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Miniature and 2 l/s
VacIon Pumps
Miniature Models: 913-0037, 913-0038,
913-0040, 913-0041, 913-0049, 913-0050
Magnet: 913-0042
2 l/s Models: 913-0032, 913-0034, 913-0035,
913-0045, 913-0046, 913-0047, 913-0052,
913-5000. Magnet: 913-0011
Manuale di Istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de Mode D'Emploi
User Manual
87-400-044-01 (E)
05/2011
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Chapitres
Manuels Connexes pour Agilent Technologies Miniature 913-0037
Sommaire des Matières pour Agilent Technologies Miniature 913-0037
- Page 1 Miniature and 2 l/s VacIon Pumps Miniature Models: 913-0037, 913-0038, 913-0040, 913-0041, 913-0049, 913-0050 Magnet: 913-0042 2 l/s Models: 913-0032, 913-0034, 913-0035, 913-0045, 913-0046, 913-0047, 913-0052, 913-5000. Magnet: 913-0011 Manuale di Istruzioni Bedienungshandbuch Notice de Mode D’Emploi User Manual 87-400-044-01 (E) 05/2011...
- Page 2 Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2011 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
- Page 3 Miniature pumps Miniature pumps Miniature pumps Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual / 87-400-044-01 (E) 3/52...
- Page 4 2 l/s VacIon pumps 2 l/s VacIon pumps 4/52 Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (E)
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Page 5: Table Des Matières
Contents Contents Istruzioni per l’uso 7 Informazioni di Sicurezza 8 Informazioni Generali 9 Installazione 11 Note di Funzionamento 13 Condizioni di Funzionamento Anomale 15 Smaltimento 16 Gebrauchsanleitung 17 Sicherheitshinweise 18 Allgemeine Hinweise 19 Installation 21 Funktionsweise 23 Betriebsstörungen 25 Entsorgung 26 Mode d’emploi 27 ... - Page 6 Contents Conditions de Fonctionnement Anormales 35 Mise au Rebut 36 Instructions for Use 37 Safety Information 38 General Information 39 Installation 41 Operating Notes 43 Unusual Operating Conditions 45 Disposal 46 6/52 Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (E)
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Page 7: Istruzioni Per L'uso
Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual Istruzioni per l’uso Informazioni di Sicurezza 8 Informazioni Generali Installazione Collegamento dell’unità di controllo Note di Funzionamento Operazione di “bakeout” 14 Condizioni di Funzionamento Anomale 15 Bassa corrente 15 Alta corrente Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali 7/52... -
Page 8: Informazioni Di Sicurezza
Istruzioni per l’uso Informazioni di Sicurezza Informazioni di Sicurezza Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità... -
Page 9: Informazioni Generali
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Queste istruzioni contengono informazioni di base per l’installazione e l’uso delle Pompe Miniature e 2 l/s VacIon. La seguente tabella elenca i modelli disponibili: Tab. 1 MODELLO Miniature Con tubo in rame 180 ° 913-0037 Con tubo in rame 90 °... - Page 10 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Il sistema di pompaggio completo comprende La pompa VacIon, il suo magnete, ed un alimentatore. Queste pompe VacIon funzionano sul principio getter nel campo da 10 Torr a meno di 10 Torr. Per portare il sistema dalla pressione a meno di 10 Torr, è...
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Page 11: Installazione
Istruzioni per l’uso Installazione Installazione Durante l’installazione, mantenere la pompa ed il sistema puliti. Evitare di toccare le superfici che saranno sotto vuoto. Quando la pompa è aperta all’aria, far attenzione a non introdurre particelle estranee, olio, fondente per saldatura, o qualsiasi sostanza volatile. Pulire accuratamente il sistema prima del collegamento della pompa. -
Page 12: Collegamento Dell'unità Di Controllo
Istruzioni per l’uso Installazione Collegamento dell’unità di controllo WARNING! Le tensioni generate dall’unità di controllo ed utilizzate dalle pompe VacIon sono potenzialmente letali. Per operare in sicurezza assicurarsi che il collegamento di massa sia realizzato correttamente. Collegare l’unità di controllo alla pompa come segue: Collegare la pompa alla massa dell’alimentatore sistemando la molletta di massa sul passante della pompa prima di collegare il cavo di alta tensione. -
Page 13: Note Di Funzionamento
Istruzioni per l’uso Note di Funzionamento Note di Funzionamento Le pompe VacIon funzionano ionizzando il gas mediante una scarica confinata magneticamente (cella Penning). Una tensione di circa 3 kV viene applicata all’anodo mentre i catodi sono mantenuti a massa. Un campo magnetico assiale di circa 1200 gauss impedisce che gli elettroni giungano direttamente all’anodo. -
Page 14: Operazione Di "Bakeout
Istruzioni per l’uso Note di Funzionamento Operazione di “bakeout” Quando una pompa VacIon non raggiunge la pressione base desiderata e non ci sono perdite, è necessario eseguire un “bakeout” del sistema per eliminare il vapore acqueo. Questa operazione viene eseguita riscaldando la pompa e tutti gli elementi del sistema. Riscaldare il corpo pompa ed il sistema per mezzo di un forno o elementi riscaldanti ad una temperatura tra 150 e 250 °C (250 °C è... -
Page 15: Condizioni Di Funzionamento Anomale
Istruzioni per l’uso Condizioni di Funzionamento Anomale Condizioni di Funzionamento Anomale Bassa corrente Se il valore di corrente letto è inferiore a quello normale per quel dato valore di pressione (vedere il diagramma precedente), la scarica si potrebbe essere fermata. Per verificare se la scarica si è... -
Page 16: Smaltimento
Istruzioni per l’uso Smaltimento Che non ci sia una emissione di corrente da “punte” che si siano formate sui catodi. Applicare alla pompa una tensione tra 10 e 14 kVac con una corrente tra 20 e 30 mA per 5 - 20 secondi per bruciare le “punte”. -
Page 17: Gebrauchsanleitung
Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise 18 Allgemeine Hinweise 19 Installation Anschluss des Controllers Funktionsweise Bakeout Betriebsstörungen Stromstärke zu niedrig 25 Stromstärke zu hoch Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 17/52... -
Page 18: Sicherheitshinweise
Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch soll der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren von Agilent mitgelieferten Zusatzinformationen genau lesen. Bei vollständiger bzw. teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Benutzung unter Missachtung der einschlägigen nationalen Bestimmungen übernimmt Firma Agilent keinerlei Haftung. -
Page 19: Allgemeine Hinweise
Gebrauchsanleitung Allgemeine Hinweise Allgemeine Hinweise Diese Anweisungen enthalten Grundinformationen zur Installation und zum Gebrauch von Vaclon Pumpen Mod. Miniature und 2 l/s. In der Tabelle werden die erhältlichen Modelle aufgeführt: Tab. 1 MODELL Miniatur Mit Rohr in Kupfer 180 ° 913-0037 Mit Rohr in Kupfer 90 °... - Page 20 Gebrauchsanleitung Allgemeine Hinweise Das komplette Pumpsystem umfasst die Vaclon Pumpe, deren Magneten und ein Netzgerät. Diese Vaclon Pumpen arbeiten nach dem Getterprinzip im Bereich von 10 Torr bis unter 10 Torr. Um das System auf unter 10 Torr zu bringen, ist eine Vorvakuumpumpe erforderlich.
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Page 21: Installation
Gebrauchsanleitung Installation Installation Bei der Installation sind die Pumpe und das System sauber zu halten. Die Berührung von Oberflächen, die unter Vakuum sein werden, ist zu vermeiden. Bei geöffnetem Zustand der Pumpe ist darauf zu achten, dass keine Schmutzpartikel, Öl, Lötflussmittel oder flüchtige Substanzen eindringen. -
Page 22: Anschluss Des Controllers
Gebrauchsanleitung Installation Anschluss des Controllers WARNUNG! Die Spannungen, die vom Controller erzeugt und von Vaclon Pumpen genutzt werden, sind potenziell tödlich. Um die Sicherheitsbedingungen beim Arbeiten zu gewährleisten, ist sicherzustellen, dass der Masseanschluss vorschriftsgemäß ausgeführt ist. Den Controller wie folgt an die Pumpe anschließen: Die Pumpe an den Masseanschluss des Netzgerätes anschließen, wobei die Masseanschlussfeder am Hochspannungsverbinder der Pumpe anzubringen ist, bevor das Hochspannungskabel... -
Page 23: Funktionsweise
Gebrauchsanleitung Funktionsweise Funktionsweise Vaclon Pumpen arbeiten durch Gasionisierung infolge einer magnetisch abgegrenzten Entladung (Penning-Zelle). An die Anode wird eine Spannung von ungefähr 3 kV angelegt, während die Katoden an die Masse angeschlossen sind. Ein axiales Magnetfeld von ungefähr 1.200 Gauss verhindert, dass die Elektronen direkt zur Anode gelangen. -
Page 24: Bakeout
Gebrauchsanleitung Funktionsweise Bakeout Wenn eine VacIon Pumpe den gewünschten Basisdruck nicht erreicht und keine Druckverluste vorhanden sind, ist ein Bakeout des Systems aus-zuführen, um den Wasserdampf zu beseitigen. Dieser Vorgang erfolgt unter Erwärmung der Pumpe und aller Systemelemente. Den Pumpenkorpus und das System mit ei-nem Ofen oder Heizelementen auf eine Temperatur zwischen 150 und 250 °C erhitzen (250 °C ist die maximal zulässige Temperatur vieler Hochspannungskabel). -
Page 25: Betriebsstörungen
Gebrauchsanleitung Betriebsstörungen Betriebsstörungen Stromstärke zu niedrig Wenn die angezeigte Stromstärke unter dem Normwert für den betreffenden Druck liegt (siehe vorhergehendes Diagramm), könnte die Entladung gestoppt sein. Um zu überprüfen, ob die Entladung gestoppt ist, ist der Magnet zu entfernen und die Reststromstärke zu beobachten. Wenn die Stromstärke sich weder mit noch ohne Magneten verändert, findet keine Pumpenentladung statt. -
Page 26: Entsorgung
Gebrauchsanleitung Entsorgung An den Hilfsisolatoren der Anode darf kein Kurzschluss durch Titanfolienteile anliegen. Wie unter Schritt a) des vorhergehenden Abschnitts gegen die Pumpe schlagen, was die- ses Problem beheben könnte. Es darf keine Stromabgabe durch “Spitzen” erfolgen, die sich an den Katoden gebildet haben. -
Page 27: Mode D'emploi
Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual Mode d’emploi Informations sur la Sécurité Indications Générales 29 Installation Branchement de l'unité de contrôle Notes de Fonctionnement Opération de “bakeout” 34 Conditions de Fonctionnement Anormales 35 Courant faible 35 Courant élevé 35 Mise au Rebut Traduction de la mode d’emploi originale 27/52... -
Page 28: Informations Sur La Sécurité
Mode d’emploi Informations sur la Sécurité Informations sur la Sécurité Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication fournie par Agilent avant d'utiliser l'appareil. Agilent décline par conséquent toute responsabilité... -
Page 29: Indications Générales
Mode d’emploi Indications Générales Indications Générales Ces instructions contiennent des informations de base pour l'installation et l'utilisation des pompes miniature et 2 l/s Vaclon. Le tableau ci-dessous énumère les modèles disponibles : Tab. 1 MODÈLE Miniature Avec tuyau en cuivre 180° 913-0037 Avec tuyau en cuivre 90°... - Page 30 Mode d’emploi Indications Générales Le système de pompage complet comprend: la pompe Vaclon, son aimant et un alimentateur. Cette pompe Vaclon fonctionne sur le principe getter dans une plage de 10 Torr à moins de 10 Torr. Pour porter le système de la pression à moins de 10 Torr, il est nécessaire de disposer d'une pompe de prévide.
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Page 31: Installation
Mode d’emploi Installation Installation Pendant l'installation, maintenir la pompe et le système propres. Éviter de toucher les parties qui seront sousvide. Lorsque la pompe est ouverte à l'air libre, faire attention de ne pas y introduire de particules étrangères, huile, fondant de soudage ou toute autre substance volatile. -
Page 32: Branchement De L'unité De Contrôle
Mode d’emploi Installation Branchement de l'unité de contrôle AVERTISSEMENT! Les tensions générées par l'unité de contrôle et utilisées par les pompes Vaclon sont potentiellement mortelles. Pour opérer en toute sécurité, vérifier que le branchement à la masse soit correctement réalisé. Relier l'unité... -
Page 33: Notes De Fonctionnement
Mode d’emploi Notes de Fonctionnement Notes de Fonctionnement Les pompes Vaclon fonctionnent en ionisant le gaz à travers une décharge confinée magnétiquement (cellule Penning). Une tension d'environ 3 kV est appliquée à l'anode alors que les cathodes sont maintenues à la masse. Un champ magnétique axial d'environ 1200 gauss empêche que les électrons arrivent directement à... -
Page 34: Opération De "Bakeout
Mode d’emploi Notes de Fonctionnement Opération de “bakeout” Lorsqu'une pompe VacIon n'atteint pas la pression de base désirée et qu'il n'y a aucune fuite, il est nécessaire de procéder à un "bakeout" du système afin d'éliminer la vapeur d'eau. Cette opération est effectuée en chauffant la pompe et tous les éléments du système. -
Page 35: Conditions De Fonctionnement Anormales
Mode d’emploi Conditions de Fonctionnement Anormales Conditions de Fonctionnement Anormales Courant faible Si la valeur de courant lue est inférieure à la valeur normale pour la valeur de pression correspondante (voir diagramme précédent), cela peut être dû à une interruption de la décharge. Pour vérifier s'il y a eu une interruption de la décharge, retirer l'aimant et observer le courant résiduel. -
Page 36: Mise Au Rebut
Mode d’emploi Mise au Rebut Il n'y ait pas de court-circuit sur les isolateurs de support de l'anode causé par des fragments de film de titane. Frapper la pompe comme décrit au point a) du paragraphe précédent. Le problème pourrait se résoudre ainsi. Il n'y ait pas d'émission de courant sur les pointes formées sur les cathodes. - Page 37 Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual Instructions for Use Safety Information General Information 39 Installation Control Unit Connection 42 Operating Notes Bakeout Operation Unusual Operating Conditions 45 Low Current High Current Disposal Original Instructions 37/52...
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Page 38: Instructions For Use
Instructions for Use Safety Information Safety Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards. -
Page 39: General Information
Instructions for Use General Information General Information These instructions contain basic information for installing and operating miniature and 2 l/s VacIon Pumps. The available models are detailed in the following table: Tab. 1 MODEL Miniature With 180° Copper Tube 913-0037 With 90°... - Page 40 Instructions for Use General Information The complete pumping system consists of the VacIon pump, its magnet, and a power supply. These VacIon pump is a pump which operates on the principle of ion gettering in the pressure range from Torr to less than 10 Torr.
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Page 41: Installation
Instructions for Use Installation Installation During installation, keep the pump and system clean. Avoid touching surfaces which will ultimately be under vacuum. When the VacIon pump is open to the atmosphere, take care to avoid introducing foreign particles, oil, solder flux, or any volatile substances. Before attaching the pump, clean the system thoroughly. -
Page 42: Control Unit Connection
Instructions for Use Installation Control Unit Connection WARNING! Voltage delivered by control units used with the VacIon pumps are potentially lethal. To operate the pump safely ensure that grounding connection is correctly made. Connect the control unit to the pump as follows: Ground the pump to the power supply by placing the ground spring over the pump insulator before attaching the high voltage lead. -
Page 43: Operating Notes
Instructions for Use Operating Notes Operating Notes VacIon pumps operate as a multiple-cell Penning discharge. A potential of about 3 kV is applied to the anode cell; the cathodes are at ground potential. Electrons are constrained from going directly to the anode by the presence of an axial magnetic field of about 1200 gauss. -
Page 44: Bakeout Operation
Instructions for Use Operating Notes akeout Operation When a VacIon pump does not reach the desired base pressure, and there are no leaks, it is necessary to bake the system to remove water vapour. This is done by heating the pump and all the components in the system. -
Page 45: Unusual Operating Conditions
Instructions for Use Unusual Operating Conditions Unusual Operating Conditions Low Current If the pump current reads lower than normal for the pressure (see the preceding figure), the discharge may have been extinguished. To check for the pump being "out of strike" (discharge extinguished), remove the magnet and observe the residual current. -
Page 46: Disposal
Instructions for Use Disposal Coatings on the insulators caused by operating above 10 Torr for extended periods. Since disassembly of the pump is not practicable, this condition must be regarded as a life-limiting factor. Avoid operating the pump at high pressures for long periods. - Page 52 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...