” w położeniu „1” uruchamia się turbopompa oraz pompa ”foreline”. Przełącznik “Pumping” ć 252/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 253: Zatrzymanie Tps-Mobile
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Modele 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, PRZYPIS 9698433 nie są wyposażone w przełącznik “Pumping”; ta sama funkcja jest realizowana przez przycisk “Start/Stop” znajdujący się na sterowniku. Zatrzymanie TPS-mobile ▪ System można wyłączyć za pomocą przełącznika “Pumping” (ustawiając go w położeniu “0”);...
Page 254: Jednostki Specjalne
Podrecznik Instrukcji Jednostki specjalne Jednostki specjalne Platforma TPS-mobile może być dostosowana do potrzeb odpowiednio do różnych wymagań, uzyskując w ten sposób specjalne numery modelu. Z wyjątkiem szczególnych przypadków podanych w specjalnej dokumentacji, niniejsza instrukcja ma zastosowanie do wszystkich zespołów specjalnych z oznaczeniem MXXXX (na przykład 9698416M2006).
Page 255: Konserwacja
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja System TPS-compact nie wymaga żadnej konserwacji (z wyjątkiem wymiany Tip-seal, dla wersji wyposażonej w pompy scroll lub uzupełnienia/wymiany oleju w przypadku wersji z pompami Rotary Vane). Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć...
Page 256: Przetworstwo Odpadow
Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej.
Page 257: Návod K Použití
TPS-mobile User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 258 Všeobecné informace 259 Použité symboly Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití Zapnutí a používání vývěvy TPS-mobile Vypnutí vývěvy TPS-mobile 272 Nouzové zastavení 272 Speciální jednotky 273 Údržba Likvidace 275 Překlad originálního návodu 257/400...
Page 258: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...
Page 259: Všeobecné Informace
Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
Page 260 Návod k Použití Všeobecné informace Tento manuál používá následující standardní protokol NEBEZPEČÍ! Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení mohly POZOR! poškodit zařízení.
Page 261: Použité Symboly
Návod k Použití Všeobecné informace Použité symboly íže uvedené symboly jsou použity shodně u všech ilustrací: Nebezpečí! „Vycházejte z Ochranný (zemnicí) informací ohledně vodič instalace / činnosti“ Horký povrch! „Nebezpečí ZAP. - Zapnutí vzniku popálenin při (Napájení) dotyku částí s vysokou teplotou“...
Page 262: Uskladnění
Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Pro zaručení maximální úrovně funkčnosti a spolehlivosti vývěvových systémů Agilent je třeba respektovat následující předpisy: Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli ▪ překračovat následující technické podmínky prostředí: teplota: vycházejte z návodů k jednotlivým komponentům ▪...
Page 263: Příprava K Instalaci
Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Vývěva Mini Task se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Page 264 Návod k Použití Příprava k instalaci V normálním prostředí se vývěva TPS-mobile nemůže poškodit. Přesto POZNÁMKA doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem. Modely uvedené v tomto návodu vycházejí z platformy čerpacích systémů...
Page 265: Instalace
Návod k Použití Instalace Instalace NEBEZPEČÍ! Věnujte velkou pozornost zvedání těžkých částí. Doporučuje se, aby zvedání prováděly 2 osoby. Zvedání, které nebude provedeno dvěma osobami, může vést k ublížení na zdraví. Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte adhezní a POZOR! ochranné...
Page 266 Návod k Použití Instalace Turbočerpadlo se vstupní přírubou ConFlat musí být připevněno prostřednictvím příslušných drobných mechanických součástek od firmy Agilent. Ohledně utahovacího momentu šroubů vycházejte z návodu k turbočerpadlu, určenému k použití. Ohledně podrobnějších informací si přečtěte „Technical Information“. Když je systém TPS-mobile vybaven turbomolekulárními čerpadly menší...
Page 267: Použití
Návod k Použití Použití Použití Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů. Před použitím systému zkontrolujte, zda byla správně zrealizována všechna elektrická a pneumatická zapojení. Při případném zahřívání vakuové komory teplota vstupní příruby nesmí překročit 120 °C v případě příruby ConFlat a 80 °C v případě příruby ISO. NEBEZPEČÍ! Čerpací...
Page 268: Zapnutí A Používání Vývěvy Tps-Mobile
Návod k Použití Použití NEBEZPEČÍ! Pokud používáte čerpací systém pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Zapnutí a používání vývěvy TPS-mobile Po vybalení TPS-mobile se vizuální kontrolou ujistěte, že se ▪...
Page 269 Návod k Použití Použití Když je napětí v elektrické síti vhodné pro napájení systému, je ▪ možné připojit napájací kabel elektrického napájení do zásuvky elektrického rozvodu typu IEC320, která se nachází na zadním panelu systému (viz obrázek). Zásuvka má přidržovací pružinu, aby se zabránilo náhodnému odpojení...
Page 270 Návod k Použití Použití Hlavní vypínač (s tepelnou ochranou) Po zapnutí systému prostřednictvím hlavního vypínače bude ▪ řídicí zařízení vývěvy turbo napájené, ale vývěva turbo a také vývěva foreline zůstanou vypnuté. Aktivace systému umožňuje řídicímu zařízení zahájit čtení údaje o tlaku prostřednictvím volitelného příslušenství Full Range Gauge FRG-700, je-li toto připojeno ke spojovacímu portu gauge na zadní...
Page 271 Návod k Použití Použití Port měřícího přístroje Sériový port ř ěř ř ▪ Systém je možné spustit prostřednictvím voliče nazvaného „Pumping“. Po přepnutí voliče „Pumping“ do polohy „1“ se spustí vývěva turbo a vývěva foreline. Volič „Pumping“ č TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 271/400...
Page 272: Vypnutí Vývěvy Tps-Mobile
Návod k Použití Použití Modely 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, POZNÁMKA 9698433 nejsou vybaveny voličem „Pumping“; stejná funkce je ovládána tlačítkem „Start/Stop“, které se nachází na řídicím zařízení. Vypnutí vývěvy TPS-mobile Systém je možné vypnout voličem „Pumping“ (jeho přepnutím do ▪...
Page 273: Speciální Jednotky
Návod k Použití Speciální jednotky Speciální jednotky Platforma TPS-mobile může být uživatelsky přizpůsobena v závislosti na specifických potřebách, kdy bude modelu přiděleno speciální číslo. S výjimkou specifických případů, které mají specifickou dokumentaci, lze tento návod aplikovat na speciální jednotky označené MXXXX (například 9698416M2006). TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 273/400...
Page 274: Údržba
Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TPS-compact nevyžaduje žádnou údržbu (s výjimkou výměny Tip-seal, pro verze s vývěvami scroll nebo s doplňováním/výměnou oleje, pro verze s vývěvami Rotary/Vane). Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až...
Page 275: Likvidace
Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Page 276 Návod k Použití Likvidace 276/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 277: Návod Na Obsluhu
TPS-mobile User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Použité symboly Uchovávanie Príprava na inštaláciu 283 Inštalácia Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TPS-mobile 288 Vypnutie TPS-mobile Núdzové zastavenie Špeciálne jednotky Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu 277/400...
Page 278: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...
Page 279: Všeobecné Informácie
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
Page 280 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: NEBEZPEČÍE ! Nebezpečíe majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia.
Page 281: Použité Symboly
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Použité symboly Nižšie uvedené symboly sú použité koherentným spôsobom vo všetkých ilustráciách: Nebezpečenstvo! Ochranný (zemniaci) „Vychádzajte z informácií vodič ohľadom inštalácie / činnosti“ Horúci povrch! ZAP. - Zapnutie „Nebezpečenstvo popálenia (Napájanie) pri kontakte s časťami s vysokou teplotou“...
Page 282: Uchovávanie
Návod na Obsluhu Uchovávanie Uchovávanie Aby sa zaistila maximálna funkčnosť a spoľahlivosť čerpacích sústav Agilent, je potrebné dodržiavať nasledujúce pokyny: neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas prevozu, ▪ prenášania a uchovávania vývev: teplota: vychádzajte z návodov k jednotlivým komponentom ▪ relatívna vlhkosť: vychádzajte z návodov k jednotlivým ▪...
Page 283: Príprava Na Inštaláciu
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Zariadenie TPS-mobile je dodané v špeciálnom ochrannom obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
Page 284 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Bežné vystavenie okolitým podmienkam nemôže TPS-mobile poškodiť. Napriek POZNÁMKA tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie prachom. Modely uvedené v tomto návode vychádzajú z platformy čerpacích systémov Agilent, nazvanej TPS-mobile, pričom rozdiely zavedené rôznymi číslami modelov sa vzťahujú...
Page 285: Inštalácia
Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia NEBEZPEČÍE ! Pri dvíhaní ťažkých častí buďte mimoriadne opatrní. Odporúča sa, aby dvíhanie vykonávali 2 osoby. Ak dvíhanie nebudú vykonávať dve osoby, môže dôjsť k úrazu. Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, než pripojíte turbovývevu k POZOR! systému.
Page 286 Návod na Obsluhu Inštalácia Turbočerpadlo so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripevnené prostredníctvom príslušných drobných mechanických súčiastok od firmy Agilent. Ohľadom doťahovacieho momentu skrutiek vychádzajte návodu k použitému turbočerpadlu. Ohľadom podrobnejších informácií si prečítajte „Technical Information“. Keď je systém TPS-mobile vybavený turbomolekulárnymi čerpadlami menšími alebo rovnako veľkými ako TwissTorr 304 FS, čerpadlo môže byť...
Page 287: Použitie
Návod na Obsluhu Použitie Použitie Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Pred použitím systému skontrolujte, či boli správne zrealizované všetky elektrické a pneumatické zapojenia. Pri prípadnom zahrievaní vákuovej komory nesmie teplota vstupnej príruby prekročiť 120 °C v prípade príruby ConFlat a 80 °C v prípade príruby ISO. NEBEZPEČÍE! Nikdy nepoužívajte čerpací...
Page 288: Zapnutie A Použitie Zariadenia Tps-Mobile
Návod na Obsluhu Použitie NEBEZPEČÍE! Ak čerpací systém používate na vyčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Zapnutie a použitie zariadenia TPS-mobile Po odbalení TPS-mobile sa vizuálnou kontrolou uistite, že sa ▪...
Page 289 Návod na Obsluhu Použitie Ak je napätie v elektrickej sieti vhodné pre napájanie systému, je ▪ možné pripojiť napájací kábel elektrického napájania do zásuvky elektrického rozvodu typu IEC320, ktorá sa nachádza na zadnom paneli systému (viď obrázok). Zásuvka má pridržiavaciu pružinu, aby sa zabránilo náhodnému odpojeniu napájacieho kábla;...
Page 290 Návod na Obsluhu Použitie Hlavný vypínač (s tepelnou ochranou) Po zapnutí systému prostredníctvom hlavného vypínača bude ▪ riadiace zariadenie vývevy turbo napájané, ale výveva turbo ako aj výveva foreline zostanú vypnuté. Aktivácia systému umožňuje riadiacemu zariadeniu zahájiť čítanie údaja o tlaku prostredníctvom voliteľného príslušenstva Full Range Gauge FRG-700, ak je toto pripojené...
Page 291 Návod na Obsluhu Použitie Port měřícího přístroje Sériový port ▪ Je možné spustiť syst m prostredn ctvom voliča nazvan ho Pumping . Po prepnutí voliča Pumping do polohy 1 sa spust v veva turbo a výveva foreline. Volič „Pumping“ č TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 291/400...
Page 292: Vypnutie Tps-Mobile
Návod na Obsluhu Použitie I modely 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, POZNÁMKA 9698433 nie sú vybavené voličom „Pumping“; tá istá funkcia je ovládaná tlačidlom „Start/Stop“, ktoré sa nachádza na riadiacom zariadení. Vypnutie TPS-mobile Systém je možné vypnúť voličom „Pumping“ (jeho prepnutím do ▪...
Page 293: Špeciálne Jednotky
Návod na Obsluhu Špeciálne jednotky Špeciálne jednotky Platforma TPS-mobile môže byť užívateľsky prispôsobená v závislosti na špecifických potrebách, kedy bude modelu pridelené špeciálne číslo. S výnimkou špecifických prípadov, ktoré majú špecifickú dokumentáciu, tento návod je aplikovateľný na špeciálne jednotky označené MXXXX (napríklad 9698416M2006). TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 293/400...
Page 294: Údržba
Návod na Obsluhu Údržba Údržba Vývěva TPS-compact nevyžaduje žádnou údržbu (s výjimkou výměny Tip-seal, pre verzie s vývevami scroll alebo s doplňovaním/výmenou oleja, pre verzie s vývevami Rotary/Vane). Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍE! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný...
Page 295: Likvidácia
Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...
Page 296 Návod na Obsluhu Likvidácia 296/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 297: Priročnik Za Navodila
TPS-mobile User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 298 Splošne informacije Uporabljeni simboli 301 Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vklop in uporaba TPS-mobile-a Izklop TPS-mobile-a Zaustavitev v sili Posebne enote Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 297/400...
Page 298: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Page 299: Splošne Informacije
Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Page 300 Priročnik za Navodila Splošne informacije Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: SVARILO! Svarilo so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila.
Page 301: Uporabljeni Simboli
Priročnik za Navodila Splošne informacije Uporabljeni simboli Naslednji simboli so dosledno uporabljeni na vseh slikah: Nevarnost: »Upoštevajte Ozemljitveni vodnik navodila za namestitev / delovanje« Vroča površina: »Nevarnost ON – vklop (napajanja) opeklin ob dotiku vročih delov« Nevarnost električnega OFF – izklop udara (napajanja) SVARILO!
Page 302: Shranjevanje
Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi jamčili največji možni nivo uporabnosti in zanesljivosti črpalnih sistemov Agilent, je potrebno upoštevati sledeča pravila: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete ▪ preseči naslednjih specifikacij: temperatura: oglejte si priročnike posameznih komponent ▪...
Page 303: Priprava Za Montažo
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo TPS-mobile je dobavljen v posebni zaščitni embalaži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte. Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399.
Page 304 Priročnik za Navodila Priprava za montažo Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati TPS-mobile-a Kljub OPOMBA temu je priporočljivo, da je enota zaprta dokler je ne namestite v sistem. S tem boste preprečili onesnaženje s prahom. Modeli, navedeni v tem uporabniškem priročniku, temeljijo na platformi črpalnih sistemov Agilent, imenovani TSP-mobile.
Page 305: Montaža
Priročnik za Navodila Montaža Montaža SVARILO! Pri dvigovanju težkih delov bodite zelo previdni. Če je mogoče, naj za dvigovanje poskrbita dve osebi. Če pri dvigovanju ne sodelujeta dve osebi, obstaja nevarnost telesnih poškodb. Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na POZOR! sistem.
Page 306 Priročnik za Navodila Montaža Če so pri TPS-mobile predvidene turbomolekularne črpalke, ki so manj zmogljive od TwisTorr 304 FS ali enake, je mogoče črpalko vključiti tudi, če je nameščena na TPS-mobile. Če so na TPS-mobile predvidene črpalke, ki so zmogljivejše od 304 FS, je mogoče TPS- mobile uporabljati le za prestavljanje črpalke (turbočrpalka izključena), ki jo je treba pred zagonom TPS-mobile vgraditi s pripadajočo vhodno prirobnico na sistem stranke.
Page 307: Uporaba
Priročnik za Navodila Uporaba Uporaba Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo. Pred uporabo sistema preverite, ali so vse električne in pnevmatske povezave pravilno izvedene. Med morebitnim segrevanjem vakuumske komore, temperatura na vhodni prirobnici ne sme presegati 120 °C pri prirobnici ConFlate oziroma 80 °C pri prirobnici ISO.
Page 308: Vklop In Uporaba Tps-Mobile-A
Priročnik za Navodila Uporaba Za prezračevanje črpalke uporabljajte čist plin, brez prahu, delčkov ali vlažnosti POZOR! (kot dušik). Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 2 bara (nad pritiskom atmosfere). SVARILO! Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina.
Page 309 Priročnik za Navodila Uporaba Številka modela (PN) Serijska številka (SN) Električni podatki Če je električna napetost združljiva z napetostjo sistema, lahko ▪ električni napajalni kabel vtaknete v vtičnico tipa IEC320 na zadnji plošči sistema (glej sliko). Vtičnica ima zaporno vzmet, ki preprečuje nenamerni odklop napajalnega kabla;...
Page 310 Priročnik za Navodila Uporaba Zaporna vzmet Napajalni kabel Model 9698433 ima vgrajen napajalni kabel, zato ta postopek ni potreben. OPOMBA ▪ S pomočjo napajalnega kabla vzpostavite pravilno napetost sistema. ▪ Sistem je opremljen z glavnim stikalom (termično stikalo), ki komponente sistema ščiti pred preobremenitvami in kratkimi stiki.
Page 311 Priročnik za Navodila Uporaba Glavno stikalo (s termično zaščito) Ob vklopu sistema s pomočjo glavnega stikala vzpostavite ▪ napetost kontrolerja turbomolekularne črpalke, toda tako turbomolekularna črpalka kot črpalka foreline ostaneta ugasnjeni. Z vklopom sistema lahko prične kontroler brati podatke o tlaku s pomočjo merilnika Full Range Gauge FRG-700, ki je na voljo kot dodatna oprema, če je slednji povezan z merilnim priključkom, ki se nahaja na zadnji strani sistema.
Page 312 Priročnik za Navodila Uporaba Priključek za merilnik Serijski priključek Sistem je mogoče zagnati s pomočjo izbirnega stikala, ▪ poimenovanega »Pumping«. Po obratu stikala »Pumping« v položaj »1«, se turbo črpalka in črpalka foreline zaženeta. Izbirno stikalo za črpanje č 312/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 313: Izklop Tps-Mobile-A
Priročnik za Navodila Uporaba Modeli 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, OPOMBA 9698433 niso opremljeni z izbirnim stikalom, poimenovanim “Pumping”; enako funkcijo opravlja gumb “Start/Stop”, nameščen na kontrolerju. Izklop TPS-mobile-a ▪ Sistem je mogoče izklopiti s pomočjo izbirnega stikala »Pumping« (s pomikom slednjega v položaj »0«);...
Page 314: Posebne Enote
Priročnik za Navodila Posebne enote Posebne enote Platformo TPS-mobile lahko prikrojite lastnim potrebam in željam z izdelavo posebnih številk modelov. Z izjemo posebnih primerov s priloženo specifično dokumentacijo, je ta priročnik uporaben pri vseh posebnih enotah z oznako MXXXX (na primer 9698416M2006). 314/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 315: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Zariadenie TPS-compact nevyžaduje žiadnu údržbu (svýnimkou výmeny Tip-seal, pri izvedbah s spiralnimi črpalkami ali dolivanja/zamenjave olja pri izvedbah z rotacijskimi črpalkami Vane). Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Page 316: Odlaganje Opadkov
Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...
Page 317: Instructions For Use
TPS-mobile User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 318 General Information Symbols used 321 Storage Preparation for Installation 323 Installation Switching on and Use of TPS-mobile 328 TPS-mobile Switching off: Emergency Stop Modified Standard Maintenance Disposal Original Instructions 317/400...
Page 318: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Page 319: General Information
Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
Page 320 Instructions for Use General Information This manual uses the following standard protocol: WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment.
Page 321: Symbols Used
Instructions for Use General Information WARNING! The System must be installed in a way that allows an easy interruption of the line voltage. Symbols used The following symbols are used consistently throughout in all illustration: Warning “see Protective conductor installation/operating” terminal Hot surface “Danger of On (Power)
Page 322: Storage
Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent pumping systems, the following guidelines must be followed: when shipping, moving and storing pumps, the following ▪ environmental specifications should not be exceeded: temperature: refer to the manuals of the single TPS ▪...
Page 323: Preparation For Installation
Instructions for Use Preparation for Installation Preparation for Installation The TPS-mobile is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Page 324 Instructions for Use Preparation for Installation Normal exposure to the environment cannot damage the TPS-mobile. NOTE Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system, thus preventing any form of pollution by dust. The models reported on this User Manual are based on the Agilent pumping system platform named TPS-mobile, differences introduced by different PNs are related to TMP and Forepump integrated in the specific system and to the main voltage applicable to the system.
Page 325: Installation
Instructions for Use Installation Installation WARNING! Use extreme caution when handling heavy parts. A two person lift is recommended. Failure to perform a two person lift may result in personal injury. Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump CAUTION! to the system.
Page 326 Instructions for Use Installation If TPS-mobile is equipped with turbo-molecular pumps of smaller or the same size as TwisTorr 304 FS, the pump can be turned on even if installed on TPS-mobile. If TPS-mobile is equipped with pumps of sizes bigger than 304 FS, it can be used only to enable the pump (turbo pump off) that must be installed by means of its inlet flange in the customer’s system prior to activate TPS-mobile.
Page 327: Use
Instructions for Use This paragraph details the fundamental operating procedures. Make all electrical an pneumatic connections are properly connected before the use of the system. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 120 °C with ConFlat flanging and 80 °C with ISO flanging.
Page 328: Switching On And Use Of Tps-Mobile
Instructions for Use Use inert gas free from dust, particles or humidity (like Nitrogen) for venting the CAUTION! pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar (above atmospheric pressure). WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal.
Page 329 Instructions for Use Part Number (PN) Serial Number (SN) Electrical Data If the voltage provided by your electrical supplier is compatible ▪ with the system voltage, you can connect the provided power cord to the IEC320 electrical socket on the rear side of the system (see picture).
Page 330 Instructions for Use Retention Spring Power cord plug PN 9698433 is already supplied with an integrated power cord so you don’t need NOTE to perform this step. Provide the correct voltage to the system through the power cord. ▪ The system is equipped with a main switch (thermal breaker) ▪...
Page 331 Instructions for Use Main switch (with thermal protection) The system activation by means of the Main Switch provides ▪ voltage to TMP controller but both TMP and Foreline pump continue to be switched off. The system activation allows the TMP controller to start reading the pressure data through the optional FRG-700 Full Range Gauge if it is connected to the gauge connection port on the rear side of the system.
Page 332 Instructions for Use Gauge port Serial port It is possible to start pumping by means of the selector named ▪ “Pumping”. As soon as the Pumping selector is moved to the position “1” the TMP and Foreline pump will be switched on. “Pumping”...
Page 333: Tps-Mobile Switching Off
Instructions for Use PNs 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, 9698433, NOTE are not equipped with the selector named “Pumping”, the same function is provided by the pushbutton Start/Stop on the TMP controller. TPS-mobile Switching off: ▪ You can switch the pumps off by using the “pumping” selector (moving it to position “0”) –...
Page 334: Modified Standard
Instructions for Use Modified Standard Modified Standard TPS-mobile platform is suited to be tailored in according to many different needs so special TPS-mobile PNs can be released. Except some specific cases provided with a specific documentation this User Manual is applicable to all special unit marked as MXXXX (i.g. 9698416M2006).
Page 335: Maintenance
Instructions for Use Maintenance Maintenance The TPS-mobile does not require any maintenance (except Tip-seal replacement) for versions equipped with scroll pumps and oil filling- up/change for versions with Rotary Vane Pumps. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel.
Page 336: Disposal
Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels. The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Page 337: Technical Information
Technical Information Technical Information Description of the TPS mobile 339 1 – Turbopump Description 2 – Front Panel 3 – Electrical Devices Box 4 – 5 m TMP and Fan Cables 344 5 – Wheels 6 – Foreline Pumps Description 345 Technical Specification TPS-Mobile Outline Vacuum Inlet Flange...
Page 338 Technical Information Letter Protocol Description Window Protocol Description Communication Format 376 Communication Protocol Examples 380 Window Meanings Pumping System Component Info 387 Accessories and Spare Parts 388 Appendix 1 TPS-mobile-switching-off: Appendix 2 338/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 339: Description Of The Tps Mobile
Technical Information Description of the TPS mobile Description of the TPS mobile The TPS-bench pumping system consists of a turbo molecular pump with related controller and a forepump and is available in models which differ in the TPM size, high vacuum flange, forepump and voltage. The models are: TURBO PUMP PRIMARY PUMP...
Page 340 Technical Information Description of the TPS mobile Voltage / Frequency Power PRIMARY PUMP 100-120Vac 60Hz 1.5kW 9698421 74 FS DS102 (RVP) 115V 60Hz 0.9KW 9698422 74 FS IDP-3 (Scroll) 1.8kW 9698423 74 FS IDP-7 (Scroll) 100-115Vac 50/60Hz 9698424 304 FS DS102 (RVP) 100Vac 50Hz or 100-120Vac 60H 1.5kW...
Page 341 Technical Information Description of the TPS mobile Handle 2-Front Panel: -Main Switch -TMP Controller 1-TMP -Pumping Selector -Gauge Control Unit (optional) Height TMP fan Setting-Up System 3-Electrical Devices Box 4-5m long TMP and Fan Cables 6-Foreline Vibration Pump Dampers 5-Wheels (with brake) TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 341/400...
Page 342: Turbopump Description
Technical Information Description of the TPS mobile 1 – Turbopump Description The turbopump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with many bladed stages and Twistorr drag stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
Page 343: Front Panel
Technical Information Description of the TPS mobile 2 – Front Panel The TPS-mobile front Panel is the system user interface where all controller elements are located. In particular, it contains: ▪ Main Switch It is a protection thermal switch able to provide electrical power to the system protecting all the devices integrated in the system against overcurrents or shortcircuits.
Page 344: Electrical Devices Box
Technical Information Description of the TPS mobile ▪ Gauge Control Unit (optional) If needed is possible to order a special version of TPS-mobile equipped with an optional gauge controller named Agilent XGS-600. By means of XGS-600 is possible to manage a couple of gauges to monitor pressure on system foreline by means of a convector gauge (1x10 Torr to atm) and high vacuum pressure by means of a IMG-...
Page 345: Foreline Pumps Description
Technical Information Description of the TPS mobile 6 – Foreline Pumps Description TPS-mobile can be equipped both with a dry pump (scroll type) or with an oil sealed Rotary Vane Pump. TPS-mobile versions equipped with a scroll pump are free of contaminating agents and therefore are suitable for applications requiring “clean”...
Page 346 Technical Information Description of the TPS mobile TPS-mobile versions equipped with RVPs are: 9698411, 9698403, 9698400, 9698417, 9698405, 9698419, 9698421, 9698424, 9698425, 9698426, 9698430 and 9698431. A metal rotor is located (eccentric) into a round pumping chamber. Two sliding vanes are placed in the rotor. The vanes are pushed toward the stator wall either by springs.
Page 347: Technical Specification
Technical Information Technical Specification Technical Specification Characteristic 9698412 9698416 9698411 Turbo Pump 74 FS 74 FS 74 FS TMP Flange ISO63 ISO63 ISO63 Forepump IDP-7 IDP-3 DS102 Voltage 220 V / 50 Hz Base Pressure * IDP-7: 5x10 mbar (3.75x10 Torr) / DS102: 5x10 mbar (3.75x10 Torr)
Page 348 Technical Information Technical Specification Characteristic 9698423 9698422 9698421 Turbo Pump 74 FS 74 FS 74 FS TMP Flange ISO63 ISO63 ISO63 Forepump IDP-7 IDP-3 DS102 Voltage 110 V / 60 Hz Base Pressure * IDP-7: 5x10 mbar (3.75x10 Torr) / DS102: 5x10 mbar (3.75x10 Torr) Pumping Speed (L/s)
Page 349 Technical Information Technical Specification When the TPS-mobile has been stored at a temperature less than 5 °C, wait NOTE until the TPS-mobile has reached the above mentioned temperature. TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 349/400...
Page 350 Technical Information Technical Specification Characteristic 9698406 9698404 9698419 9698405 Turbo Pump TV551 TV551 TV551 TV551 TMP Flange CFF8 CFF8 CFF8 CFF8 Forepump TS600 TS300 DS402 DS302 Voltage 220 V / 50 Hz Base Pressure * 1x10 mbar (7.5x10 Torr) Pumping Speed (L/s) He Pumping Speed (L/s) Pumping Speed (L/s) TMP Rotational Speed...
Page 351 Technical Information Technical Specification Characteristic 9698433 9698432 9698431 9698430 Turbo Pump TV551 TV551 TV551 TV551 TMP Flange CFF8 CFF8 CFF8 CFF8 Forepump TS600 TS300 DS402 DS302 Voltage 110 V / 60 Hz Base Pressure * 1x10 mbar (7.5x10 Torr) Pumping Speed (L/s) He Pumping Speed (L/s) Pumping Speed (L/s) TMP Rotational Speed...
Page 352 Technical Information Technical Specification When the TPS-mobile has been stored at a temperature less than 5 °C, wait NOTE until the TPS-mobile has reached the above mentioned temperature. 352/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 353 Technical Information Technical Specification Characteristic 9698401 9698402 9698418 9698417 Turbo Pump 304 FS 304 FS 304 FS 304 FS TMP Flange ISO100 ISO100 ISO100 ISO100 Forepump TS300VPI IDP-7 IDP-3 DS402 Voltage 220 V / 50 Hz Base Pressure * 1x10 mbar (7.5x10 Torr) Pumping Speed (L/s)
Page 354 Technical Information Technical Specification Characteristic 9698400 9698403 9698429 9698428 Turbo Pump 304 FS 304 FS 304 FS 304 FS TMP Flange ISO100 ISO100 ISO100 ISO100 Forepump DS302 DS102 TS300VPI IDP-7 Voltage 220V / 50Hz 220V / 50Hz 110V / 60Hz 110V / 60Hz Base Pressure * 1x10...
Page 355 Technical Information Technical Specification When the TPS-mobile has been stored at a temperature less than 5 °C, wait NOTE until the TPS-mobile has reached the above mentioned temperature. TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 355/400...
Page 356 Technical Information Technical Specification Characteristic 9698427 9698426 9698425 9698424 Turbo Pump 304 FS 304 FS 304 FS 304 FS TMP Flange ISO100 ISO100 ISO100 ISO100 Forepump IDP-3 DS402 DS302 DS102 Voltage 110 V / 60 Hz Base Pressure * 1x10 mbar (7.5x10 Torr) Pumping Speed (L/s)
Page 357 Technical Information Technical Specification When the TPS-mobile has been stored at a temperature less than 5 °C, wait NOTE until the TPS-mobile has reached the above mentioned temperature. TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 357/400...
Page 358: Tps-Mobile Outline
Technical Information TPS-Mobile Outline TPS-Mobile Outline The following figure shows the TPS-mobile outline. 358/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 359: Turbo Pumping System Connection
Technical Information Turbo Pumping System Connection Turbo Pumping System Connection Vacuum Inlet Flange Inlet Screen Installation The inlet screens mod. 9699300, 9699309, 9699302 and 9699303 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10 %.
Page 360: High Vacuum Flange Connection
Technical Information Turbo Pumping System Connection The inlet screen is fitted in the upper part of the pump. TPS-mobile is always provided with inlet screen fitted on. Agilent suggest not to remove the TMP inlet screen, to avoid accidents involving the pumping system tool and/or pumping system users.
Page 361 Technical Information Turbo Pumping System Connection For ConFlat flange connections we recommend using Agilent hardware. To facilitate assembly and dismantling, apply Fel-pro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange. Attach the units and tighten each one in turn.
Page 362: High Vacuum Flange Connection Configurations
Technical Information Turbo Pumping System Connection High Vacuum Flange Connection Configurations 362/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 363: Electrical Connections
Technical Information Electrical Connections Electrical Connections Input Power Connector The following figure shows the input power connector. Retention Spring Power cord plug PN 9698433 is already supplied with an integrated power cord so you don’t need NOTE to perform this step. TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 363/400...
Page 364: Gauge - Serial Line Connection
Technical Information Electrical Connections Gauge – Serial Line Connection Gauge port Serial port 364/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 365: Gauge Connector
Technical Information Electrical Connections Gauge Connector TPS-mobile is equipped with new generation gauge reading card able to drive/read a Agilent Full Range Gauge FRG-700. The FRG-700 Full Range Gauge is a combined technologies gauge (Inverted Magnetron plus Pirani Gauge). FRG-700 measure from 5x10 9 mbar to atmos-phere (3.8x10 Torr to atmosphere) and its tem-perature range goes from 5 °C to 55 °C...
Page 366: J2 - Serial Connector
Technical Information Electrical Connections J2 – Serial Connector This connector provides the connection for RS – 232 and serial line. J2 Pin-out: 366/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 367: Connector Examples
Technical Information Electrical Connections PIN N. SIGNAL NAME +5 V (OUT) (Reserved) TX (RS232 RX (RS232 A + (RS485) B – (RS485) RESERVED Connector Examples Rack Controller TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 367/400...
Page 368 Technical Information Electrical Connections The communication port mating connector is supplied with the RS 232 PCB (AMP/Cannon or equivalent 15-pin "D" type male connector). For example, the Transmit data signal from controller (pin 2) must be connected to the host computer's receive data line (pin 2) and vice versa.
Page 369: Serial Communication Description
Technical Information Electrical Connections Serial Communication Description This unit can comunicate by two different protocol: protocol (old system) “letter” ▪ “Window” protocol (new system) ▪ These two protocols can be used as well with 232 or 485 media. Please use “Window” protocol for new development. NOTE TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 369/400...
Page 370: Letter Protocol Description
Technical Information Letter Protocol Description Letter Protocol Description The default protocol is “Window” Communication format: 8 data bit ▪ no parity ▪ ▪ 1 stop bit The baud rate is programmable via front panel from 600 to 9600 ▪ baud. The controller is factory-set for 9600 baud operation. Communication protocol: Host = Master Controller = Slave...
Page 371 Technical Information Letter Protocol Description "E" = Request for operational parameters ▪ "F" = Pump times zeroing ▪ "G" = Parameters reading ▪ ▪ "H" = Parameters writing "I" = Request for operating status ▪ "J" = Request for numerical reading ▪...
Page 372 Technical Information Letter Protocol Description e.g., the START command "A" in ASCII code = 41; inverted it will be: FF + 1 - 41 = BF. CHARACTER ASCII CONVERTED ASCII FOR CRC CALCULATION "A" "B" "C" "D" "E" "F" "G" "H"...
Page 373 Technical Information Letter Protocol Description Answer = after a request from the host, the Turbo-V 301 controller will answer in one of the following ways: ▪ NACK ▪ ▪ Message When the Request is "A, "B”, "C", "D", "F", the Turbo-V 301 controller will Answer the ACK or NACK.
Page 374 Technical Information Letter Protocol Description *The values for current and voltage are given as numbers, scaled from 0 to 255, where 0 corre-sponds to 0 V and 255 to the full scale voltage (130 V) or current (2.5 A). When the Request is "G", the Answer will contain a string of 11 characters with the following parameters: BYTES MEANING...
Page 375 Technical Information Letter Protocol Description When the Request is "I" (Status readings), the Answer will contain a string of 2 characters with the following parameters: BYTES MEANING - - X X X X X X = STOP = WAITING INTERLOCK = STARTING = NORMAL OPERATION 4, 5 = HIGH LOAD...
Page 376: Window Protocol Description Communication Format
Technical Information Letter Protocol Description When the Request is "K" (Counters readings), the Answer will contain a string of 11 characters with the following parameters: BYTES MEANING Cycle time Pump life 9-10 Cycle number On request a sample program in QBasic language is available by Agilent.
Page 377: Communication Protocol
Technical Information Letter Protocol Description Communication Protocol The communication protocol is a MASTER/SLAVE type where: ▪ Host = MASTER Controller = SLAVE ▪ The communication is performed in the following way: the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC to the controller (SLAVE);...
Page 378 Technical Information Letter Protocol Description The field length is variable according to the data type as per the following table: Data Type Field Length Valid Characters Logic (L) ‘0’ = OFF ‘1’ = ON Numeric (N) ‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right justified with ‘0’ Alphanumeric (A) from blank to ‘_’...
Page 379 Technical Information Letter Protocol Description The controller can answers with the following response types: Response Type Response Response Description Length Value Logic 1 byte after a read instruction of a logic window Numeric 6 bytes after a read instruction of a numeric window Alphanumeric 10 bytes...
Page 380: Examples
Technical Information Letter Protocol Description Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 380/400 TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
Page 381 Technical Information Letter Protocol Description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F) 381/400...
Page 382 Technical Information Letter Protocol Description Command: READ PUMP STATUS Source: PC Destination: Controller (with address = 3) ADDR WINDOW Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: REAL SERIAL TYPE Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR WINDOW...
Page 383: Window Meanings
Technical Information Letter Protocol Description Window Meanings Read/ Data Description Admitted Values Write Type Start/Stop (in remote/ Front mode the Start = 1 window is a read only) Stop = 0 Low Speed Activation No = 0 Yes = 1 (default = 0) Remote (default) or Serial configuration Remote = 1 Serial = 0 (default = 1)
Page 384 Technical Information Letter Protocol Description Analog output type: output voltage signal 0 = frequency proportional to frequency or power or 1 = power pump temperature or pressure (default = 1) 2 = Pump temperature 3 = Pressure Low Speed frequency (Hz) 250 to “Maximum rotational frequency”...
Page 385 Technical Information Letter Protocol Description Pressure unit of measure 0 = mBar 1 = Pa 2 = Torr Stop speed reading 0 = disable Activates / deactivates the pump speed 1 = enable reading after Stop command R2 Set Point Type 0 = Freq 1 = Power 2 = Time...
Page 386 Technical Information Letter Protocol Description Controller Air Temperature ( °C). Pressure reading Format = X.X E XX Rotation Frequency (rpm) Cycle time in minutes (zeroed by the reset 0 to 999999 command) Cycle number (zeroed by the reset 0 to 9999 command) Pump life in hours (zeroed by the reset 0 to 999999...
Page 387: Pumping System Component Info
Technical Information Pumping System Component Info Pumping System Component Info Here following the complete list of the TPS-mobile Part numbers. By clicking on the PN referred to your system, specific information about single components integrated in your TPS-mobile will be showed beside the picture.
Page 388: Accessories And Spare Parts
Technical Information Accessories and Spare Parts Accessories and Spare Parts Description Part number Mains cable NEMA Plug, 3m long 9699958 Mains cable European Plug, 3m long 9699957 Serial cable and Navigator Software 9699883 Inlet screen, ISO 100 / CFF 6” 9699302 Inlet screen, ISO 160 / CFF 8”...
Page 389: Appendix 1
Technical Information Appendix 1 Appendix 1 The following three pages gathered in the “Appendix 1” are intended as a Quick Reference Manual of the product, they contain the basic information needed to start operating with TPS-mobile. These pages are intended as a separate document and, if needed, can be printed separately and attached in paper format to the TPS-mobile for a quick reference work in the field.
Page 390 Technical Information Appendix 1 Part Number (PN) Serial Number (SN) Electrical Data If the voltage provided by your electrical supplier is compatible with the system voltage, you can connect the provided power cord to the IEC320 electrical socket on the rear side of the system (see picture).
Page 391 Technical Information Appendix 1 PN 9698433 is already supplied with an integrated power cord so you don’t need NOTE to perform this step. Provide the correct voltage to the system through the power cord. The system is equipped with a main switch (thermal breaker) able to protect the system components against overload or short- circuits.
Page 392 Technical Information Appendix 1 Gauge port Serial port It is possible to start pumping by means of the selector named “Pumping”. As soon as the Pumping selector is moved to the position “1” the TMP and Foreline pump will be switched on. “Pumping”...
Page 393: Tps-Mobile-Switching-Off
Technical Information Appendix 1 PNs 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, 9698433, NOTE are not equipped with the selector named “Pumping”, the same function is provided by the pushbutton Start/Stop on the TMP controller. TPS-mobile-switching-off: ▪ You can switch the pumps off by using the “pumping” selector (moving it to position “0”) –...
Page 394: Appendix 2
Technical Information Appendix 2 Appendix 2 Symptom Possible cause Action Check the connection of main plug. Problems on main connection Check possible fuses on main System doesn’t start line Move the Main Switch on Main switch placed on position “0” position “1”...
Page 400 Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

Agilent Technologies TPS-mobile 9698400 Notice De Mode D'emploi

Table des Matières

Deutsch

Français

Español

Português

Dutch

Dansk

Svenska

Norsk

Suomi

Magyar

Polski

Čeština

Slovenčina

Slovenščina

English

Instructions for Use

Technical Information

Appendix 1

Appendix 2

Les langues disponibles

Liens rapides

Chapitres

Manuels Connexes pour Agilent Technologies TPS-mobile 9698400

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies TPS-mobile 9698400