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TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI
und das Anwendungsverfahren bei allen TPS-
mobile gleich sind.
Die aufgeführten Informationen sind im ganzen
Angebot anwendbar (alle Modelle), unabhängig
von
der
spezifischen
Foreline-Pumpe oder mit Stromspeisung.
INSTALLATION
ACHTUNG!
Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel
erst bei Anschluß der Turbopumpe an das System
abnehmen.
Das Pumpensystem darf nicht in Umgebungen, die
ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee),
Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch
nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandge-
fährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt
werden.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedin-
gungen eingehalten werden:
-
Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphäri-
schen Druck
-
Temperatur: von +5°C bis +35°C
-
Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kon-
densierend).
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Fel-
dern ist das Pumpensystemdie Pumpe entspre-
chend abzuschirmen.
. Das System TPS-mobile in eine stabile Position
stellen und den Eingangsflansch der Turbopumpe
mit einem Gegenflansch verbinden, der einem
Drehmoment von 50 Nm um die Achse widersteht
(direkt oder über ein flexibles Anschlussstück).
Die Turbopumpe mit Eingangsflansch ISO muss
mit Klemmen an den Gegenflansch geschlossen
werden. Die folgende Tabelle beschreibt für jede
Klemmenart die Anzahl der notwendigen Klemmen
und mit welchem Anzugsmoment sie angezogen
werden müssen.
FLANSCH
KLEMMSCHELLE ANZ.
Doppelschelle mit
ISO 63
Gewinde M10
Doppelschelle mit
ISO 100 K
Gewinde M10
Doppelschelle mit
ISO 160 K
Gewinde M10
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind
mit dem speziellen Varian-Befestigungsmaterial an
die Vakuum kammer anzuschließen. Für ausführli-
che Informationen siehe im Anhang "Technical In-
formation".
HINWEIS
Modell TPS-mobile kann nicht mittels seines So-
ckels befestigt werden.
Für die Installation der Optionsteile siehe im An-
hang "Technical Information".
Turbomolekülpumpe,
ANZUGSMOMENT
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
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GEBRAUCHSANLEITUNG
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Be-
triebsvorgänge erläutert.
Bevor das System benützt wird, prüfen, ob alle
Strom- und Pneumatikanschlüsse korrekt ausge-
führt wurden. Während der eventuellen Aufheizung
der Vakuumkammer darf die Temperatur am Ein-
gangsflansch 120°C nicht überschreiten.
Das Pumpensystem darf nicht in Betrieb genom-
men werden, wenn der Eingangsflansch nicht an
die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit
dem Verschlußflansch verschlossen ist.
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe
noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt wer-
den. Es besteht Verbrennungsgefahr.
Die Turbopumpe darf während des Betriebes kei-
nen Stößen oder ruckartigen Bewegungen ausge-
setzt werden. Die Lager könnten beschädigt wer-
den und Personen oder Gegenständen Schaden
zugefügt werden.
ACHTUNG!
Für die Belüftung der Pumpe staub-, partikel- und
feuchtigkeitsfreies Inertgas (z.B. Stickstoff) ver-
wenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsan-
schluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen
Druck) betragen.
Wenn das Pumpensystem zur Förderung von gifti-
gen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Ga-
sen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas
vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu
befolgen.
Das Pumpensystem darf niemals bei Vorhanden-
sein von explosionsfähigen Gasen verwendet wer-
den.
Einschaltung und Gebrauch von Modell TPS-
mobile
− Nachdem das TPS-mobile ausgepackt wurde,
mit dem Auge prüfen, ob das System Beschä-
digungen aufgrund des Transports aufweist
(die kritischen Teile sind: Pumpenflansch, Be-
festigungsbügel der Foreline-Pumpe, vorderes
Abdeckung und die Räder des Systems).
− Die Eingangsspannung auf der Etikette Varian
am Gehäuse der Elektronik des Systems prü-
fen.
GEFAHR!
GEFAHR!
GEFAHR!
GEFAHR!
87-901-005-01(A)
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