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TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI
turbomolecular y a la bomba de previo integrada al
modelo específico, como así también a la tensión
aplicable al sistema.
Las diferencias entre los distintos modelos del
TPS-móvil respectan sólo a las prestaciones del
sistema, mientras que el funcionamiento y los
procedimientos de uso son los mismos para todos
los TPS-móvil.
La presente información es aplicable a toda la
plataforma
(todos
independientemente de la bomba turbomolecular
específica, de la bomba de previo o de la
alimentación eléctrica.
INSTALACIÓN
¡ATENCIÓN!
Despegar el adhesivo y quitar el tapón de
protección sólo en el momento de conectar la
turbobomba al sistema.
No instalar ni/o utilizar el sistema de bombeo en
lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia,
hielo y nieve), polvo y gases agresivos, ni en
ambientes sujetos a riesgo de explosión o
incendio.
Durante el funcionamiento es necesario que se
respeten las condiciones ambientales siguientes:
-
presión máxima: 2 bares por encima de la
presión atmosférica
-
temperatura: de +5ºC a +35ºC
-
humedad relativa: 0-95% (no condensadora).
Cuando existan campos electromagnéticos, el
sistema de bombeo ha de protegerse mediante
pantallas adecuadas.
El TPS-mobile puede ser instalado en cualquier
posición.
El TPS-móvil se debe colocar sobre una superficie
plana. Colocar el TPS-móvil en una posición
estable, uniendo la brida de entrada de la
turbobomba a una contrabrida capaz de resistir a
un
par
de
50
Nm
(directamente o mediante un racor flexible).
La turbobomba con brida de entrada ISO debe
estar unida a la contrabrida mediante tornillos. La
siguiente tabla describe, para cada tipo de brida,
la cantidad de tornillos necesarios y el par de
apriete para ajustarlos.
BRIDA
TIPO DE MORDAZA
Mordaza doble con
ISO 63
rosca M10
Mordaza doble con
ISO 100 K
rosca M10
Mordaza doble con
ISO 160 K
rosca M10
La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha
de fijarse a la cámara de vacío mediante los
accesorios mecánicos específicos Varian. Para
lo
modelos)
alrededor
de
su
eje
N.
PAR DE APRIETE
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
más
detalles
Information".
El TPS-mobile no puede fijarse utilizando su base.
Para instalar los accesorios opcionales, véase
"Technical Information".
USO
En este apartado se citan los procedimientos
operativos principales.
Antes de usar el sistema, controlar que todas las
conexiones eléctricas y neumáticas se hayan
realizado
correctamente.
calentamiento
temperatura de la brida de entrada no ha de ser
superior a 120ºC.
No hacer funcionar nunca el sistema de bombeo si
la brida de entrada no está conectada a la cámara
de vacío o no está cerrada con la brida de cierre.
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios
durante las operaciones de calentamiento. La alta
temperatura puede provocar lesiones a las
personas.
Evitar los golpes o bruscos desplazamientos de la
turbobomba
cuando
rodamientos se podrían dañar y se podrían
verificar daños a las personas o a las cosas.
Para el "envío al aire" de la bomba utilizar gas
inerte exento de polvo, partículas y humedad (por
ej.: nitrógeno). La presión de entrada a través de
la respectiva puerta debe ser inferior a 2 bares
(por encima de la presión atmosférica).
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases
tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los
procedimientos apropiados típicos de cada gas.
No usar el sistema de bombeo cuando haya gases
explosivos.
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INSTRUCCIONES DE USO
véase
el
anexo
NOTA
Durante
el
de
la
cámara
de
¡PELIGRO!
¡PELIGRO!
¡PELIGRO!
está
en
marcha.
¡ATENCIÓN!
¡PELIGRO!
87-901-005-01(A)
"Technical
posible
vacío,
la
Los
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