Page 1 TV 401/301 NSF Pump Model 969-8928 Controller model: 969-8979 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila...
Page 2: Safety Notices
Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 3 TV 401/301 NSF TV 401/301 NSF TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 3/290...
Page 4 TV 401/301 NSF 4/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 5: Table Des Matières
Installazione 19 Uso 21 Manutenzione 24 Smaltimento 25 Gebrauchsanleitung 27 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen 29 Lagerung 31 Vor der Installation 32 Installation 33 Gebrauch 35 Wartung 38 Entsorgung 39 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 5/290...
Page 6 Información general 57 Almacenamiento 59 Preparación para la instalación 60 Instalación 61 Uso 63 Encendido y Uso del TV 401/301 NSF 64 Mantenimiento 66 Eliminación 67 Manual de Istruções 69 Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 70 Informações gerais 71 ...
Page 7 Uitpakken 88 Installatie 89 Gebruik 91 Onderhoud 94 Afvalverwerking 95 Istruktionsbog 97 Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 98 Generel information 99 Opbevaring 101 Forberedelser før installation 102 Installation 103 Anvendelse 105 Vedligeholdelse 108 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 7/290...
Page 8 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 126 Generell informasjon 127 Lagring 129 Klargjøre til installasjon 130 Installasjon 131 Bruk 133 Vedlikehold 136 Eliminering 137 10 Ohjekäsikirja 139 Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 140 Yleisiä tietoja 141 8/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 9 159 Használat 161 Karbantartás 164 Megsemmisítés 165 12 Podrecznik Instrukcji 167 Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 168 Informacje ogolne 169 Magazynowanie 171 Przygotowanie do instalacji 172 Instalacja 173 Użytkowanie 175 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 9/290...
Page 10 Bezpečnostné navod pre Turbomolekulárne vývevy 196 Všeobecné informácie 197 Uchovávanie 199 Príprava na inštaláciu 200 Inštalácia 201 Použitie 203 Údržba 206 Likvidácia 207 15 Priročnik za Navodila 209 Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 210 10/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 11 Maintenance 234 Disposal 235 17 Technical Information 237 Description of the TV 401/301 NSF 239 Technical Specification 242 TV 401/301 NSF Outline 245 Interconnections 249 RS 232/RS 485 Communication Description 262 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 11/290...
Page 12 Connection of the Fore Vacuum Pump 279 Connection of the Electrical Connector 280 Pump Used with Corrosive Gases 281 Pump Used in Presence of Magnetic Fields 283 Accessories and Spare Parts 284 12/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 13: Istruzioni Per L'uso
Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali 15 Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 18 Installazione Accensione ed Uso del TV 401/301 NSF 22 Arresto del TV 401/301 NSF 23 Arresto di Emergenza 23 Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali...
Page 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
AVVERTENZA! Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 14/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 15: Informazioni Generali
Il TV 401/301 NSF è un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è...
Page 16 I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 16/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 17: Immagazzinamento
10 mesi dalla data di spedizione. Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre ATTENZIONE! reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 17/290...
Page 18: Preparazione Per L'installazione
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TV 401/301 NSF e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.
Page 19: Installazione
0 – 95 % (non condensante). In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. Il TV 401/301 NSF deve essere collegato ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information").
Page 20 21BInstallazione Il TV 401/301 NSF può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare il TV 401/301 NSF in posizione stabile collegando la flangia di fissaggio della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 2000 Nm attorno al proprio asse.
Page 21: Uso
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 21/290...
Page 22: Accensione Ed Uso Del Tv 401/301 Nsf
0BIstruzioni per l’uso 22BUso Accensione ed Uso del TV 401/301 NSF Per accendere il TV 401/301 NSF è sufficiente fornire la tensione di alimentazione. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa.
Page 23: Arresto Del Tv 401/301 Nsf
0BIstruzioni per l’uso 22BUso Arresto del TV 401/301 NSF Per arrestare il TV 401/301 NSF è sufficiente togliere la tensione di alimentazione. Il controller incorporato arresta immediatamente la pompa. AVVERTENZA! Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere alimentato con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabella delle parti ordinabili) dotato di una spina (approvata a livello internazionale).
Page 24: Manutenzione
0BIstruzioni per l’uso 23BManutenzione Manutenzione Il TV 401/301 NSF non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Page 25: Smaltimento
TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 25/290...
Page 26 0BIstruzioni per l’uso 24BSmaltimento 26/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 27: Gebrauchsanleitung
TV 401/301 NSF User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 29 Allgemeine Informationen 29 Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 401/301 NSF Stoppen von Modell TV 401/301 NSF 37 Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 27/290...
Page 28: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. WARNUNG! Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 28/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 29: Allgemeine Informationen
Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. Modell TV 401/301 NSF ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuumanwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller, besteht. Das System eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch für die Förderung von Flüssigstoffen oder...
Page 30 Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben HINWEIS werden. 30/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 31: Lagerung
Speditionsdatum. Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 31/290...
Page 32: Vor Der Installation
Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefasst werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. Abbildung 1 Modell TV 401/301 NSF kann durch die Umgebung an sich keine Schäden HINWEIS erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.
Page 33: Installation
Temperatur: von +5 °C bis +35 °C (siehe Diagramm im Anhang "Technical Information") Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95 % (nicht kondensierend). Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 33/290...
Page 34 Anticorodal (σ =275 Mpa) ist eine Wandstärke von 5 mm angemessen. Der TV 401/301 NSF gehört zur zweiten Installationsklasse (Überdruck) die von VORSICHT! den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Der TV 401/301 NSF hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und die...
Page 35: Gebrauch
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 35/290...
Page 36: Einschaltung Und Gebrauch Von Modell Tv 401/301 Nsf
Software wieder freizugeben (siehe Abschnitt "RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information"). Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 401/301 NSF gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an: Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb.
Page 37: Stoppen Von Modell Tv 401/301 Nsf
Controller entwickeln, können zu schweren Schäden oder zum Tod führen. Vor den Wartungsarbeiten innerhalb der Einheit die Stromkabel trennen. Not-Aus Zur Stillsetzung von Mod. TV 401/301 NSF in Notsituationen ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 37/290...
Page 38: Wartung
1BGebrauchsanleitung 31BWartung Wartung Modell TV 401/301 NSF erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C...
Page 39: Entsorgung
Sammelsystem zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 39/290...
Page 40 1BGebrauchsanleitung 32BEntsorgung 40/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 41: Mode D'emploi
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales 43 Stockage Preparation pour l’installation 46 Installation Utilisation Mise en marche et utilisation du TV 401/301 NSF 50 Arrêt du TV 401/301 NSF Arrêt d'urgence Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale...
Page 42: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel! 42/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 43: Indications Générales
Le TV 401/301 NSF est totalement exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les applications exigeant un vide "propre". Le TV 401/301 NSF est en outre doté de connecteurs auxiliaires permettant d'alimenter un ventilateur supplémentaire, de commander la soupape de ventilation, de le piloter à...
Page 44: Cette Notice Utilise Les Signes Conventionnels Suivants
Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l’appareillage. Les notes contiennent des renseignements importants isolés du texte. NOTE 44/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 45: Stockage
à compter de la date d'expédition. En cas de dépassement du temps de stockage pour toutes raisons, la pompe ATTENTION! doit être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 45/290...
Page 46: Preparation Pour L'installation
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber le TV 401/301 NSF et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et conforme à...
Page 47: Installation
+5 °C à +35 °C (Cf. graphique dans "Technical Information") humidité relative: 0 – 95 % (non condensante) En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 47/290...
Page 48 être branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous tension ne soit accessible. S'assurer que l'isolation du dispositif branché au TV 401/301 NSF a une isolation appropriée même en condition de panne individuelle selon les termes de la norme EN 61010-1.
Page 49: Utilisation
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 49/290...
Page 50: Mise En Marche Et Utilisation Du Tv 401/301 Nsf
38BUtilisation Mise en marche et utilisation du TV 401/301 NSF Pour allumer le TV 401/301 NSF il suffit de fournir la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il actionne la pompe.
Page 51: Arrêt Du Tv 401/301 Nsf
2BMode d’emploi 38BUtilisation Arrêt du TV 401/301 NSF Pour arrêter le TV 401/301 NSF, il suffit de retirer la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la pompe. AVERTISSEMENT! Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être alimenté par un câble d’alimentation à...
Page 52: Entretien
2BMode d’emploi 39BEntretien Entretien Le TV 401/301 NSF n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Page 53: Mise Au Rebut
Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente, l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le processus de collecte et mise au rebut. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 53/290...
Page 54 2BMode d’emploi 40BMise au rebut 54/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 55: Manual De Istrucciones
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 56 Indications générales 57 Almacenamiento 59 Preparación para la instalación 60 Instalación Encendido y Uso del TV 401/301 NSF 64 Parada del TV 401/301 NSF 65 Parada de Emergencia 65 Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales...
Page 56: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 56/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 57: Información General
El TV 401/301 NSF es un sistema integrado compuesto por una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacío integrada por el controler correspondiente.
Page 58 Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato. Las notas contienen información importante extraída del texto. NOTA 58/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 59: Almacenamiento
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 59/290...
Page 60: Preparación Para La Instalación
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el TV 401/301 NSF y de no someterlo a golpes o vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.
Page 61: Instalación
Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. El TV 401/301 NSF ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 62 3BManual de istrucciones 45BInstalación El TV 401/301 NSF puede instalarse en cualquier posición. Fijar el TV 401/301 NSF en una posición estable conectando la brida de fijación de la bomba de turbina a una contrabrida fija con capacidad de resistir a un par de 2000 Nm en torno al propio eje.
Page 63: Uso
“Technical Information”). ¡ADVERTENCIA! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 63/290...
Page 64: Encendido Y Uso Del Tv 401/301 Nsf
(véase el apartado “RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION” en el anexo “Technical Information”). El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TV 401/301 NSF indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones operativas del sistema: encendido fijo: la bomba está...
Page 65: Parada Del Tv 401/301 Nsf
3BManual de istrucciones 47BEncendido y Uso del TV 401/301 NSF Parada del TV 401/301 NSF Para parar el TV 401/301 NSF nte con desenchufarlo de la corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la bomba. ¡ADVERTENCIA! Para seguridad del operador el controlador Turbo-V debe ser alimentado con cable de alimentación de 3 hilos (véase tabla de partes disponibles para...
Page 66: Mantenimiento
3BManual de istrucciones 48BMantenimiento Mantenimiento El TV 401/301 NSF no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Page 67: Eliminación
éste es la casa fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y eliminación del producto, después de haber efectuado una verificación de los términos y condiciones contractuales de venta. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 67/290...
Page 68 3BManual de istrucciones 49BEliminación 68/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 69: Manual De Istruções
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 70 Informações gerais Armazenagem Preparación para la instalación 74 Instalação Utilização Acendimento e Utilização do TV 401/301 NSF 78 Paragem do TV 401/301 NSF Paragem de Emergência Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 69/290...
Page 70: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 70/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 71: Informações Gerais
às normas nacionais específicas. O TV 401/301 NSF é um sistema integrado, constituído por uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, integrada no relativo controller.
Page 72 As mensagens de cuidado são visualizadas antes de proceder que, se não CUIDADO! observadas, poderiam causar danos à aparelhagem. As notas contém informações importantes estrapoladas pelo texto. NOTA 72/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 73: Armazenagem
Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Agilent. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 73/290...
Page 74: Preparação Para A Instalação
4BManual de Istruções 53BPreparação para a instalação Preparação para a instalação O TV 401/301 NSF é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
Page 75: Instalação
Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O TV 401/301 NSF deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 76 4BManual de Istruções 54BInstalação O TV 401/301 NSF pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o TV 401/301 NSF em posição estável ligando o flange de retenção da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de 2000 Nm ao redor do seu eixo.
Page 77: Utilização
(consultar o apêndice "Technical Information”). ATENÇAO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 77/290...
Page 78: Acendimento E Utilização Do Tv 401/301 Nsf
4BManual de Istruções 55BUtilização Acendimento e Utilização do TV 401/301 NSF Para ligar o TV 401/301 NSF é suficiente fornecer a tensão de alimentação. O controller incorporado reconhece automaticamente os sinais de interlock e de activação, e acciona a bomba.
Page 79: Paragem Do Tv 401/301 Nsf
4BManual de Istruções 55BUtilização Paragem do TV 401/301 NSF Para parar o TV 401/301 NSF é suficiente desligar a tensão de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba. ATENÇAO! Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser alimentado com um cabo de alimentação com 3 fios (ver a tabela das partes que podem ser...
Page 80: Manutenção
4BManual de Istruções 56BManutenção Manutenção O TV 401/301 NSF não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligálo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Page 81: Eliminação
Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a oportuna verificação dos termos e condições do contrato de venda. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 81/290...
Page 82 4BManual de Istruções 56BManutenção 82/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 83: Bedrijfshandleiding
TV 401/301 NSF User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 84 Algemene informatie 85 Opslag 87 Uitpakken Installatie Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 401/301 NSF Afzetten van de TV 401/301 NSF 93 Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 95 Vertaling van de originele instructies 83/290...
Page 84: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 84/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 85: Algemene Informatie
(max. 60000 toeren/min.) aangedreven door een asynchrone draaistroommotor. De TV 401/301 NSF is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen. De TV 401/301 NSF is bovendien van hulpconnectors voorzien...
Page 86 Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPMERKING 86/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 87: Opslag
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer VOORZICHTIG! naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 87/290...
Page 88: Uitpakken
Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming. Figuur 1 De TV 401/301 NSF kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de OPMERKING atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen.
Page 89: Installatie
“Technical Information”) relatieve vochtigheid: 0 – 95 % (niet condenserend). In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 89/290...
Page 90 Controleer of de inrichting verbonden met de TV 401/301 NSF goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1.
Page 91: Gebruik
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van giftige, brandbare of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 91/290...
Page 92: Inschakeling En Gebruik Van De Tv 401/301 Nsf
62BGebruik Inschakeling en gebruik van de TV 401/301 NSF Om de TV 401/301 NSF in te schakelen is het voldoende om deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van interlock-en startsignalen en start de pomp.
Page 93: Afzetten Van De Tv 401/301 Nsf
Maak de voedingskabel los alvorens onderhoudswerkzaamheden in het systeem uit te voeren. Noodstop Om de TV 401/301 NSF in noodomstandigheden te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 94: Onderhoud
5BBedrijfshandleiding 63BOnderhoud Onderhoud De TV 401/301 NSF is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd perso¬neel worden uitgevoerd. Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding WAARSCHUWING! loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Page 95: Afvalverwerking
TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 95/290...
Page 96 5BBedrijfshandleiding 64BAfvalverwerking 96/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 97: Istruktionsbog
TV 401/301 NSF User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Opbevaring Forberedelser før installation Installation Anvendelse Start og anvendelse af TV 401/301 NSF 106 Stop af TV 401/301 NSF Nødstop Vedligeholdelse 108 Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 97/290...
Page 98: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det ADVARSEL! strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 98/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 99: Generel Information
TV 401/301 NSF er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. TV 401/301 NSF har endvidere hjælpestik, der gør det muligt at forsyne ventilator, styre ventilationsventilen og fjernstyre den ved hjælp af en værtscomputer gennem seriel forbindelse (RS 232/RS...
Page 100 Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader. Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. BEMÆRK 100/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 101: Opbevaring
De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra forsendelsesdatoen. Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 101/290...
Page 102: Forberedelser Før Installation
Sørg for, at TV 401/301 NSF ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100 % og opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
Page 103: Installation
0 – 95 % (ikke kondenserende) Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Teknisk Information” for yderligere oplysninger. TV 401/301 NSF skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Technical Information”). TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 104 FORSIGTIG! overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne klasse. TV 401/301 NSF er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og til seriel kommunikation. Konnektorerne skal tilsluttes de eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt at opnå adgang til de spændingsførende dele.
Page 105: Anvendelse
ædelgasser (kvælstof eller argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Technical Information”) ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 105/290...
Page 106: Start Og Anvendelse Af Tv 401/301 Nsf
(se afsnit “RS 232 “COMMUNICATION DESCRIPTION” i bilaget “Technical Information”). Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TV 401/301 NSF’s fundament, angiver systemets funktion ved blink: konstant tændt: pumpen er i normal rotation;...
Page 107: Stop Af Tv 401/301 Nsf
6BIstruktionsbog 70BAnvendelse Stop af TV 401/301 NSF For at afbryde TV 401/301 NSF er det tilstrækkeligt at afbryde strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpen. ADVARSEL! For operatørens sikkerhed skal Turbo - V controller'en strømforsynes med et 3-trådet-fødekabel (se tabellen over de bestilbare stykker) fødekablet skal være udstyret med et stik (som skal være godkendt på...
Page 108: Vedligeholdelse
6BIstruktionsbog 71BVedligeholdelse Vedligeholdelse TV 401/301 NSF behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Page 109: Bortskaffelse
Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 109/290...
Page 110 6BIstruktionsbog 72BBortskaffelse 110/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 111: Bruksanvisning
TV 401/301 NSF User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 112 Allmän information Förvaring Förberedelser för installation Installation Användning Mise en marche et utilisation du TV 401/301 NSF 120 Att stänga av TV 401/301 NSF Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 111/290...
Page 112: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 112/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 113: Allmän Information
TV 401/301 NSF, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. TV 401/301 NSF har dessutom en hjälpkontakt som gör det möjlig att förse ström till en extra ventilator, att kontrollera avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp av en host-dator som är ansluten genom seriell förbindelse (RS 232/RS 485).
Page 114 Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå Detta visar på viktig information i texten. OBSERVERA 114/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 115: Förvaring
De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från leveransdatumet. Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka till OBSERVER! fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent -återförsäljaren för ytterligare information. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 115/290...
Page 116: Förberedelser För Installation
OBSERVER! pga. kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. Figur 1 Normal påverkan från omgivningen kan inte skada TV 401/301 NSF. Trots det är OBSERVERA det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den.
Page 117: Installation
0 – 95 % (utan kondens). I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. TV 401/301 NSF måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical information"). TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 118 åt någon spänningsförande del. Kontrollera att anordningen som är ansluten till TV 401/301 NSF har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010-1.
Page 119: Användning
(se bilagan “Technical information”). VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 119/290...
Page 120 7BBruksanvisning 78BAnvändning Start och användning av TV 401/301 NSF För att starta TV 401/301 NSF behöver du bara ansluta till ett eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen förreglings- och startsignaler, och startar pumpen. Pumpens första start sker i "Mjukstart"-läget som i slutet av inledningscykeln slås av automatiskt.
Page 121: Att Stänga Av Tv 401/301 Nsf
7BBruksanvisning 78BAnvändning Att stänga av TV 401/301 NSF Om du vill stänga av TV 401/301 NSF behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion. VARNING! För operatörens säkerhet bör Turbo-V systemet vara anslutet med en strömkabel med 3 stycken ledare (se tabellen över ordinerbara delar)
Page 122: Underhåll
7BBruksanvisning 79BUnderhåll Underhåll TV 401/301 NSF är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat...
Page 123: Bortskaffning
återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 123/290...
Page 124 7BBruksanvisning 80BBortskaffning 124/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 125: Instruksjon Manual
TV 401/301 NSF User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 127 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk 133 Mise en marche et utilisation du TV 401/301 NSF 134 Stoppe TV 401/301 NSF Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 125/290...
Page 126: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. ADVARSEL! For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye! 126/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 127: Generell Informasjon
TV 401/301 NSF systemet består av en turbo-molekulær pumpe for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg og en styreenhet. Systemet kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. Det er ikke beregnet for å...
Page 128 Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, FORSIKTIG! kan føre til at utstyret skades. Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. MERK 128/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 129: Lagring
Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra sendedato. Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger, må pumpen FORSIKTIG! returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent -forhandleren for informasjon. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 129/290...
Page 130: Klargjøre Til Installasjon
TV 401/301 NSF leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TV 401/301 NSF pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Page 131: Installasjon
+5 °C til +35 °C (se diagram i tillegget “Technical Information”) relativ fuktighet: 0 – 95 % (uten kondens) Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Technical Information” for detaljer. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 131/290...
Page 132 Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til TV 401/301 NSF har en egnet isolering, også under forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden.
Page 133: Bruk
(argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se “Technical Information). ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 133/290...
Page 134 8BInstruksjon Manual 86BBruk Starte og bruke TV 401/301 NSF TV 401/301 NSF startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter pumpen. Første igangsetting av pumpen skjer med MYK START, som etter denne første igangsettingssyklusen desaktiveres, slik at etterfølgende...
Page 135: Stoppe Tv 401/301 Nsf
Før man utfører vedlikeholdsoperasjoner inne i enheten, er det nødvendig å kople fra strømkabelen. Nødstopp Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe TV 401/301 NSF i en nødsituasjon. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 136: Vedlikehold
8BInstruksjon Manual 87BVedlikehold Vedlikehold TV 401/301 NSF er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Page 137: Eliminering
å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 137/290...
Page 138 8BInstruksjon Manual 88BEliminering 138/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 139: Ohjekäsikirja
TV 401/301 NSF User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 140 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 147 TV 401/301 NSFin käynnistys ja käyttö TV 401/301 NSFin pysäyttäminen Hätäpysäytys 149 Huolto 150 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 139/290...
Page 140: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 140/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 141: Yleisiä Tietoja
TV 401/301 NSF on kokonaisjärjestelmä, joka muodostuu valvojalla varustetusta turbomolekyylipumpusta korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai kaasukoostumuksia. Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen.
Page 142 Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen HUOMIO! vahingoittumiseen. Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa. HUOM 142/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 143: Varastointi
Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft- start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimituspäivästä. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. HUOMIO! Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 143/290...
Page 144: Valmistelut Asennusta Varten
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule HUOMIO! koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. Kuva 1 TV 401/301 NSF ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On HUOM kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen.
Page 145: Asennus
0 - 95 % (ei tiivistävä) Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “ Technical Information” -liitteestä. TV 401/301 NSF tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Technical Information” -liitteen kaaviota). TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 146 TV 401/301 NSF kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten mukaiseen HUOMIO! asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite tämän vuoksi sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan vaatimukset. TV 401/301 NSF laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä...
Page 147: Käyttö
(typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Technical Information” -liite). VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 147/290...
Page 148: Tv 401/301 Nsfin Käynnistys Ja Käyttö
“Soft Start” -toimintoa. Jotta käynnistys voitaisiin suorittaa uudelleen “Soft Start” -menetelmällä, tulee yllämainittu tapa aktivoida uudelleen ohjelmiston kautta (ks. kappale “RS 232 VIESTINNÄN KUVAUS” “Technical Information” -liitteessä). Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TV 401/301 NSF:n perustan paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;...
Page 149: Tv 401/301 Nsfin Pysäyttäminen
CE- normien vaatimukset täyttyvät. Valvojassa kehittyvät korkeajännitteet voivat aiheuttaa vakavia onnettomuuksia tai jopa kuoleman. Irrota sähkökaapeli ennen yksikön sisälle suoritettavien huoltotoimenpiteiden aloittamista. Hätäpysäytys TV 401/301 NSF on pysäytettävä hätätilassa irrottamalla sähkökaapeli ohjausyksiköstä. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 149/290...
Page 150: Huolto
9BOhjekäsikirja 95BHuolto Huolto TV 401/301 NSF ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.
Page 151: Hävittäminen
Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 151/290...
Page 152 9BOhjekäsikirja 96BHävittäminen 152/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 153: Felhasználói Kézikönyv
TV 401/301 NSF User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 154 Általános informáicó 155 Tárolás Előkészítés telepítésre 158 Telepítés Használat A TV 401/301 NSF bekapcsolása és használata A TV 401/301 NSF bekapcsolása 163 Vészleállítás 163 Karbantartás Megsemmisítés 165 Az eredeti utasítás fordítása 153/290...
Page 154: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
érintkezése vagy a forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 154/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 155: Általános Informáicó
általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt történtek. A TV 401/301 NSF egy integrált rendszer turbo-molekuláris szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a megfelelő vezérlőjével. A rendszer bármely típusú gázt vagy gázkeveréket képes szivattyúzni.
Page 156 A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! tartanak be, az a berendezés károsodását okozhatja. A megjegyzések fontos, a szövegből kivonatolt információkat tartalmaznak. MEGJEGYZÉS 156/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 157: Tárolás
Egy turbomolekuláris szivattyú raktározási ideje 10 hónap a szállítás dátumától számítva. Ha valamilyen okból a raktározási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni a FIGYELEM! gyárba. Információért forduljon a helyi Agilent képviselethez. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 157/290...
Page 158: Előkészítés Telepítésre
Mindig használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet. Ábra 1 A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a TV 401/301 NSF-et. MEGJEGYZÉS Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját.
Page 159: Telepítés
0 – 95 % (nem kondenzáló) Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért lásd „ Technical Information”. A TV 401/301 NSF-et elsődleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd „ Technical Information”). TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 159/290...
Page 160 Például 5 mm vastagság megfelel egy edzett korrózióellenes kamrának (σ =275 MPa). A TV 401/301 NSF a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához tartozik FIGYELEM! az EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. A TV 401/301 NSF-nek olyan bemeneti/kimeneti és soros kommunikációs csatlózásai vannak, amelyeket úgy kell külső...
Page 161: Használat
(lásd “Technical Information” függelék). VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, tűzveszélyes vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kövesse az egyes gázok kezelésére vonatkozó eljárásokat! Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében! TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 161/290...
Page 162: A Tv 401/301 Nsf Bekapcsolása És Használata
10BFelhasználói Kézikönyv 102BHasználat A TV 401/301 NSF bekapcsolása és használata A TV 401/301 NSF bekapcsolásához rá kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút. Az első szivattyúindítás „lágy indítás” módban történik. Amikor az indítási ciklus befejeződik, a „lágy indítás”...
Page 163: A Tv 401/301 Nsf Bekapcsolása
Mielőtt az egység belsejében karbantartási munkát végezne, kapcsolja le az egységről a tápfeszültség szolgáltató kábelt. Vészleállítás A TV 401/301 NSF vészhelyzetben való azonnali leállításához el kell távolítani a tápkábelt a hálózati dugaszból. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 164: Karbantartás
10BFelhasználói Kézikönyv 103BKarbantartás Karbantartás A TV 401/301 NSF nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Page 165: Megsemmisítés
A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési eljárás beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 165/290...
Page 166 10BFelhasználói Kézikönyv 104BMegsemmisítés 166/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 167: Podrecznik Instrukcji
Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Informacje ogolne 169 Magazynowanie 171 Przygotowanie do instalacji 172 Instalacja Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie TV 401/301 NSF Zatrzymanie systemu TV 401/301 NSF Zatrzymanie Awaryjne 177 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 167/290...
Page 168: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
ZAGROZENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi! 168/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 169: Informacje Ogolne
System TV 401/301 NSF jest zintegrowanym systemem składającym się z pompy turbomolekularnej dla zastosowań wysokich i ultra wysokich próżni jak i przez odpowiedni system sterowania tzw.
Page 170 Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu. PRZYPIS 170/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 171: Magazynowanie
10 miesięcy od daty wysyłki. Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy UWAGA! odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 171/290...
Page 172: Przygotowanie Do Instalacji
Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. Posta 1 System TV 401/301 NSF, nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go na PRZYPIS działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.
Page 173: Instalacja
“Informacje Techniczne”) względna wilgoć 0 -95% (bez opar). W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical Information” TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 173/290...
Page 174 UWAGA! przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te wymogi. TV 401/301 NSF posiada konektory wejściowe/ wyjściowe i dla komunikacji szeregowej które muszą być podłączone do obwodów zewnętrznych w sposób aby żadna część znajdująca się pod napięciem nie mogła być...
Page 175: Użytkowanie
(Azot Argon) dla zabezpieczenia łożysk (Patrz dodatek “Technical Information”). ZAGROZENIE! Kiedy pompa jest stosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów. Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 175/290...
Page 176: Włączenie I Użytkowanie Tv 401/301 Nsf
(patrz paragraf “RS 232/485 OPIS KOMUNIKACJI” w dodatku “Technical Information”). Zielona dioda led znajdująca się na panelu podstawy TV 401/301 NSF wskazuje z częstotliwością własnego migania, stan operacyjny systemu: zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie normalnych obrotów;...
Page 177: Zatrzymanie Systemu Tv 401/301 Nsf
śmierć. Przed przeprowadzeniem czynności konserwacyjnych wewnątrz tego urządzenia odłączyć kabel zasilający. Zatrzymanie Awaryjne Aby zatrzymać w stanie awaryjno-alarmowym TV 401/301 NSF należy wyciągnąć kabel zasilania ze sterownika. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 177/290...
Page 178: Konserwacja
11BPodrecznik Instrukcji 111BKonserwacja Konserwacja TV 401/301 NSF nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać...
Page 179: Przetworstwo Odpadow
. Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 179/290...
Page 180 11BPodrecznik Instrukcji 112BPrzetworstwo odpadow 180/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 181: Návod K Použití
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 182 Všeobecné informace 183 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 189 Zapnutí a použití vývěvy TV 401/301 NSF 190 Vypnutí vývěvy TV 401/301 NSF 191 Nouzové zastavení 191 Údržba 192 Likvidace Překlad originálního návodu 181/290...
Page 182: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence poškození zařízení a zranění obsluhy! 182/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 183: Všeobecné Informace
činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Vývěva TV 401/301 NSF je integrovaný systém s turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem pro takové aplikace, kde se požaduje vysoké a velmi vysoké vakuum. Zařízení může odčerpávat libovolný...
Page 184 činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení POZOR! mohly poškodit zařízení. Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu. POZNÁMKA 184/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 185: Uskladnění
10 měsíců ode dne doručení. Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 185/290...
Page 186: Příprava K Instalaci
Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. Postava 1 V normálním prostředí se vývěva TV 401/301 NSF nemůže poškodit. Přesto POZNÁMKA doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem.
Page 187: Instalace
0 -95 % (bez srážení) V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technical Information". Vývěva TV 401/301 se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz "Technical Information"). TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 187/290...
Page 188 12BNávod k Použití 117BInstalace Vývěvu TV 401/301 NSF lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TV 401/301 NSF upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese torzní moment 2000 Nm kolem své osy. Následující tabulka uvádí šrouby pro připevnění turbočerpadla, počet těchto šroubů...
Page 189: Použití
, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu “Technical Information”). NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 189/290...
Page 190: Zapnutí A Použití Vývěvy Tv 401/301 Nsf
12BNávod k Použití 118BPoužití Zapnutí a použití vývěvy TV 401/301 NSF Pro uvedení vývěvy TV 401/301 NSF do provozu je nutné přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu. První spuštění vývěvy je v režimu “pozvolného rozběhu”. Jakmile bude rozběhový...
Page 191: Vypnutí Vývěvy Tv 401/301 Nsf
12BNávod k Použití 118BPoužití Vypnutí vývěvy TV 401/301 NSF Pro vypnutí vývěvy TV 401/301 NSF je nutné vypnout síťové napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví. NEBEZPEČÍ! Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně...
Page 192: Údržba
12BNávod k Použití 119BÚdržba Údržba Vývěva TV 401/301 NSF nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Page 193: Likvidace
Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o kompletní likvidaci uvedeného výrobku. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 193/290...
Page 194 12BNávod k Použití 120BLikvidace 194/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 195: Návod Na Obsluhu
Návod na Obsluhu Bezpečnostné navod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 197 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 200 Inštalácia Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 401/301 NSF Vypnutie zariadenia TV 401/301 NSF 205 Núdzové zastavenie Údržba 206 Likvidácia Preklad originálneho návodu 195/290...
Page 196: Bezpečnostné Navod Pre Turbomolekulárne Vývevy
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení rotora, sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍ! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť dôsledne dodržované, aby nedošlo k poškodeniu zariadenia alebo k zraneniu obsluhy! 196/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 197: Všeobecné Informácie
úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej krajiny. Zariadenie TV 401/301 NSF predstavuje integrovaný systém s turbomolekulárnou vývevou pre vysoké a ultravysoké vákuové aplikácie s relevantným kontrolným modulom. Systém dokáže vyčerpať ľubovoľný typ plynu alebo zmesi plynov. Nie je vhodný na vyčerpávanie tekutín alebo pevných častí.
Page 198 Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie v texte. POZNÁMKA 198/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 199: Uchovávanie
10 mesiacov odo dňa dodania. Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu do POZOR! závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 199/290...
Page 200: Príprava Na Inštaláciu
Vždy používajte rukavice alebo inú vhodnú ochranu. Postava 1 Bežné vystavenie vplyvu prostredia nemôže zariadenie TV 401/301 NSF poškodiť. POZNÁMKA Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie prachom.
Page 201: Inštalácia
V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Zariadenie TV 401/301 NSF sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri „Technical Information“). TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 201/290...
Page 202 žiadna elektrická súčasť. Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k TV 401/301 NSF má adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa smernice EN 61010-1.
Page 203: Použitie
, Ar) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok “Technical Information”). NEBEZPEČÍ! Ak vývevu používate na odčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 203/290...
Page 204: Zapnutie A Použitie Zariadenia Tv 401/301 Nsf
13BNávod na Obsluhu 126BPoužitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 401/301 NSF Ak chcete zapnúť zariadenie TV 401/301 NSF, musíte ho pripojiť ku zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky rozpozná prítomnosť signálov spojenia a spustenia a zapne vývevu. Prvé spustenie vývevy prebehne v režime „Soft Start (Jemný štart)“.
Page 205: Vypnutie Zariadenia Tv 401/301 Nsf
13BNávod na Obsluhu 126BPoužitie Vypnutie zariadenia TV 401/301 NSF Ak chcete vypnúť zariadenie TV 401/301 NSF, musíte ho odpojiť od zdroja napájania. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví. NEBEZPEČÍ! Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné zariadenie napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré...
Page 206: Údržba
13BNávod na Obsluhu 127BÚdržba Údržba Zariadenie TV 401/301 NSF nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Page 207: Likvidácia
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 207/290...
Page 208 13BNávod na Obsluhu 128BLikvidácia 208/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 209: Priročnik Za Navodila
Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 210 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 401/301 NSF Izklop naprave TV 401/301 NSF 219 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 209/290...
Page 210: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 210/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 211: Splošne Informacije
TV 401/301 NSF je integriran sistem s turbomolekularno črpalko za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo s primernim krmilnikom. Sistem lahko črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje tekočine ali trdnih delcev.
Page 212 če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila. OPOMBA 212/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 213: Shranjevanje
Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od datum pošiljanja. Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko vrniti POZOR! v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 213/290...
Page 214: Priprava Za Montažo
14BPriročnik za Navodila 132BPriprava za montažo Priprava za montažo Naprava TV 401/301 NSF je dobavljena v posebni zaščitni embalaži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte.
Page 215: Montaža
0 -95 % (brez kondenza) V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". TV 401/301 NSF morate priključiti na primarno črpalko (glej "Technical Information"). TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 215/290...
Page 216 Naprava TV 401/301 NSF ima vhodne/izhodne in serijske priključke, ki jih je treba povezati na zunanja vezja tako, da noben električni del ni dosegljiv. Prepričajte se, da je izolacija naprave, priključene na TV 401/301 NSF, primerna tudi v primerno ene napake, kar je opisano v direktivi EN 61010-1.
Page 217: Uporaba
, Ar) za zaščito nosilcev (glej prilogo “Technical Information”). SVARILO! Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 217/290...
Page 218: Vklop In Uporaba Naprave Tv 401/301 Nsf
»Soft Start« načina je potreben ustrezen programski ukaz (glej odstavek »Opis komunikacije RS 232/485« v prilogi »Tehnične informacije«. Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči TV 401/301 NSF, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti;...
Page 219: Izklop Naprave Tv 401/301 Nsf
14BPriročnik za Navodila 134BUporaba Izklop naprave TV 401/301 NSF Za izklop naprave TV 401/301 NSF morate prekiniti dovod napetosti. Vgrajen kontroler takoj zaustavi črpalko. SVARILO! Za varnost operaterja mora biti krmilnik Turbo-V napajan preko triveznega napajalnega kabla (glej tabelo delov, ki se lahko naročijo) z vtikačem (potrjen na mednarodnem nivoju).
Page 220: Vzdrževanje
14BPriročnik za Navodila 135BVzdrževanje Vzdrževanje Naprave TV 401/301 NSF ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Page 221: Odlaganje Opadkov
Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 221/290...
Page 222 14BPriročnik za Navodila 136BOdlaganje opadkov 222/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 223: Instructions For Use
TV 401/301 NSF User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 224 General Information Storage Preparation for Installation 228 Installation Switching on and Use of TV 401/301 NSF 232 TV 401/301 Switching off Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions 223/290...
Page 224: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel WARNING! the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 224/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 225: General Information
The TV 401/301 NSF is an integrated system with a turbo-molecular pump for high and ultra-high vacuum applications with its relevant controller. The system can pumps any type of gas or gas compound. It is not suitable for pumping liquids or solid particles.
Page 226 The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment. The notes contain important information taken from the text. NOTE 226/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 227: Storage
If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 227/290...
Page 228: Preparation For Installation
15BInstructions for Use 140BPreparation for Installation Preparation for Installation The TV 401/301 NSF is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Page 229: Installation
In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The TV 401/301 NSF must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 230 Be sure that the insulation of the device connected to the TV 401/301 NSF is adequate even in the case of single fault as per directive EN 61010-1.
Page 231: Use
WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 231/290...
Page 232: Switching On And Use Of Tv 401/301 Nsf
15BInstructions for Use 142BUse Switching on and Use of TV 401/301 NSF To switch on the TV 401/301 NSF it is necessary to supply the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump.
Page 233: Tv 401/301 Switching Off
15BInstructions for Use 142BUse TV 401/301 Switching off To switch off the TV 401/301 NSF it is necessary to remove the mains. The integrated controller immediately stops the pump. WARNING! The Turbo-V controller must be powered with 3-wire power cord (see orderable parts table) and plug (internationally approved) for user's safety.
Page 234: Maintenance
15BInstructions for Use 143BMaintenance Maintenance The TV 401/301 NSF does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,...
Page 235: Disposal
The end user is therefore invited to contact the supplier of the device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E) 235/290...
Page 236 15BInstructions for Use 144BDisposal 236/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 237: Technical Information
TV 401/301 NSF User Manual Technical Information Description of the TV 401/301 NSF 239 Pump Description Controller Description 241 Technical Specification TV 401/301 NSF Outline Interconnections Input Power Connector 250 P3 - Spare P5 – External Fan Signal Description HOW to Connect the Open-Collector Inputs...
Page 238 TV 401/301 NSF Controller Installation 278 Connection of the Fore Vacuum Pump Connection of the Electrical Connector 280 Pump Used with Corrosive Gases Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 238/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 239: Description Of The Tv 401/301 Nsf
16BTechnical Information 145BDescription of the TV 401/301 NSF Description of the TV 401/301 NSF The TV 401/301 NSF pumping system consists of a pump with a dedicated controller. The TV 401/301 NSF pump model is 969-8928 (see the following figure).
Page 240: Pump Description
The connection of the forevacuum on the side of the pump is a barb fitting of 1/2 inch (outer diameter). Figure 4 240/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 241: Controller Description
AC mains supply into a 3-phase output which is required to power the pump. The controller can be operated in two ways: via digital/analog I/O connector via serial RS 232 or 485 connector TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 241/290...
Page 242: Technical Specification
+ 10 ° C to + 30 ° C pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 Psi) Bakeout temperature 80 °C at inlet flange max. Noise level ≤ 45 dB (A) at 1 meter 242/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 243 * (According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after the completion of test dome bake-out, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the recommended pre-vacuum pump). TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 243/290...
Page 244 16BTechnical Information 146BTechnical Specification When the TV 401/301 NSF has been stored at a temperature less than 5°C, wait NOTE until the system has reached the above mentioned temperature. 244/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 245: Tv 401/301 Nsf Outline
16BTechnical Information 147BTV 401/301 NSF Outline TV 401/301 NSF Outline The following figure shows the TV 401/301 NSF outlines (dimensions are in mm [inches]). Figure 5 TV 401/301 NSF outline TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 245/290...
Page 246 16BTechnical Information 147BTV 401/301 NSF Outline Figure 6 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (Main port) Figure 7 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (Side port) 246/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 247 16BTechnical Information 147BTV 401/301 NSF Outline Figure 8 Graph of compression ratio vs foreline pressure (Main Port) Figure 9 Graph of compression ratio vs foreline pressure (Side Port) TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 247/290...
Page 248 16BTechnical Information 147BTV 401/301 NSF Outline Figure 10 Graph of nitrogen gas load 248/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 249: Interconnections
16BTechnical Information 148BInterconnections Interconnections The following figure shows the TV 401/301 NSF interconnections. Figure 11 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 249/290...
Page 250: Input Power Connector
The following figure shows the input power connector. Figure 12 P3 - Spare Figure 13 This is a dedicated 24 Vdc spare connector; note that it can be also controlled by means of the serial connection. 250/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 251: P5 - External Fan
16BTechnical Information 148BInterconnections P5 – External Fan Figure 14 This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the optional external fan. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 251/290...
Page 252 SPEED SETTING (-) SOFT START (+) SOFT START (-) +24 Vdc RELAY CONTACT: NORMALLY OPEN PROGRAMMABLE SET POINT RELAY CONTACT: NORMALLY OPEN FAULT OUTPUT PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (+) GROUND PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (-) 252/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 253: Signal Description
750 Hz to 1010 Hz (see the following diagram): Figure 16 If any signal isn't applied (no connection) the pump speed is set to "High Speed" (1010 Hz max and settable by window "120"). TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 253/290...
Page 254 (in % of the threshold value) to avoid bouncing. The open collector output needs at least an external pull-up resistor (10 kΩ for NOTE example) between output and pin 9 (+24 Vdc) in order to "sec" a voltage switch. 254/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 255 RELAY CONTACT this output signal is the repetition of the "PROGRAMMABLE SET POINT" output signal. When the "PROGRAMMABLE SET POINT" signal is at low level, the relay is excited and it closes the contact between pin 10 and pin 12. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 255/290...
Page 256 When no external input-output device is available this connector must be closed with the supplied mating connector that short-circuits the START and INTERLOCK inputs with the GROUND input (see the following figure). Figure 18 256/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 257: How To Connect The Open-Collector Inputs Of The Controller
Controller Here below there are examples of typical connections of the input of TV 401/301 NSF to an external system. Two cases are considered: the customer supplies the 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc.
Page 258 16BTechnical Information 148BInterconnections Figure 20 Case 2 with relay utilisation 258/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 259 16BTechnical Information 148BInterconnections Figure 21 Case 2 with transistor utilization TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 259/290...
Page 260: How To Connect The Outputs Of The Controller
The figure example refers to the programmable set point signal on pin 11. Using internal 24 Vdc supply: Figure 22 Using external 24 Vdc supply: Figure 23 260/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 261: J6 - Serial
TX (RS232) RX (RS232) A+ (RS422 Optional) A + (RS485) B - (RS422 Optional) B - (RS485) RESERVED A serial communication kit with a serial cable and the Navigation software is available (optional). TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 261/290...
Page 262: Rs 232/Rs 485 Communication Description
(MASTER) send a MESSAGE + CRC to the controller (SLAVE); the controller answer with an ANSWER + CRC to the host. The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> where: 262/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 263 The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE type. When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 263/290...
Page 264 The specified window is Read Only or temporarily disabled (for example Win Disabled 1 byte (0x35) you can’t write the Soft Start when the Pump is running) 264/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 265 149BRS 232/RS 485 Communication Description Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 265/290...
Page 266 149BRS 232/RS 485 Communication Description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 266/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 267 Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: READ SERIAL TYPE Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR WINDOW DATA TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 267/290...
Page 268: Window-Meanings
"high active level active" or "low level 1 = low level active" active (default = 0) Set point 0 to 100 hysteresis (default = 2) (in % of threshold) 268/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 269 Maximum rotational 750 to 1010 frequency in Hz (active only (default = 1010) in Stop condition) Set vent valve on/off On = 1 (on = closed) Off = 0 (default = 1) TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 269/290...
Page 270 Actual rotation speed in Hz 0 to 1010 (see note 3) Cycle time in minutes 999999 (zeroed by the reset command) Cycle number (zeroed by the 9999 reset command) 270/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 271 2 On command means that the vent valve is opened or closed by means of window n. 122. 3 These commands remove the pump motor supply for a short time. If they are used continuously, they can cause the pump stopping. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 271/290...
Page 272 16BTechnical Information 149BRS 232/RS 485 Communication Description TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. AUX FAIL POWER FAIL Figure 25 Window N. 206 Bit Description 272/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 273: Water Cooling Kit Installation
The two model part numbers are: 969-9337 (metallic model), and 969- 9347 (plastic model). Figure 26 Model 969-9337 Figure 27 Model 969-9347 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 273/290...
Page 274 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. The metallic model is assembled as shown in the figure. Figure 29 274/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 275 200 l/h. The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance NOTE is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is suggested. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 275/290...
Page 276: Purge Valve Installation
Figure 30 and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the following figure. Figure 31 276/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 277: Serial Cable Installation
16BTechnical Information 152BSerial Cable Installation Serial Cable Installation The supplied serial cable must be installed when the TV 401/301 NSF or the optional vent valve has to be controlled by means of a remote computer. The cable is installed fixing the 9 pin D-type connector into the P2 serial connector as shown in the following figure.
Page 278: Tv 401/301 Nsf Controller Installation
Turn the pump again; Plug the line cord and connect the pump cable to the pump; Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump. Figure 33 278/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 279: Connection Of The Fore Vacuum Pump
The TV 401/301 NSF pump is characterized by its high compression ratio also NOTE for oil vapors. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil backstreaming.
Page 280: Connection Of The Electrical Connector
If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60° C, the sensor automatically cuts out the power supply. 280/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 281: Pump Used With Corrosive Gases
Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures. If the vent valve can't be kept opened, the backing pump should be left operating. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 281/290...
Page 282 16BTechnical Information 156BPump Used with Corrosive Gases Figure 35 Purge layout Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump 282/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 283: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Agilent's specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 283/290...
Page 284: Accessories And Spare Parts
Purge valve 7/16-M12 20 SCCM 969-9242 Foreline flange KF25 1/4 gas 969-9140 Foreline flange KF16 1/4 gas 969-9139 Forepump DS 302, with 1 ph., 949-9325 universal motor Forepump SH 100, 220/120 V SH1001UNIV 284/290 TV 401/301 NSF User Manual / 87-900-963-01 (E)
Page 290 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

Ce manuel est également adapté pour:

969-8928

Agilent Technologies TV 401/301 NSF Mode D'emploi

Table des Matières

Deutsch

Français

Español

Português

Dutch

Dansk

Svenska

Norsk

Suomi

Magyar

Polski

Čeština

Slovenčina

Slovenščina

English

Les langues disponibles

Liens rapides

Chapitres

Manuels Connexes pour Agilent Technologies TV 401/301 NSF

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies TV 401/301 NSF