Page 1 Turbo-V 903 Pumping System Pumping System model: 969-8811 Controller model: 969-6500 Power Supply model: 969-6501 Manuale di istruzioni Ohjekäsikirja Bedienungshandbuch Oδηγιες χρησεως Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu...
Page 2: Safety Notices
Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 3 Turbo-V 903 Pumping System Turbo-V 903 Pumping System Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 3/306...
Page 4 Turbo-V 903 Pumping System 4/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 5: Table Des Matières
Fissaggio della pompa 22 24 Manutenzione 27 Smaltimento 28 Gebrauchsanleitung 29 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeines 31 Lagerung 33 Vor der Installation 34 Installation 35 Befestigung der Pumpe 36 Gebrauch 38 Wartung 41 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 5/306...
Page 6 Manual de istrucciones 59 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 60 Información general 61 Almacenamiento 63 Preparación para la instalación 64 Instalación 65 Fijación de la bomba 66 68 Mantenimiento 71 Eliminación 72 6/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 7 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 90 Algemene informatie 91 Opslag 93 Voorbereiding voor installatie 94 Installatie 96 Bevestiging van de pomp 97 Gebruik 99 Onderhoud 102 Afvalverwerking 103 Istruktionsbog 105 Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 106 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 7/306...
Page 8 Allmän information 121 Förvaring 123 Förberedelser för installation 124 Installation 125 Fastsättning av pump 126 Användning 128 Underhåll 131 Bortskaffning 132 Instruksjon Manual 133 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 134 Generell informasjon 135 8/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 9 153 Pumpun kinnitys 154 Käyttö 156 Huolto 159 Hävittäminen 160 11 Oδηγιεσ Χρησεωσ 161 Οδηγίες Ασφάλειας για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου 162 Γενικες πληροφοριες 163 Αποθηκευση 165 Προετοιμασια για την εγκατασταση 166 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 9/306...
Page 10 Használat 186 Karbantartás 189 Megsemmisítés 190 13 Podrecznik Instrukcji 191 Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 192 Informacje ogolne 193 Magazynowanie 195 Przygotowanie do instalacji 196 Instalacja 197 Mocowanie pompy 198 10/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 11 Likvidace 217 15 Návod na Obsluhu 219 Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy 220 Všeobecné informácie 221 Uchovávanie 223 Príprava na inštaláciu 224 Inštalácia 225 Upevnenie vývevy 226 Použitie 228 Údržba 231 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 11/306...
Page 12 Odlaganje opadkov 244 17 Instructions for Use 245 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 246 General Information 247 Storage 249 Preparation for Installation 250 Installation 251 Pump Fixing 252 254 Maintenance 257 Disposal 257 12/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 13 Soft Start 291 Air Cooling Kit 292 Connection of the Fore-Vacuum Pump 296 Connection to the Pump 297 Pump used in Presence of Magnetic Fields 298 Accessories and Spare Parts 299 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 13/306...
Page 14 Contents 14/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 15: Istruzioni Per L'uso
Turbo-V 903 Pumping System User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 19 Installazione Fissaggio della pompa 22 Uso 24 Accensione ed Uso del TV 903 Pumping System Arresto del TV 903 Pumping System 25...
Page 16: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
AVVERTENZA! Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 16/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 17: Informazioni Generali
Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice “Technical information”. Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 17/306...
Page 18 I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 18/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 19: Immagazzinamento
TV 903 Pumping System e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 19/306...
Page 20 NOTA semplicemente esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere. PUMPING SYSTEM 969‐8811 48VDC POWER SUPPLY 969‐6501 Figura 1 Preparazione per l’installazione 20/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 21: Installazione
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. Il TV 903 Pumping System deve essere collegato ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information") Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 21/306...
Page 22: Fissaggio Della Pompa
Coppia di serraggio DN-160 Bolted 10 Nm Il TV 903 Pumping System può essere installato in qualsiasi posizione. Il TV 903 Pumping System non può essere fissato tramite la sua base. NOTA 22/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 23 Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo connesso al TV 903 Pumping System abbia un isolamento adeguato anche in condizione di guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010-1. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 23/306...
Page 24: Uso
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos-sici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. 24/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 25: Accensione Ed Uso Del Tv 903 Pumping System
(periodo di circa 200 ms): condizione di errore. Arresto del TV 903 Pumping System Per arrestare il TV 903 Pumping System è sufficiente togliere la tensione di alimentazione. Il controller incorporato arresta immediatamente la pompa. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 25/306...
Page 26: Arresto Di Emergenza
Arresto di Emergenza Per arrestare in condizioni di emergenza il TV 903 Pumping System occorre staccare il cavo di alimentazione dalla presa di alimentazione. 26/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 27: Manutenzione
"Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della spedizione. Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 27/306...
Page 28: Smaltimento
28/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 29: Gebrauchsanleitung
Turbo-V 903 Pumping System User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeines Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe Gebrauch Einschaltung und Gebrauch des TV 903 Pumping Systems Stoppen des TV 903 Pumping System 39 Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen...
Page 30: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. WARNUNG! Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 30/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 31: Allgemeines
Detaillierte technische Informationen sind im Anhang "Technical Information" enthalten. In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 31/306...
Page 32 Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text HINWEIS hervorgehoben werden. 32/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 33: Lagerung
Speditionsdatum. Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 33/306...
Page 34: Vor Der Installation
Der TV 903 Pumping System kann durch die Umgebung an sich keine Schäden HINWEIS erleiden. Er sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden. PUMPING SYSTEM 969‐8811 48VDC POWER SUPPLY 969‐6501 Abbildung 1 Vor der Installation 34/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 35: Installation
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Der TV 903 Pumping System ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe Schema in "Technical Information"). Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 35/306...
Page 36: Befestigung Der Pumpe
Anz. Anzugsmoment DN-160 Bolted 10 Nm Der TV 903 Pumping System kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Der TV 903 Pumping System kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden. HINWEIS 36/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 37 Teil unter Spannung zugänglich ist. Sicherstellen, dass die Isolie-rung der an den TV 903 Pumping System angeschlossenen Vorrichtung auch bei einer Einzelstörung ausreichend isoliert, wie es von der Richtlinie EN 61010-1 vorgesehen wird. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 37/306...
Page 38: Gebrauch
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm-baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. 38/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 39: Einschaltung Und Gebrauch Des Tv 903 Pumping Systems
Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus. Stoppen des TV 903 Pumping System Zum Stoppen des TV 903 Pumping System ist die Versorgungsspannung abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen Pumpenstopp. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 39/306...
Page 40: Not-Aus
Schäden oder zum Tod führen. Vor den Wartungsarbeiten innerhalb der Einheit die Stromkabel trennen. Not-Aus Zur Stillsetzung des TV 903 Pumping System in Notsituationen muss das Netzkabel von der Steckdose herausgezogen werden. 40/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 41: Wartung
Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen. Eine eventuelle Verschrottung der Pumpe hat unter Beachtung der einschlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 41/306...
Page 42: Entsorgung
Sammelsystem zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. 42/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 43: Mode D'emploi
Turbo-V 903 Pumping System User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Preparation pour l’installation Installation Fixation de la pompe Utilisation Mise en marche et utilisation du TV 903 Pumping System Arrêt du TV 903 Pumping System 54 Arrêt d'urgence...
Page 44: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel! 44/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 45: Indications Générales
Des renseignements plus détaillés se trouvent dans l'appendice "Technical Information". Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures qui, si ATTENTION! elles ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l’appareillage. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 45/306...
Page 46 Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions Les notes contiennent des renseignements importants isolés du texte. NOTE 46/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 47: Stockage
à compter de la date d'expédition. En cas de dépassement du temps de stockage pour toutes raisons, la pompe ATTENTION! doit être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 47/306...
Page 48: Preparation Pour L'installation
Le TV 903 Pumping Systemne ne peut s'endommager en restant simplement NOTE exposé à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à la poussière, il est conseillé de le garder dans son emballage clos jusqu'au moment de l'installation. 48/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 49 Mode d’emploi Preparation pour l’installation PUMPING SYSTEM 969‐8811 48VDC POWER SUPPLY 969‐6501 Figure 1 Preparation pour l’installation Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 49/306...
Page 50: Installation
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le TV 903 Pumping System doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information"). 50/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 51: Fixation De La Pompe
Couple de serrage DN-160 Bolted 10 Nm Le TV 903 Pumping System peut être installée dans n'importe quelle position. Le TV 903 Pumping System ne peut être fixé par sa base. NOTE Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 51/306...
Page 52 S'assurer que l'isolation du dispositif branché au TV 903 Pumping System a une isolation appropriée même en condition de panne individuelle selon les termes de la norme EN 61010-1. 52/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 53: Utilisation
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 53/306...
Page 54: Mise En Marche Et Utilisation Du Tv 903 Pumping System
(période d'environ 200 ms): condition d'erreur. Arrêt du TV 903 Pumping System Pour arrêter le TV 903 Pumping System, il suffit de retirer la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la pompe. 54/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 55: Arrêt D'urgence
à l’intérieur de l’unité débrancher le câble d’alimentation. Arrêt d'urgence Pour arrêter le TV 903 Pumping System en conditions d'urgence, il faut débrancher le cordon d'alimentation de la prise électrique. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 55/306...
Page 56: Entretien
être mise dans l'emballage du système avant l'expédition. En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination conformément aux réglementations nationales concernant la gestion des déchets. 56/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 57: Mise Au Rebut
Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente, l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le processus de collecte et mise au rebut. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 57/306...
Page 58 Mode d’emploi Mise au rebut 58/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 59: Manual De Istrucciones
Turbo-V 903 Pumping System User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general Almacenamiento Preparación para la instalación 64 Instalación Fijación de la bomba Uso 68 Encendido y Uso del TV 903 Pumping System 69 Parada del TV 903 Pumping System 69...
Page 60: Manual De Istrucciones Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 60/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 61: Información General
“Technical Information” se facilita información más detallada. Este manual utiliza las convenciones siguientes: Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, al ¡ATENCIÓN! no respetarse, podrían provocar daños al equipo. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 61/306...
Page 62 Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Las notas contienen información importante extraída del texto. NOTA 62/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 63: Almacenamiento
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 63/306...
Page 64: Preparación Para La Instalación
De todas formas, se aconseja mantener cerrada la bomba hasta que se instale en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo. PUMPING SYSTEM 969‐8811 48VDC POWER SUPPLY 969‐6501 Figura 1 Preparación para la instalación 64/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 65: Instalación
Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. El TV 903 Pumping System ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 65/306...
Page 66: Fijación De La Bomba
Dimension tornillos Par de apriete DN-160 Bolted 10 Nm El TV 903 Pumping System puede instalarse en cualquier posición. El TV 903 Pumping System no puede fijarse utilizando su base. NOTA 66/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 67 Controlar que el aislamiento del dispositivo conectado al TV 903 Pumping System mantenga una acción aisladora incluso en caso de verificarse una avería, de conformidad con lo establecido por la normativa EN 61010-1. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 67/306...
Page 68: Uso
(por encima de la presión atmosférica). ¡ADVERTENCIA! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. 68/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 69: Encendido Y Uso Del Tv 903 Pumping System
(periodo de 200 ms aproximadamente): condición de error. Parada del TV 903 Pumping System Para parar el TV 903 Pumping System basta con desenchufarlo de la corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la bomba. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 69/306...
Page 70: Parada De Emergencia
CE. Parada de Emergencia Para detener en condiciones de emergencia el TV 903 Pumping System es necesario desconectar el cable de alimentación de la toma de corriente. 70/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 71: Mantenimiento
Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo. En caso de que la bomba se tenga que desguazar, eliminarla respetando las normas nacionales específicas. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 71/306...
Page 72: Eliminación
éste es la casa fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y eliminación del producto, después de haber efectuado una verificación de los términos y condiciones contractuales de venta. 72/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 73: Manual De Istruções
Turbo-V 903 Pumping System User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba 81 Utilização Acendimento e Utilização do TV 903 Pumping System Paragem do TV 903 Pumping System 84 Paragem de Emergência...
Page 74: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 74/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 75: Informações Gerais
Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical Information". Este manual utiliza as seguintes convenções: As mensagens de cuidado são visualizadas antes de proceder que, se não CUIDADO! observadas, poderiam causar danos à aparelhagem. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 75/306...
Page 76 As mensagens de atenção atraem a atenção do operador num procedimento ou uma prática específica que, se não executada de modo correto, poderiam provocar graves lesões pessoais. As notas contém informações importantes estrapoladas pelo texto. NOTA 76/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 77: Armazenagem
Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Agilent. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 77/306...
Page 78: Preparação Para A Instalação
O TV 903 Pumping System não pode ser danificado permanecendo NOTA simplesmente exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o momento da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó. 78/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 79 Manual de Istruções Preparação para a instalação PUMPING SYSTEM 969‐8811 48VDC POWER SUPPLY 969‐6501 Figura 1 Preparação para a instalação Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 79/306...
Page 80: Instalação
Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O TV 903 Pumping System deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). 80/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 81: Fixação Da Bomba
Torque de aperto DN-160 Bolted 10 Nm O TV 903 Pumping System pode ser instalado em qualquer posição O TV 903 Pumping System não pode ser fixado através da sua base. NOTA Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 81/306...
Page 82 às partes sob tensão. Assegure-se de que o isolamento do dispositivo ligado ao TV 903 Pumping System esteja isolado correctamente mesmo em caso de avaria, conforme previsto pela norma NE 61010-1. 82/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 83: Utilização
2 bar (acima da pressão atmosférica). ATENÇAO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 83/306...
Page 84: Acendimento E Utilização Do Tv 903 Pumping System
(período de aprox. 200 ms): condição de erro. Paragem do TV 903 Pumping System Para parar o TV 903 Pumping System é suficiente desligar a tensão de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba. 84/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 85: Paragem De Emergência
Paragem de Emergência Para parar o TV 903 Pumping System em condições de emergência é necessário desconectar o cabo de alimentação da tomada de alimentação. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 85/306...
Page 86: Manutenção
"Segurança e Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da expedição. Caso uma bomba tenha que ser destruída, proceder à sua eliminação respeitando as normas nacionais específicas. 86/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 87: Eliminação
Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a oportuna verificação dos termos e condições do contrato de venda. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 87/306...
Page 88 Manual de Istruções Eliminação 88/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 89: Bedrijfshandleiding
Turbo-V 903 Pumping System User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Opslag 93 Voorbereiding voor installatie Installatie Bevestiging van de pomp Gebruik Inschakeling en gebruik van het TV 903 Pumping System Afzetten van het TV 903 Pumping System 100...
Page 90: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 90/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 91: Algemene Informatie
Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage "Technical information”. Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, VOORZICHTIG! schade aan apparatuur kunnen veroorzaken. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 91/306...
Page 92 Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPMERKING 92/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 93: Opslag
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer VOORZICHTIG! naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 93/306...
Page 94: Voorbereiding Voor Installatie
OPMERKING aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen. 94/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 95 Bedrijfshandleiding Voorbereiding voor installatie PUMPING SYSTEM 969‐8811 48VDC POWER SUPPLY 969‐6501 Figuur 1 Voorbereiding voor installatie Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 95/306...
Page 96: Installatie
In aanwezigheid van elektromagnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. Het TV 903 Pumping System moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical information"). 96/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 97: Bevestiging Van De Pomp
Agilent. Zie voor meer informatie de bijlage "Technical Information". Het TV 903 Pumping System kan in alle standen worden geïnstalleerd. Het TV 903 Pumping System kan niet met behulp van zijn eigen basis worden OPMERKING bevestigd. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 97/306...
Page 98 Controleer of de inrichting verbonden met het TV 903 Pumping System goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1. 98/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 99: Gebruik
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van giftige, brandbare of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 99/306...
Page 100: Inschakeling En Gebruik Van Het Tv 903 Pumping System
(periode van circa 200 ms): fouttoestand. Afzetten van het TV 903 Pumping System Om het TV 903 Pumping System af te zetten behoeft slechts de stroomvoorziening te worden onderbroken. De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de pomp. 100/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 101: Noodstop
Maak de voedingskabel los alvorens onderhoudswerkzaamheden in het systeem uit te voeren. Noodstop Om het TV 903 Pumping System in noodomstandigheden te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van het stopcontact losgekoppeld worden. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 101/306...
Page 102: Onderhoud
Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij het systeem in de verpakking worden gevoegd. Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. 102/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 103: Afvalverwerking
Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 103/306...
Page 104 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 104/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 105: Istruktionsbog
Turbo-V 903 Pumping System User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Opbevaring Forberedelser før installation Installation Fastgorelse af pumpe Anvendelse Start og anvendelse af TV 903 Pumping System Stop af TV 903 Pumping System 115 Nødstop Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne...
Page 106: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
ADVARSEL! For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 106/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 107: Generel Information
(RS 232 eller RS 485). De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige for at garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med anvendelse af udstyret. Bilaget “Technical Information” indeholder detaljerede oplysninger. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 107/306...
Page 108 Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. BEMÆRK 108/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 109: Opbevaring
De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra forsendelsesdatoen. Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 109/306...
Page 110: Forberedelser Før Installation
BEMÆRK anbefales dog, at opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil den skal installeres på systemet. Herved forhindres, at der kommer støv i pumpen. PUMPING SYSTEM 969‐8811 48VDC POWER SUPPLY 969‐6501 Figur 1 Forberedelser før installation 110/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 111: Installation
Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Technical Information” for yderligere oplysninger. TV 903 Pumping System skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Technical Information”). Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 111/306...
Page 112: Fastgorelse Af Pumpe
Flange Dimension skruer Ant. Drejningsmoment DN-160 Bolted 10 Nm TV 903 Pumping System kan installeres i en hvilken som helst position. TV 903 Pumping System kan ikke fastgøres i fundamentet. BEMÆRK 112/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 113 Kontrollér, at anordningen, der er tilsluttet TV 903 Pumping System, har en passende isolering. Dette gælder også i tilfælde af enkeltfejl som angivet i normen EN 61010-1. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 113/306...
Page 114: Anvendelse
Indgangstrykket ved den specielle dør skal være mindre end 2 bar (over atmosfærisk tryk). ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. 114/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 115: Start Og Anvendelse Af Tv 903 Pumping System
(periode på ca. 200 ms); fejl. Stop af TV 903 Pumping System For at afbryde TV 903 Pumping System er det tilstrækkeligt at afbryde strømtilførselen. Den indbyggede controller afbryder straks pumpen. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 115/306...
Page 116: Nødstop
Før der foretages vedligeholdelses-operationer inde i enheden, skal man koble fødekablet fra. Nødstop Afbrydelse af TV 903 Pumping System i nødsituationer sker ved at koble ledningen fra forsyningsstikket. 116/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 117: Vedligeholdelse
Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 117/306...
Page 118 Istruktionsbog Bortskaffelse 118/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 119: Bruksanvisning
Turbo-V 903 Pumping System User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 120 Allmän information Förvaring Förberedelser för installation Installation Fastsättning av pump Användning Start och användning av TV 903 Pumping System 129 Avstängning av TV 903 Pumping System 129 Nödstopp Underhåll...
Page 120: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 120/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 121: Allmän Information
Detaljerade uppgifter finns i bilagan "Technical information". I bruksanvisningen används följande standardrubriker: Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt OBSERVER! för att inte risk för maskinskada skall uppstå Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 121/306...
Page 122 Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta visar på viktig information i texten. OBSERVERA 122/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 123: Förvaring
De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från leveransdatumet. Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka OBSERVER! till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent -återförsäljaren för ytterligare information. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 123/306...
Page 124: Förberedelser För Installation
Trots det är det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den ska installeras i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den. PUMPING SYSTEM 969‐8811 48VDC POWER SUPPLY 969‐6501 Figur 1 Förberedelser för installation 124/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 125: Installation
I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med särskilda skärmar. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. TV 903 Pumping System måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical information"). Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 125/306...
Page 126: Fastsättning Av Pump
åt. Flans Dimension skruvar Ant. Atdragningsmoment DN-160 Bolted 10 Nm TV 903 Pumping System kan installeras i valfri position. TV 903 Pumping System-systemet kan inte fastspännas med sin egen bas. OBSERVERA 126/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 127 åt någon spänningsförande del. Kontrollera att anordningen som är ansluten till TV 903 Pumping System har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010-1. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 127/306...
Page 128: Användning
VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. 128/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 129: Start Och Användning Av Tv 903 Pumping System
(ungefär 200 ms): feltillstånd. Avstängning av TV 903 Pumping System Om du vill stänga av TV 903 Pumping System behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 129/306...
Page 130: Nödstopp
Dra därför alltid ur strömkabeln innan eventuella underhållsarbeten utförs inuti enheten. Nödstopp Dra ut elsladden från strömuttaget för att utföra ett nödstopp av TV 903 Pumping System. 130/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 131: Underhåll
"hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av bladet med pumpen. Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 131/306...
Page 132: Bortskaffning
återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. 132/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 133: Instruksjon Manual
Turbo-V 903 Pumping System User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 134 Lagring 137 Klargjøre til installasjon Installasjon Festing av pumpen Bruk Starte og bruke TV 903 Pumping System 143 Stoppe TV 903 Pumping System 143 Nødstopp...
Page 134: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. ADVARSEL! For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye! 134/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 135: Generell Informasjon
å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer detaljert bruk vises det til tillegget "Technical Information". Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, FORSIKTIG! kan føre til at utstyret skades. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 135/306...
Page 136 Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. MERK 136/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 137: Lagring
Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra sendedato. Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger, må pumpen FORSIKTIG! returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent -forhandleren for informasjon. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 137/306...
Page 138: Klargjøre Til Installasjon
Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge TV 903 Pumping System. MERK Likevel anbefaler vi å holde pumpen lukket til den er montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving. PUMPING SYSTEM 969‐8811 48VDC POWER SUPPLY 969‐6501 Figur 1 Klargjøre til installasjon 138/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 139: Installasjon
0 – 90 % (uten kondens) Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Technical Information” for detaljer. TV 903 Pumping System må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 139/306...
Page 140: Festing Av Pumpen
Flens Skruenes størrelse Ant. Strammemoment DN-160 Bolted 10 Nm TV 903 Pumping System kan monteres i en valgfri stilling. TV 903 Pumping System må ikke festes gjennom fundamentet. MERK 140/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 141 Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til TV 903 Pumping System har en egnet isolering, også under forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 141/306...
Page 142: Bruk
(over atmosfærisk trykk). ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. 142/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 143: Starte Og Bruke Tv 903 Pumping System
“Waiting for interlock” den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand. Stoppe TV 903 Pumping System TV 903 Pumping System stoppes ved å kople det fra strømforsyningen. Den innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 143/306...
Page 144: Nødstopp
Før man utfører vedlikeholdsoperasjoner inne i enheten, er det nødvendig å kople fra strømkabelen. Nødstopp Trekk nettkabelen ut av strømuttaket for å stoppe TV 903 Pumping System i en nødssituasjon. 144/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 145: Vedlikehold
"Helse og sikkerhet" til det lokale salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges systemet som sendes tilbake. Dersom et system skal kasseres, må dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 145/306...
Page 146: Eliminering
å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. 146/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 147: Ohjekäsikirja
Turbo-V 903 Pumping System User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 148 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kinnitys 154 Käyttö 156 TV 903 Pumping Systemin käynnistys ja käyttö 157 TV 903 Pumping Systemin pysäyttäminen 157 Hätäpysäytys 158 Huolto 159 Hävittäminen...
Page 148: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 148/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 149: Yleisiä Tietoja
Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana. Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Technical Information”. Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: Huomio- merkinnät varoittavat toimenpiteistä, joiden laiminlyönti voi johtaa HUOMIO! laitteen vaurioitumiseen. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 149/306...
Page 150 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja VAROITUS! Varoitus- merkintöjen tehtävänä on kiinnittää käyttäjän huomio erityisiin toimintatapoihin, joiden virheellinen suorittaminen voi aiheuttaa vakavia henkilövahinkoja. Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa. HUOM 150/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 151: Varastointi
Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft- start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimituspäivästä. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa HUOMIO! tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 151/306...
Page 152: Valmistelut Asennusta Varten152
TV 903 Pumping System ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa HUOM (auki). On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen. PUMPING SYSTEM 969‐8811 48VDC POWER SUPPLY 969‐6501 Kuva 1 Valmistelut asennusta varten 152/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 153: Asennus
0 - 90 % (ei tiivistävä) Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. TV 903 Pumping System tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Technical Information” -liitteen kaaviota). Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 153/306...
Page 154: Pumpun Kinnitys
Seuraavassa taulukossa esitetään vaadittu ruuvimäärä ja vastaava vääntömomentti. Laippa Ruuven koko Maara Kiristys-momentti DN-160 Bolted 10 Nm TV 903 Pumping System voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. TV 903 Pumping Systemia ei voida kiinnittää perustansa kautta. HUOM 154/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 155 Varmista, että TV 903 Pumping System laitteeseen kytketyn laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä EN 61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 155/306...
Page 156: Käyttö
Erityisen aukon läpi syötettävän paineen tulee olla alle 2 baaria (yli atmosfäärisen paineen). VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. 156/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 157: Tv 903 Pumping Systemin Käynnistys Ja Käyttö
“Waiting for interlock”- tilassa; vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila. TV 903 Pumping Systemin pysäyttäminen TV 903 Pumping Systemin pysäyttämiseen riittää, että se kytketään irti sähköverkosta. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumpun välittömästi. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 157/306...
Page 158: Hätäpysäytys
CE- normien vaatimukset täyttyvät. Valvojassa kehittyvät korkeajännitteet voivat aiheuttaa vakavia onnettomuuksia tai jopa kuoleman. Irrota sähkökaapeli ennen yksikön sisälle suoritettavien huoltotoimenpiteiden aloittamista. Hätäpysäytys TV 903 Pumping System on pysäytettävä hätätilassa irrottamalla sähkökaapeli pistorasiasta. 158/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 159: Huolto
"Turvallisuus ja Terveys” -kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen lähettämistä.. Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 159/306...
Page 160: Hävittäminen
Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. 160/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 161: Oδηγιεσ Χρησεωσ
Turbo-V 903 Pumping System User Manual Oδηγιεσ Χρησεωσ Οδηγίες Ασφάλειας για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Γενικες πληροφοριες Αποθηκευση Προετοιμασια για την εγκατασταση Εγκατασταση Στερεωση τησ αντλιασ 169 Χρηση 171 Έναυση και Χρήση του TV 903 Pumping System Σταμάτημα του TV902 Navigator 173 Σταμάτημα...
Page 162: Οδηγίες Ασφάλειας Για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου
ρότορα, η ενέργεια περιστροφής μπορεί να ελευθερωθεί. ΚΙΝ∆ΥΝΟΣ! Για την αποφυγή τυχόν καταστροφής του εξοπλισμού και για την πρόληψη τραυματισμών του προσωπικού, οι οδηγίες εγκατάστασης, όπως δίνονται στο παρόν εγχειρίδιο, θα πρέπει να τηρούνται αυστηρώς! 162/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 163: Γενικες Πληροφοριες
(RS232/RS485). σΣΣτΣτις επόμενες παραγράφους αναφέρονται όλες οι απαραίτητες πληροφορίες που εγγυώνται την ασφάλεια του χειριστή κατά τη διάρκεια της χρησιμοποίησης της συσκευής. Λεπτομερείς πληροφορίες δίνονται στο παράρτημα «Τεχνικές Πληροφορίες» (“Technical Information”). Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 163/306...
Page 164 Οι ενδείξεις κινδύνου ελκύουν την προσοχή του χειριστή σε μία διαδικασία ή σε μία ειδική εργασία η οποία αν δεν εκτελεστεί σωστά, θα μπορούσε να προκαλέσει σοβαρές προσωπικές βλάβες. Οι σημειώσεις περιέχουν σημαντικές πληροφορίες που έχουν αποσπαστεί από το ΣΗΜΕΙΩΣΗ κείμενο. 164/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 165: Αποθηκευση
μήνες από την ημερομηνία αποστολής Εάν, για οποιοδήποτε λόγο, ο χρόνος αποθήκευσης είναι μεγαλύτερος, ΠΡΟΣΟΧΗ! χρειάζεται να επιστρέψετε την αντλία στο εργοστάσιο. Για κάθε πληροφορία παρακαλούμε να επικοινωνήσετε με την τοπική αντιπροσωπεία της Agilent. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 165/306...
Page 166: Προετοιμασια Για Την Εγκατασταση
Το TV 903 Pumping System δεν βλάπτεται απλά παραμένοντας εκτεθειμένο στο ΣΗΜΕΙΩΣΗ περιβάλλον. Εντούτοις συμβουλεύεται να διατηρείτε κλειστή την αντλία μέχρι τη στιγμή της εγκατάστασης στο σύστημα ώστε να αποφευχθεί μία ενδεχόμενη ρύπανση από σκόνη. 166/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 167 Oδηγιεσ Χρησεωσ Προετοιμασια για την εγκατασταση PUMPING SYSTEM 969‐8811 48VDC POWER SUPPLY 969‐6501 Φιγούρα 1 Προετοιμασια για την εγκατασταση Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 167/306...
Page 168: Εγκατασταση
Σε παρουσία ηλεκτρομαγνητικών πεδίων η αντλία πρέπει να προστατεύεται με κατάλληλα προκαλύμματα. Βλέπε το παράρτημα «Τεχνικές Πληροφορίες» για περισσότερες λεπτομέρειες. Το TV 903 Pumping System πρέπει να είναι συνδεδεμένο σε μία πρωτεύουσα αντλία (βλέπε σχήμα στις «Τεχνικές Πληροφορίες»). 168/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 169: Στερεωση Τησ Αντλιασ
Ζευγοσ βιδωματοσ DN-160 Bolted 10 Nm Το TV 903 Pumping System μπορεί να εγκατασταθεί σε οποιαδήποτε θέση. Το TV 903 Pumping System δεν μπορεί να στερεωθεί διαμέσου της βάσης του. ΣΗΜΕΙΩΣΗ Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 169/306...
Page 170 ώστε να μην είναι προσιτό κανένα μέρος υπό τάση. Βεβαιωθείτε ότι η μόνωση της συνδεδεμένης διάταξης στον TV 903 Pumping System έχει μια κατάλληλη μόνωση ακόμα και σε κατάσταση μονής βλάβης όπως προβλέπεται από τον κανονισμό EN 61010-1. 170/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 171: Χρηση
Για να διοχετεύσετε με αέρα την αντλία χρησιμοποιείτε αέρα ή αδρανές αέριο καθαρό από σκόνη ή άλλα στοιχεία. Η πίεση εισόδου διαμέσου της ειδικής πόρτας, πρπεπει να είναι μικρότερη από 2bar (πάνω από την ατμοφαιρική πίεση). Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 171/306...
Page 172: Έναυση Και Χρήση Του Tv 903 Pumping System
σταθερά αναμμένο η αντλία είναι σε κανονική περιστροφή˙ αναβοσβήνει αργά (περίοδος περίπου 400 ms): Το σύστημα είναι σε κατάσταση ανάβασης, ή επιβράδυνσης, ή stop, ή “Waiting for interlock”. αναβοσβήνει γρήγορα (περίοδος περίπου 200 ms): εσφαλμένη συνθήκη. 172/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 173: Σταμάτημα Του Tv902 Navigator
στη μονάδα βγάλετε το καλώδιο τροφοδότησης. Σταμάτημα Έκτακτης Ανάγκηςj Για να σταματήσετε σε συνθήκες έκτακτης ανάγκης το TV 903 Pumping System πρέπει να βγάλετε το καλώδιο τροφοδότησης από την πρίζα τροφοδοσίας. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 173/306...
Page 174: Συντηρηση
παρόν εγχειρίδιο οδηγιών. Αντίγραφο του ίδιου εντύπου πρέπει να υπάρχει μέσα στη συσκευασία της αντλίας πριν από την αποστολή. Όταν πλέον μία αντλία πρέπει να διαλυθεί, προχωρείτε στην εξουδετέρωσή της τηρώντας τις ειδικές εθνικές διατάξεις. 174/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 175: Χώνευση
βιομηχανικά σκουπίδια, αλλά με διαφοροποιημένο τρόπο. Γι΄αυτό, παρακαλούμε τον τελικό χρήστη να έρθει σε επαφή με τον πωλητή της συσκευής ή με το εργοστάσιο σχετικά με την εκκίνηση της διαδικασίας διαφοροποιημένης συλλογής, κατόπιν επαλήθευσης του συμβολαίου πώλησης. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 175/306...
Page 176 Oδηγιεσ Χρησεωσ Χώνευση 176/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 177: Felhasználói Kézikönyv
Turbo-V 903 Pumping System User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informáicó Tárolás 181 Előkészítés telepítésre 182 Telepítés A szivattyú rögzítése Használat A TV 903 Pumping System bekapcsolása és működtetése 187 A TV 903 Pumping System kikapcsolása 187 Vészleállítás 188...
Page 178: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
érintkezése vagy a forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 178/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 179: Általános Informáicó
„Technical Information” függelékben. Ez a kézikönyv a következő figyelmeztető jelzéseket használja: A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! tartanak be, az a berendezés károsodását okozhatja. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 179/306...
Page 180 A veszélyt jelző üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, ami, ha nem megfelelően végzik el, súlyos személyi sérülésekhez vezethet. A megjegyzések fontos, a szövegből kivonatolt információkat tartalmaznak. MEGJEGYZÉS 180/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 181: Tárolás
Egy turbomolekuláris szivattyú raktározási ideje 10 hónap a szállítás dátumától számítva. Ha valamilyen okból a raktározási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni a FIGYELEM! gyárba. Információért forduljon a helyi Agilent képviselethez. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 181/306...
Page 182: Előkészítés Telepítésre
Ha csak a légkörnek van kitéve, az nem károsíthatja a TV 903 Pumping Systemt. Mégis ajánlatos zárva tartani a szivattyút a rendszerbe való telepítésig, megakadályozva a porral való szennyeződés bármely formáját. PUMPING SYSTEM 969‐8811 48VDC POWER SUPPLY 969‐6501 Ábra 1 Előkészítés telepítésre 182/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 183: Telepítés
0 – 90% (nem kondenzáló) Elektromágneses mezők jelenlétében a szivattyút ferromágneses pajzs segítségével védeni kell. Részletes információért lásd a „Technical Information” fejezetet. A TV 903 Pumping Systemt egy elsődleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd "Technical Information”). Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 183/306...
Page 184: A Szivattyú Rögzítése
A következő táblázat a csavarok szükséges számát és a rögzítő nyomatékot mutatja. Karima Csavarmeret Szam Rogzito nyomatek DN-160 Bolted 10 Nm A TV 903 Pumping System bármely helyzetben felszerelhető. A TV 903 Pumping System nem rögzíthető az alapján keresztül. MEGJEGYZÉS 184/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 185 Győződjön meg arról, hogy a TV 903 Pumping Systemhoz csatlakoztatott eszköz szigetelése megfelelő még egyes hibák esetén is az RN 61010-1 irányelv szerint. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 185/306...
Page 186: Használat
2 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött). VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, tűzveszélyes vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kövesse az egyes gázok kezelésére vonatkozó eljárásokat! Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében! 186/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 187: A Tv 903 Pumping System Bekapcsolása És Működtetése
(kb. 200 ms-os periódus): az meghibásodást jelent. A TV 903 Pumping System kikapcsolása A TV 903 Pumping System kikapcsolásához egyszerűen le kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő azonnal leállítja a szivattyút. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 187/306...
Page 188: Vészleállítás
Mielőtt az egység belsejében karbantartási munkát végezne, kapcsolja le az egységről a tápfeszültség szolgáltató kábelt. Vészleállítás A TV 903 Pumping System vészhelyzetben való azonnali leállításához ki kell húzni a tápkábelt a hálózati aljzatból. 188/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 189: Karbantartás
Az űrlap egy másolatát szállítás előtt el kell helyezni a rendszert tartalmazó csomagba. Ha a szivattyút le kell selejtezni, azt a specifikus nemzeti előírásoknak megfelelően ártalmatlanítani kell. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 189/306...
Page 190: Megsemmisítés
A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési eljárás beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. 190/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 191: Podrecznik Instrukcji
Turbo-V 903 Pumping System User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Informacje ogolne 193 Magazynowanie 195 Przygotowanie do instalacji 196 Instalacja Mocowanie pompy Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie TV 903 Pumping System 201 Zatrzymanie TV 903 Pumping System 201...
Page 192: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
ZAGROZENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi! 192/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 193: Informacje Ogolne
Szczegółowe informacje przedstawiono w dodatku „Technical information”. W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w UWAGA! przypadku ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 193/306...
Page 194 Informacje ogolne ZAGROZENIE! Komunikaty zagrozeniu przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu. PRZYPIS 194/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 195: Magazynowanie
10 miesięcy od daty wysyłki. Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy UWAGA! odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 195/306...
Page 196: Przygotowanie Do Instalacji
Dlatego też zaleca się aby pompa do momentu zainstalowania jej w systemie pozostała zamknięta, celem uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem. PUMPING SYSTEM 969‐8811 48VDC POWER SUPPLY 969‐6501 Posta 1 Przygotowanie do instalacji 196/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 197: Instalacja
W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical Information” TV 903 Pumping System musi być podłączony do głównej pompy (patrz schemat w “Technical Information”) Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 197/306...
Page 198: Mocowanie Pompy
Kołnierz Wymiary śruby Moment dokręcenia DN-160 Bolted 10 Nm TV 903 Pumping System może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji. TV 903 Pumping System nie może być zamocowany poprzez własną podstawę. PRZYPIS 198/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 199 żadna część znajdująca się pod napięciem nie mogła być dostępna. Należy upewnić się że izolacja przyrządu podłączonego do TV 903 Pumping System, posiada odpowiednie nawet w stanie pojedynczej usterki odizolowanie zgodnie z wymaganiami normy EN 61010-1. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 199/306...
Page 200: Użytkowanie
2 barów ( ponad ciśnienie atmosferyczne). ZAGROZENIE! Kiedy pompa jest stosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów. Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. 200/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 201: Włączenie I Użytkowanie Tv 903 Pumping System
Stop lub w stanie “Waiting for interlock”; miga szybko ( okres 200 ms.): stan błędu. Zatrzymanie TV 903 Pumping System Aby zatrzymać TV 903 Pumping System wystarczy odłączyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompę. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 201/306...
Page 202: Zatrzymanie Awaryjne
śmierć. Przed przeprowadzeniem czynności konserwacyjnych wewnątrz tego urządzenia odłączyć kabel zasilający. Zatrzymanie Awaryjne Aby zatrzymać TV 903 Pumping System w stanie awarii, należy wyjąć kabel zasilania z odpowiedniej wtyczki. 202/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 203: Konserwacja
„Bezpieczeństwo i Zdrowie” załączoną do niniejszej instrukcji. Jeden egzemplarz karty musi być włożony do opakowania systemu przed jego wysyłką. Jeżeli pompa musi być poddana rozbiórce, rzystąpić do jej eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi normami w meritum sprawy. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 203/306...
Page 204: Przetworstwo Odpadow
. Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu. 204/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 205: Návod K Použití
Turbo-V 903 Pumping System User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 206 Všeobecné informace 207 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Upevnění vývěvy Použití 214 Zapnutí a používání vývěvy TV 903 Pumping System Vypnutí vývěvy TV 903 Pumping System 215 Nouzové...
Page 206: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie. NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence poškození zařízení a zranění obsluhy! 206/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 207: Všeobecné Informace
Podrobné informace jsou uvedeny v příloze „Technical Information". Tento manuál používá následující standardní protokol: Výstražná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení POZOR! mohly poškodit zařízení. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 207/306...
Page 208 Všeobecné informace NEBEZPEČÍ! Varovná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu. POZNÁMKA 208/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 209: Uskladnění
10 měsíců ode dne doručení. Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 209/306...
Page 210: Příprava K Instalaci
Normální prostředí nechráněnou vývěvu TV 903 Pumping System nemůže POZNÁMKA poškodit. Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním prachem. PUMPING SYSTEM 969‐8811 48VDC POWER SUPPLY 969‐6501 Postava 1 Příprava k instalaci 210/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 211: Instalace
V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze „Technical Information". Vývěva TV 903 Pumping System se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz „Technical Information"). Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 211/306...
Page 212: Upevnění Vývěvy
Velikost šroubů Počet Utahovací moment DN-160 Bolted 10 Nm Vývěva TV 903 Pumping System se může instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TV 903 Pumping System nelze připevňovat využitím její základny. POZNÁMKA 212/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 213 žádná elektrická součást nebyla přístupná. Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě TV 903 Pumping System byla přiměřená i v případě jediné poruchy podle směrnice EN 61010-1. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 213/306...
Page 214: Použití
Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem). NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. 214/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 215: Zapnutí A Používání Vývěvy Tv 903 Pumping System
„čekání na blokování”; rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav. Vypnutí vývěvy TV 903 Pumping System Vývěva TV 903 Pumping System se vypne odpojením síťového napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 215/306...
Page 216: Nouzové Zastavení
Před prováděním zásahů údržby uvnitř jednotky přívodní kabel odpojte. Nouzové zastavení Pro okamžité zastavení vývěvy TV 903 Pumping System v nouzové situaci je třeba odpojit napájecí kabel z napájecí zásuvky 216/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 217: Údržba
Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o kompletní likvidaci uvedeného výrobku. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 217/306...
Page 218 Návod k Použití Likvidace 218/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 219: Návod Na Obsluhu
Turbo-V 903 Pumping System User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 221 Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy 226 Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 903 Pumping System Vypnutie zariadenia TV 903 Pumping System 229 Núdzové...
Page 220: Bezpečnostné Pokyny Pre Turbomolekulárne Vývevy
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení rotora, sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍ! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť dôsledne dodržované, aby nedošlo k poškodeniu zariadenia alebo k zraneniu obsluhy! 220/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 221: Všeobecné Informácie
Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 221/306...
Page 222 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie NEBEZPEČÍ! Nebezpečie majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie v texte. POZNÁMKA 222/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 223: Uchovávanie
10 mesiacov odo dňa dodania Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu POZOR! do závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 223/306...
Page 224: Príprava Na Inštaláciu
Bežné vystavenie vplyvu prostredia nemôže zariadenie TV 903 Pumping System POZNÁMKA poškodiť. Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo zabalené až do inštalácie kvôli prevencii usadzovania prachu. PUMPING SYSTEM 969‐8811 48VDC POWER SUPPLY 969‐6501 Postava 2 Príprava na inštaláciu 224/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 225: Inštalácia
V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená vhodným ochranným štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Zariadenie TV 903 Pumping System sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri „Technical Information“). Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 225/306...
Page 226: Upevnenie Vývevy
Rozmer skrutiek Pocet Utahovaci moment DN-160 Bolted 10 Nm Zariadenie TV 903 Pumping System môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe. Zariadenie TV 903 Pumping System sa nemôže upevniť pomocou vlastnej POZNÁMKA základne. 226/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 227 žiadnej súčiastke pod napätím nebol prístup. Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k TV 903 Pumping System má adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chy-by podľa normy EN 61010-1. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 227/306...
Page 228: Použitie
častíc. Tlak na ventilačnom vstupe musí byť nižší než 2 bary (nad atmosférickým tlakom). NEBEZPEČÍ! Ak vývevu používate na odčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. 228/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 229: Zapnutie A Použitie Zariadenia Tv 903 Pumping System
(interval asi 200 ms): chybový stav Vypnutie zariadenia TV 903 Pumping System Ak chcete vypnúť zariadenie TV 903 Pumping System, musíte odpojiť napájanie. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 229/306...
Page 230: Núdzové Zastavenie
Prv než začnete prevádzať údržbárske práce v tejto jednotke, odpojte napájaciu šnúru. Núdzové zastavenie Ak chcete zariadenie TV 903 Pumping System okamžite vypnúť v stave núdze, musíte odpojiť kábel napájania z napájacej zásuvky. 230/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 231: Údržba
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 231/306...
Page 232 Návod na Obsluhu Likvidácia 232/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 233: Priročnik Za Navodila
Turbo-V 903 Pumping System User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Pritrjevanje črpalke Uporaba Vključitev in uporaba naprave TV 903 Pumping System Izključevanje naprave TV 903 Pumping System 242 Zaustavitev v sili Vzdrževanje...
Page 234: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 234/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 235: Splošne Informacije
Svarilo so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila. OPOMBA Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 235/306...
Page 236: Shranjevanje
Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od datum pošiljanja. Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko POZOR! vrniti v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. 236/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 237: Priprava Za Montažo
OPOMBA Pumping System. Kljub temu je priporočljivo, da je črpalka zaprta dokler je ne namestite v sistem. S tem boste preprečili onesnaženje s prahom. PUMPING SYSTEM 969‐8811 48VDC POWER SUPPLY 969‐6501 Slika 1 Priprava za montažo Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 237/306...
Page 238: Montaža
Relativna vlažnost: 0 – 90 % (brez kondenza) V prisotnosti magnetnih polj mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". TV 903 Pumping System morate priključiti na primarno črpalko (glej "Technical Information"). 238/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 239: Pritrjevanje Črpalke
Prirobnica Velikost vijakov Navor DN-160 Bolted 10 Nm TV 903 Pumping System lahko montirate v številne pozicije. Naprave TV 903 Pumping System ne morete fiksirati z njegovo lastno spodnjo OPOMBA ploskvijo. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 239/306...
Page 240 Prepričajte se, da je izolacija naprave, priključene na TV 903 Pumping System, primerna tudi v primerno ene napake, kar je opisano v direktivi EN 61010-1. 240/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 241: Uporaba
Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 2 bara (nad pritiskom atmosfere). SVARILO! Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 241/306...
Page 242: Vključitev In Uporaba Naprave Tv 903 Pumping System
»Waiting for interloc«; Hitro utripanje (perioda približno 200 ms): Napaka. Izključevanje naprave TV 903 Pumping System Za izključitev TV 903 Pumping System morate izključiti napetost. Vgrajen kontroler takoj zaustavi črpalko. 242/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 243: Zaustavitev V Sili
Visoka napetost, ki je prisotna v krmilniku, lahko povzroči hude poškodbe ali smrt. Preden začnete z vzdrževalnimi postopki v notranjosti, izvlecite napajalni kabel. Zaustavitev v sili Za takojšenj izklop naprave TV 903 Pumping System je treba izključiti napetostni kabel iz napajanja. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 243/306...
Page 244: Vzdrževanje
Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. 244/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 245: Instructions For Use
Turbo-V 903 Pumping System User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Storage Preparation for Installation 250 Installation 251 Pump Fixing Switching on and Use of TV 903 Pumping System TV 903 Pumping System Switching off 255...
Page 246: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
WARNING! To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 246/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 247: General Information
"Technical Information". This manual uses the following standard protocol: The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 247/306...
Page 248 The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. The notes contain important information taken from the text. NOTE 248/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 249: Storage
If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 249/306...
Page 250: Preparation For Installation
System. Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system, thus preventing any form of pollution by dust. PUMPING SYSTEM 969‐8811 48VDC POWER SUPPLY 969‐6501 Figure 1 Preparation for installation 250/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 251: Installation
In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The TV 903 Pumping System must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 251/306...
Page 252: Pump Fixing
Fixing torque DN-160 Bolted 10 Nm The TV 903 Pumping System can be installed in any position. The TV 903 Pumping System cannot be fixed by means of its base. NOTE 252/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 253 Be sure that the insulation of the device connected to the TV 903 Pumping System is adequate even in the case of single fault as per directive EN 61010-1. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 253/306...
Page 254: Use
When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive WARNING! gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. 254/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 255: Switching On And Use Of Tv 903 Pumping System
CE requirements. High voltage developed in the controller can cause severe injury or death. Before servicing the unit, disconnect the input power cable. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 255/306...
Page 256: Emergency Stop
Instructions for Use Emergency Stop To immediately stop the TV 903 Pumping System in an emergency condition it is necessary to remove the supply cable from the mains plug. 256/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 257: Maintenance
The end user is therefore invited to contact the supplier of the device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 257/306...
Page 258 Instructions for Use Disposal 258/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 259: Technical Information
Turbo-V 903 Pumping System User Manual Technical Information Description of the TV 903 Pumping System Pump Description 262 Controller Description 263 Technical Specification TV 903 Pumping System Outline 266 OUTPUT Power during High Temperature Condition 267 Interconnections Earth (ground) Connection 269 J54 –...
Page 260 Air Cooling Kit TV 903 Pumping System Air Cooling Kit Cable Fixing 293 Connection of the Fore-Vacuum Pump Connection to the Pump Pump used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 260/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 261: Description Of The Tv 903 Pumping System
The pump is equipped with a custom ISO 160 F high vacuum flange. The following pictures show the pump and the controller. Figure 2 Controller model 969-6500 Figure 3 Pumping System model 969-8811 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 261/306...
Page 262: Pump Description
The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 25 flange. 262/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 263: Controller Description
The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection. A Windows-based software is available (T-Plus optional). Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 263/306...
Page 264: Technical Specification
FAN off = < 50 dB(A) at 1 meter FAN on = < 55 dB(A) at 1 meter Power supply Input for TV903 Pumping System Power Supply (969-6501): Input voltage: 200 - 240 Vac (± 10%) 264/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 265 Pumping System 18.7 (41.2) When the TV 903 Pumping System has been stored at a temperature less than 5 °C, NOTE wait until the system has reached the above mentioned temperature. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 265/306...
Page 266: Tv 903 Pumping System Outline
TV 903 Pumping System Outline TV 903 Pumping System Outline The following figure shows the TV 903 Pumping System outlines (dimensions are in mm [inches]). Figure 4 TV 903 pumping system outline 266/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 267: Output Power During High Temperature Condition
3 W/°C up to a max body temperature of 55 °C. If the body temperature exceed 55 °C the controller goes in status 6 (Fail). Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 267/306...
Page 268: Interconnections
Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TV 903 Pumping System interconnections. Output Power Supply Earth (ground) External fan Input - Output Serial Line Figure 6 Interconnections 268/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 269: Earth (Ground) Connection
The controller must be supplied with a voltage of 48 Vdc (± 10 %) according to the drawing (use 2 pins for each pole). Input current during Normal Operation: 6.5 A Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 269/306...
Page 270: P4 - External Fan
EMC rules. J1 – In-Out Figure 9 In-Out This connector carries all the input and output signals to remote control the TV 903 Pumping System. 270/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 271: Signal Description
Interlock: input signal to control the pump rotation. With the supplied cover connector the interlock (+) signal is connected to the +24 Vdc pin and the interlock (-) signal to the GROUND pin. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 271/306...
Page 272 Programmable analog signal: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power) set by the user. The default setting is the frequency (see the following example diagram). 272/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 273 (in % of the threshold value) to avoid bouncing. For example: reference quantity: frequency threshold: 500 Hz hysteresis: 1% activation type: "high level" Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 273/306...
Page 274 When no external input-output device is available this connector must be closed with the supplied mating connector that short-circuits the START and INTERLOCK inputs with the GROUND and 24 Vdc OUT (see the following figure). 274/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 275 Technical Information Earth (ground) Connection Mating Connector Figure 12 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 275/306...
Page 276: How To Connect The Open-Collector Inputs Of The Controller
2. the customer does not supply the 24 Vdc Please note that on the connector a 24 Vdc, 60 mA voltage, a GROUND signal and the open collector pin are available. Figure 13 Case 1 276/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 277 Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Figure 14 Case 2 with relay utilisation Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 277/306...
Page 278 Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Figure 15 Case 2 with transistor utilisation 278/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 279: How To Connect The Outputs Of The Controller
The following figure refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9. Figure 16 Typical output connection The following figure shows a typical output connection to a relay coil. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 279/306...
Page 280: P2 - Serial
9 pin connector This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TV 903 Pumping System. Table 3 Signal characteristics and use 280/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 281 RX (RS232) A+ (RS422 Optional) A + (RS485) B - (RS422 Optional) B - (RS485) Reserved A serial communication kit with a serial cable and the T-Plus software is available (optional). Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 281/306...
Page 282: Procedure To Connect The Serial And I/O Ports To An External Cable
In this way, you will be sure to reduce the influence of the external noise and to accomplish the EMC requests. In picture d is showed the cable assembled. Figure 19 Cable assembled 282/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 283: Rs 232/Rs 485 Communication Description
The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> where: When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated NOTE data is the corresponding ASCII character. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 283/306...
Page 284 The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE type. When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE. 284/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 285 Win Disabled 1 byte (0x35) The specified window is Read Only or temporarily disabled (for ex-ample you can’t write the Soft Start when the Pump is running) Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 285/306...
Page 286 External Cable Examples: Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 286/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 287 Procedure to Connect the Serial and I/O ports to an External Cable Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 287/306...
Page 288: Window-Meanings
Active Stop 0 = NO (write only in stop) 1 = YES Baud rate 600 = 0 1200 = 1 2400 = 2 4800 = 3 9600 = 4 (default = 4) 288/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 289 Fail = 6 Error code Bit description: see the following figure Cycle time in minutes 0 to 999999 (zeroed by the reset command) Cycle number (zeroed by the 0 to 9999 reset command) Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 289/306...
Page 290 NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. (T-bearing >60 °C) OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. (T >60 °C) AUX FAIL POWER FAIL (V supply < 43 Vdc) Figure 20 Window N. 206 Bit Description 290/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 291: Soft Start
“Soft Start” frequency steps are as follow: 300 Hz, 400 Hz, 500 Hz, 600 Hz, 700 Hz and 800 Hz. The pump remains at each step for 300 sec and the minimum ramp-up time in “soft Start” mode is 36 minutes. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 291/306...
Page 292: Air Cooling Kit
To supply the fan it is necessary to connect the fan supply to the P4 connector of the controller with the special shielded cable included into the kit to reduce noises and to accomplish to EMC norms. Figure 21 Pumping system 292/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 293: Air Cooling Kit Cable Fixing
Press the two fixing clamps into the dedicated holes (7 mm diameter) on the Air cooling plastic shroud 7 mm diameter hole 7 mm diameter hole Figure 23 Pressing of the clamps Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 293/306...
Page 294 Fix the cable by locking the fixing clamps. Leave a ripple of about 5 – 6 cm in length between the cable connector (FAN side) and the first locking clamp (see Figures below) Locking clamp Locking clamp Figure 24 294/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 295 Technical Information Air Cooling Kit About 5 – 6 cm Figure 25 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 295/306...
Page 296: Connection Of The Fore-Vacuum Pump
NOTE for oil vapors. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil backstreaming. 296/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 297: Connection To The Pump
If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60 °C, the sensor automatically cuts out the power supply. Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 297/306...
Page 298: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
However if the effect is greater, than the case should be carefully reviewed by Agilent specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. 298/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 299: Accessories And Spare Parts
Accessories and Spare Parts Table 7 Accessories and Spare Parts Description Part number Power Supply unit 969-6501 Controller Model 969-6500 T-Plus software and serial cable 969-9883 Mains cable European Plug, 3m long 969-9957 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 299/306...
Page 300 Technical Information Accessories and Spare Parts 300/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01...
Page 306 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

Ce manuel est également adapté pour:

969-8811 969-6500 969-6501 8698933r001

Agilent Technologies Turbo-V 903 Notice De Mode D'emploi

Les langues disponibles

Liens rapides

Chapitres

Manuels Connexes pour Agilent Technologies Turbo-V 903

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies Turbo-V 903