Page 1 TV 1001 Navigator Pump models: 9698931, 9698932, 9698934, 9698946, 9698933, 9698947 Kit models: 9698838, 9698839, 9698841, 9698844, 9698840, 9698845 Controller models: 9698978 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití...
Page 2 Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2015 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
Page 3 TV 1001 Navigator TV 1001 Navigator TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L) 3/310...
Page 4 TV 1001 Navigator 4/310 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L)
Page 5 Contents Contents Istruzioni per l’uso 15 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento 19 Preparazione per l’installazione 20 Installazione Fissaggio della pompa Manutenzione 27 Smaltimento Gebrauchsanleitung 29 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 34 Installation 35 Befestigung der Pumpe 36 Gebrauch...
Page 6 Contents Entsorgung 42 Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Preparation pour l’installation Installation 49 Fixation de la pompe 50 Utilisation 52 Entretien Mise au rebut Manual de istrucciones 57 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 59 Almacenamiento Preparación para la instalación 62...
Page 7 Contents Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 72 Informações gerais 73 Armazenagem 75 Preparação para a instalação 76 Instalação 77 Fixação da bomba Utilização Manutenção Eliminação 84 Bedrijfshandleiding 85 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 86 Algemene informatie Opslag Uitpakken 90 Installatie 91 Bevestiging van de pomp...
Page 8 Contents Generel information 101 Opbevaring 103 Forberedelser før installation 104 Installation 105 Fastgørelse af pumpe Anvendelse 108 Nødstop Vedligeholdelse 111 Bortskaffelse Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 114 Allmän information 115 Förvaring Förberedelser för installation 118 Installation 119 Fastsättning av pump Användning 122 Underhåll Bortskaffning...
Page 9 Contents Lagring Klargjøre til installasjon 132 Installasjon 133 Festing av pumpen 134 Bruk Vedlikehold 139 Eliminering 140 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja Varastointi 145 Valmistelut asennusta varten146 Asennus Pumpun kinnitys 148 Käyttö Huolto Hävittäminen Felhasználói Kézikönyv 155 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 156 Általános informáicó...
Page 10 Contents Telepítés A szivattyú rögzítése 162 Használat 164 Karbantartás Megsemmisítés 168 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Informacje ogolne Magazynowanie 173 Przygotowanie do instalacji 174 Instalacja Mocowanie pompy 176 Użytkowanie Konserwacja Przetworstwo odpadow 182 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 184 Všeobecné...
Page 11 Contents Použití Údržba Likvidace Návod na Obsluhu 197 Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy Použitie Údržba Likvidácia Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 212 Splošne informacije 213 Shranjevanje Priprava za montažo 216 Montaža Pritrjevanje črpalke 218 Uporaba...
Page 12 Contents Odlaganje opadkov 224 Instructions for Use 225 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 226 General Information 227 Storage Preparation for installation 230 Installation 231 Pump fixing 232 Maintenance Disposal Technical Information 239 Description of the TV 1001 Navigator 241 Technical Specification 248 TV 1001 Navigator Outline Interconnections RS 232/RS 485 Communication Description 266...
Page 13 Contents Vibration Isolator Installation 290 Purge Valve Installation 291 Serial Cable Installation 292 TV 1001 Controller Installation Pump Used with Corrosive Gases 301 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 304 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L) 13/310...
Page 14 Contents 14/310 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L)
Page 15 TV 1001 Navigator User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 20 Installazione Fissaggio della pompa 22 Uso 24 Accensione ed Uso del TV 1001 Navigator 25 Arresto del TV 1001 Navigator Arresto di Emergenza 26 Manutenzione Smaltimento...
Page 16 Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Page 17 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Page 18 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
Page 19 Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità del-le pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni:  durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: ...
Page 20 Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione Il TV 1001 Navigator viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TV 1001 Navigator e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni.
Page 21 Istruzioni per l’uso Installazione Installazione Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: ...
Page 22 Istruzioni per l’uso Fissaggio della pompa Fissaggio della pompa AVVERTENZA! Se si verifica un danno al rotore, la connessione tra la pompa ed il sistema potrebbe essere sottoposta ad una coppia significativa. Se la connessione non è sufficiente per resistere alla suddetta coppia, la pompa potrebbe staccarsi dal sistema o il motore potrebbe staccarsi dall’involucro della pompa.
Page 23 Istruzioni per l’uso Fissaggio della pompa La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica Agilent. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information". Il TV 1001 Navigator può essere installato in qualsiasi posizione. Il TV 1001 Navigator non può...
Page 24 Istruzioni per l’uso In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C.
Page 25 Istruzioni per l’uso Accensione ed Uso del TV 1001 Navigator Per accendere il TV 1001 Navigator è sufficiente fornire la tensione di alimentazione. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa. Il modo “Soft Start”...
Page 26 Istruzioni per l’uso Arresto del TV 1001 Navigator Per arrestare il TV 1001 Navigator è sufficiente togliere la tensione di alimentazione. Il controller incorporato arresta immediatamente la pompa. AVVERTENZA! Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere alimentato con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabella delle parti ordinabili) dotato di una spina (approvata a livello internazionale).
Page 27 Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il TV 1001 Navigator non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Page 28 Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Page 29 TV 1001 Navigator User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeine Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 1001 Navigator Stoppen von Modell TV 1001 Navigator Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 29/310...
Page 30 Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Page 31 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Page 32 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten.
Page 33 Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten:  Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden:  Temperatur: von –20 °C bis 70 °C ...
Page 34 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Modell TV 1001 Navigator wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TV 1001 Navigator ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.
Page 35 Gebrauchsanleitung Installation Installation Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck ...
Page 36 Gebrauchsanleitung Befestigung der Pumpe Befestigung der Pumpe WARNUNG! Wenn ein Läuferschaden auftritt, könnte die Verbindung zwischen der Pumpe und dem System mit einem erheblichen Drehmoment belastet werden. Setzt die Verbindung diesem Drehmoment keinen ausreichenden Widerstand entgegen, besteht die Möglichkeit, dass sich die Pumpe vom System oder der Motor vom Pumpengehäuse löst.
Page 37 Gebrauchsanleitung Befestigung der Pumpe Turbopumpen mit ConFlat Eingangsflansch sind mit dem speziellen Agilent Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell TV 1001 Navigator kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell TV 1001 Navigator kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden. HINWEIS Der TV 1001 Navigator gehört zur zweiten Installationsklasse (Überdruck) die VORSICHT!
Page 38 Gebrauchsanleitung Gebrauch Gebrauch In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Tempera-tur am Eingangsflansch 120 °C nicht überschreiten. WARNUNG! Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlussflansch verschlossen ist.
Page 39 Gebrauchsanleitung Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 1001 Navigator Zur Einschaltung von Modell TV 1001 ist es mit der erforderlichen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock- und Anlaufsignalen und startet die Pumpe. Der Modus “Soft Start” sieht vor, die Pumpe nach einem langen Stillstand einzuschalten.
Page 40 Gebrauchsanleitung Gebrauch Stoppen von Modell TV 1001 Navigator Zum Stoppen von Modell TV 1001 Navigator ist die Versorgungsspannung abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen Pumpenstopp. WARNUNG! Für die Sicherheit des Bedieners muss der Controller Turbo-V mit einem dreidrähtigen Stromkabel (siehe Tabelle der Bestellteile) versorgt werden, das mit einem (auf internationaler Ebene genehmigten) Stecker ausgestattet ist.
Page 41 Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Modell TV 1001 Navigator erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.
Page 42 Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Page 43 TV 1001 Navigator User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Preparation pour l’installation Installation Fixation de la pompe Utilisation Mise en marche et utilisation du TV 1001 Navigator Arrêt du TV 1001 Navigator 54 Arrêt d'urgence Entretien Mise au rebut 56...
Page 44 Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Page 45 Mode d’emploi Indications générales Indications générales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
Page 46 Mode d’emploi Indications générales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures qui, si ATTENTION! elles ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l’appareillage. AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions.
Page 47 Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes Turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes :  Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: ...
Page 48 Mode d’emploi Preparation pour l’installation Preparation pour l’installation Le TV 1001 Navigator est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
Page 49 Mode d’emploi Installation Installation Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: ...
Page 50 Mode d’emploi Fixation de la pompe Fixation de la pompe AVERTISSEMENT! En cas d'endommagement du rotor, la connexion pompe - système pourrait être soumise à un couple très important. Si la connexion n'est pas en mesure de résister au dit couple, la pompe peut se détacher du système ou le moteur de l'enveloppe de la pompe.
Page 51 Mode d’emploi Fixation de la pompe La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Agilent prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice "Technical Information". Le TV 1001 Navigator peut être installée dans n'importe quelle position.
Page 52 Mode d’emploi Utilisation Utilisation Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles. Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 120 °C.
Page 53 Mode d’emploi Utilisation Mise en marche et utilisation du TV 1001 Navigator Pour allumer le TV 1001 Navigator il suffit de fournir la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il actionne la pompe.
Page 54 Mode d’emploi Utilisation Arrêt du TV 1001 Navigator Pour arrêter le TV 1001 Navigator, il suffit de retirer la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la pompe. AVERTISSEMENT! Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être alimenté par un câble d’alimentation à...
Page 55 Mode d’emploi Entretien Entretien Le TV 1001 Navigator n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Page 56 Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
Page 57 TV 1001 Navigator User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general Almacenamiento Preparación para la instalación 62 Instalación Fijación de la bomba Uso 66 Encendido y Uso del TV 1001 Navigator Parada del TV 1001 Navigator Parada de Emergencia 68 Mantenimiento Eliminación...
Page 58 Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Page 59 Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Page 60 Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza las convenciones siguientes: Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, al ¡ATENCIÓN! no respetarse, podrían provocar daños al equipo. ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales.
Page 61 Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones:  durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: ...
Page 62 Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación El TV 1001 Navigator se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
Page 63 Manual de istrucciones Instalación Instalación No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes: presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica ...
Page 64 Manual de istrucciones Fijación de la bomba Fijación de la bomba ¡ADVERTENCIA! En caso de dañarse el rotor, la conexión entre la bomba y el sistema puede ser sometida a un par de fuerza excesivo. En estas circunstancias, la conexión podría no resistir a dicho par de fuerza y, como consecuencia, la bomba podría separarse del sistema o el motor podría separarse respecto del contenedor de la bomba.
Page 65 Manual de istrucciones Fijación de la bomba La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos específicos Agilent. Para más detalles véase el anexo “Technical Information”. El TV 1001 Navigator puede instalarse en cualquier posición. El TV 1001 Navigator no puede fijarse utilizando su base.
Page 66 Manual de istrucciones En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 120 °C. ¡ADVERTENCIA! No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está...
Page 67 Manual de istrucciones Encendido y Uso del TV 1001 Navigator Para encender el TV 1001 Navigator basta con suministrar la tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y de arranque y activa la bomba. La modalidad “Soft Start”...
Page 68 Manual de istrucciones Parada del TV 1001 Navigator Para parar el TV 1001 Navigator nte con desenchufarlo de la corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la bomba. ¡ADVERTENCIA! Para seguridad del operador el controlador Turbo-V debe ser alimentado con cable de alimentación de 3 hilos (véase tabla de partes disponibles para pedido) provisto de un enchufe (aprobado internacionalmente).
Page 69 Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El TV 1001 Navigator no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Page 70 Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Page 71 TV 1001 Navigator User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba 78 Utilização Acendimento e Utilização do TV 1001 Navigator Paragem do TV 1001 Navigator 82 Paragem de Emergência Manutenção Eliminação...
Page 72 Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada, por exemplo, por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação poderia ser liberada.
Page 73 Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
Page 74 Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: As mensagens de cuidado são visualizadas antes de proceder que, se não CUIDADO! observadas, poderiam causar danos à aparelhagem. ATENÇAO! As mensagens de atenção atraem a atenção do operador num procedimento ou uma prática específica que, se não executada de modo correto, poderiam provocar graves lesões pessoais.
Page 75 Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições:  durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: ...
Page 76 Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O TV 1001 Navigator é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
Page 77 Manual de Istruções Instalação Instalação Instale este equipamento somente em locais fechados e, para todos os efeitos, não utilize o equipamento em ambientes expostos aos efeitos deletérios do tempo (chuva, gelo, neve), em ambientes sujeitos a pó, gases agressivos, ambientes explosivos ou com alto risco de incêndio. Durante o funcionamento é...
Page 78 Manual de Istruções Fixação da bomba Fixação da bomba ATENÇAO! Em caso de dano no rotor, a ligação entre a bomba e o sistema corre o risco de sofrer um torque muito grande. Se a ligação não resistir de maneira suficiente ao referido torque, a bomba pode soltar-se do sistema ou o motor pode soltar-se do invólucro da bomba.
Page 79 Manual de Istruções Fixação da bomba A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada na câmara de vácuo através de parafusos específicos da mecânica Agilent. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O TV 1001 Navigator pode ser instalado em qualquer posição. O TV 1001 não pode ser fixado através da sua base.
Page 80 Manual de Istruções Utilização Utilização Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura na flange de entrada não deve ser superior a 120 °C.
Page 81 Manual de Istruções Utilização Acendimento e Utilização do TV 1001 Navigator Para ligar o TV 1001 é suficiente fornecer a tensão de alimentação. O controller incorporado reconhece automaticamente os sinais de interlock e de activação, e acciona a bomba. O modo “Soft Start” é previsto para ligar a bomba após um longo período de paragem.
Page 82 Manual de Istruções Utilização Paragem do TV 1001 Navigator Para parar o TV 1001 Navigator é suficiente desligar a tensão de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba. ATENÇAO! Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser alimentado com um cabo de alimentação com 3 fios (ver a tabela das partes que podem ser encomendadas) equipado de uma tomada (aprovada a nível internacional).
Page 83 Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TV 1001 Navigator não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até...
Page 84 Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Page 85 TV 1001 Navigator User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Opslag 89 Uitpakken Installatie Bevestiging van de pomp Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 1001 Navigator 95 Afzetten van de TV 1001 Navigator Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 98 Vertaling van de originele instructies 85/310...
Page 86 Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Page 87 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
Page 88 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, VOORZICHTIG! schade aan apparatuur kunnen veroorzaken. WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
Page 89 Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen:  tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan: ...
Page 90 Bedrijfshandleiding Uitpakken Uitpakken De TV 1001 Navigator wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het trans¬port veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 1001 Navigator niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Page 91 Bedrijfshandleiding Installatie Installatie De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar. Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn ...
Page 92 Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp Bevestiging van de pomp WAARSCHUWING! Als schade aan de rotor optreedt, zou de verbinding tussen de pomp en het systeem aan een behoorlijk groot koppel onderhevig kunnen zijn. Als de verbinding niet voldoende is om dit koppel te weerstaan, zou de pomp van het systeem of de motor van het pomplichaam los kunnen raken.
Page 93 Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale mechanische bevestigingselementen van Agilent. Zie voor meer informatie de bijlage "Technical information". De TV 1001 Navigator kan in alle standen worden geïnstalleerd. De TV1001 Navigator kan niet met behulp van zijn eigen basis worden OPMERKING bevestigd.
Page 94 Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120 °C bedragen. WAARSCHUWING! Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.
Page 95 Bedrijfshandleiding Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 1001 Navigator Om de TV1001 Navigator in te schakelen is het voldoende om deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en start de pomp. De “Soft Start”...
Page 96 Bedrijfshandleiding Gebruik Afzetten van de TV 1001 Navigator Hiervoor behoeft slechts de stroomvoorziening te worden onderbroken. De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de pomp. WAARSCHUWING! Voor de veiligheid van de bediener dient de controller Turbo-V gevoed te worden met een driedradige voedingskabel (zie de tabel met de bestanddelen die u kunt bestellen) voorzien van een stekker (met internationale goedkeuring).
Page 97 Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De TV 1001 Navigator is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Page 98 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Page 99 TV 1001 Navigator User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Opbevaring Forberedelser før installation Installation Fastgørelse af pumpe Anvendelse Start og anvendelse af TV 1001 Navigator 109 Stop af TV 1001 Navigator 110 Nødstop Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 99/310...
Page 100 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Page 101 Istruktionsbog Generel information Generel information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
Page 102 Istruktionsbog Generel information I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke FORSIGTIG! at risikere maskinskader. ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne.
Page 103 Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Agilent:  Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: ...
Page 104 Istruktionsbog Forberedelser før installation Forberedelser før installation TV 1001 Navigator leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TV 1001 Navigator ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen.
Page 105 Istruktionsbog Installation Installation Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift:  max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk ...
Page 106 Istruktionsbog Fastgørelse af pumpe Fastgørelse af pumpe ADVARSEL! Hvis rotoren beskadiges, kan forbindelsen mellem pumpen og systemet blive udsat for et kraftigt drejemoment. Hvis forbindelsen ikke er tilstrækkelig til at modstå dette drejemoment, kan pumpen rive sig løs fra systemet eller motoren kan rive sig løs fra pumpens beklædning.
Page 107 Agilent monteringsudstyret. I bilaget “Technical Information” findes yderligere detaljer. TV 1001 Navigator kan installeres i en hvilken som helst position. Navigator TV 1001 kan ikke fastgøres i fundamentet. BEMÆRK TV 1001 Navigator hører til den anden installationsklasse (eller VOORZICHTIG! overspændingsklasse) jf.
Page 108 Istruktionsbog Anvendelse Anvendelse Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens temperatur ikke overstige 120 °C. ADVARSEL! Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af lukkeflangen.
Page 109 Istruktionsbog Anvendelse Start og anvendelse af TV 1001 Navigator For at starte TV 1001 er det tilstrækkeligt at tilslutte et forsyningsstik. Den indbyggede styreenhed genkender blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen. “Soft Start” moden bruges for at tænde pumpen efter lang stilstand. For at aktivere SOFT START metoden skal ovennævnte måde programmeres ved hjælp af software (se afsnit “RS 232/485 “COMMUNICATION DESCRIPTION”...
Page 110 Istruktionsbog Nødstop Stop af TV 1001 Navigator For at afbryde TV 1001 Navigator er det tilstrækkeligt at afbryde strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpen. ADVARSEL! For operatørens sikkerhed skal Turbo - V controller'en strømforsynes med et 3-trådet-fødekabel (se tabellen over de bestilbare stykker) fødekablet skal være udstyret med et stik (som skal være godkendt på...
Page 111 Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse TV 1001 Navigator behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Page 112 Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...
Page 113 TV 1001 Navigator User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 114 Allmän information Förvaring Förberedelser för installation Installation Fastsättning av pump Användning Start och användning av TV 1001 Navigator Att stänga av TV 1001 Navigator 124 Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 113/310...
Page 114 Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Page 115 Bruksanvisning Allmän information Allmän information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Page 116 Bruksanvisning Allmän information I bruksanvisningen används följande standardrubriker: Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt OBSERVER! för att inte risk för maskinskada skall uppstå VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador.
Page 117 Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande  omgivningsförhållanden respekteras: Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.  Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). ...
Page 118 Bruksanvisning Förberedelser för installation Förberedelser för installation TV 1001 Navigator levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TV 1001 Navigator inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna.
Page 119 Bruksanvisning Installation Installation Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck) ...
Page 120 Bruksanvisning Fastsättning av pump Fastsättning av pump VARNING! I händelse av rotorfel kan anslutningen mellan pumpen och systemet utsättas för ett högt vridmoment. Om anslutningen inte tål ovannämnda vridmoment kan pumpen lossna från systemet eller motorn kan lossna från pumpens hölje. I detta fall kan metallföremål slungas iväg från pumpen eller systemet och förorsaka allvarliga skador eller dödsfall och/eller skador på...
Page 121 Bruksanvisning Fastsättning av pump Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till vakuumkammaren med hjälp av Agilent fästdelar. För detaljer hänvisas till bilaga ”Technical Information”. TV 1001 Navigator kan installeras i valfri position. TV 1001 Navigator-systemet kan inte fastspännas med sin egen bas. OBSERVERA TV 1001 Navigator tillhör den andra installationsklassen (eller OBSERVER!
Page 122 Bruksanvisning Användning Användning Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens bruksanvisning. Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120 °C. VARNING! Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad till vakuumkammaren eller är blockerad på...
Page 123 Bruksanvisning Användning Start och användning av TV 1001 Navigator För att starta TV 1001 behöver du bara ansluta till ett eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen förreglings- och startsignaler, och startar pumpen. Läget “Sof Start” har förutsätts för att tända pumpen efter ett längre stillastående.
Page 124 Bruksanvisning Användning Att stänga av TV 1001 Navigator Om du vill stänga av TV 1001 Navigator behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion. VARNING! För operatörens säkerhet bör Turbo-V systemet vara anslutet med en strömkabel med 3 stycken ledare (se tabellen över ordinerbara delar) tillsammans med kontakt (godkänd på...
Page 125 Bruksanvisning Underhåll Underhåll TV 1001 Navigator är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad som kan ersätta pumpen med en renoverad pump.
Page 126 Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Page 127 TV 1001 Navigator User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 128 Lagring 131 Klargjøre til installasjon Installasjon Festing av pumpen Bruk Starte og bruke TV 1001 Navigator Stoppe TV 1001 Navigator Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 127/310...
Page 128 Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper De turbomolekylære pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Page 129 Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
Page 130 Instruksjon Manual Generell informasjon Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, FORSIKTIG! kan føre til at utstyret skades. ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader.
Page 131 Instruksjon Manual Lagring Lagring For å garantere optimal drift og pålitelighet for Agilent turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende  miljøforhold overstiges: Temperatur: fra –20 °C til 70 °C.  Relativ fuktighet: fra 0 til 95 % (uten kondensering).
Page 132 Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon TV 1001 Navigator leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TV 1001 Navigator pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Page 133 Instruksjon Manual Installasjon Installasjon Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må følgende forhold respekteres: maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk) ...
Page 134 Instruksjon Manual Festing av pumpen Festing av pumpen ADVARSEL! Dersom rotoren ødelegges, kan tilkoplingen mellom pumpen og systemet utsettes for et betydelig dreiemoment. Dersom tilkoplingen ikke er sterk nok til å tåle dette dreiemomentet, kan pumpen løsne fra systemet eller motoren kan løsne fra pumpens hylster.
Page 135 Instruksjon Manual Festing av pumpen Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra Agilent. For detaljer henvises det til “Technical Information”. TV 1001 Navigator kan monteres i en valgfri stilling. TV 1001 Navigator må ikke festes gjennom fundamentet. MERK TV 1001 Navigator hører til installasjonsklasse (eller overspenningsklasse) FORSIKTIG!
Page 136 Instruksjon Manual Bruk Bruk Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 120 °C. ADVARSEL! Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.
Page 137 Instruksjon Manual Bruk Starte og bruke TV 1001 Navigator TV 1001 startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter pumpen. Modusen ”Soft Start” brukes når pumpen skal startes igjen etter å ha stått stille en lengre periode.
Page 138 Instruksjon Manual Bruk Stoppe TV 1001 Navigator TV 1001 Navigator stoppes ved å kople det fra strømforsyningen. Den innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart. ADVARSEL! Turbo-V styreenheten må forsynes med en 3-tråds strømkabel (se tabellen for deler som kan bestilles) og utstyrt med et støpsel (som er internasjonalt godkjent) for brukerens sikkerhet.
Page 139 Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TV 1001 Navigator er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Page 140 Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
Page 141 TV 1001 Navigator User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kinnitys 148 Käyttö 150 TV 1001 Navigatorin käynnistys ja käyttö 151 TV 1001 Navigatorin pysäyttäminen 152 Hätäpysäytys 152 Huolto 153 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 141/310...
Page 142 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 142/310 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L)
Page 143 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
Page 144 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: Huomio- merkinnät varoittavat toimenpiteistä, joiden laiminlyönti voi johtaa HUOMIO! laitteen vaurioitumiseen. VAROITUS! Varoitus- merkintöjen tehtävänä on kiinnittää käyttäjän huomio erityisiin toimintatapoihin, joiden virheellinen suorittaminen voi aiheuttaa vakavia henkilövahinkoja. Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa. HUOM 144/310 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L)
Page 145 Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia  ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: -20 °C - 70 °C.  suhteellinen kosteus: 0 – 95 % (ei tiivistävä). ...
Page 146 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten TV 1001 Navigator toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 1001 Navigatorin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää...
Page 147 Ohjekäsikirja Asennus Asennus Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja:  maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen ...
Page 148 Ohjekäsikirja Pumpun kinnitys Pumpun kinnitys VAROITUS! Jos roottori vaurioituu, pumpun ja järjestelmän väliseen liitäntään saattaa kohdistua huomattavaa vääntömomenttia. Ellei liitäntä kestä kyseistä momenttia, pumppu saattaa irrota järjestelmästä tai moottori pumpun kotelosta. Tällöin metallikappaleita saattaa sinkoutua pumpusta tai järjestelmästä ja aiheuttaa vakavia vahinkoja tai kuoleman ja/tai lähellä olevien laitteiden vaurioita.
Page 149 Ohjekäsikirja Pumpun kinnitys Turbopumppu ConFlat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammioon sopivien Agilentin mekaanisten varusteiden avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. TV 1001 Navigator voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. TV 1001 Navigatoria ei voida kiinnittää perustansa kautta. HUOM TV 1001 Navigator laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä HUOMIO! sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä...
Page 150 Ohjekäsikirja Käyttö Käyttö Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet. Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 120 °C:tta. VAROITUS! Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla. Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen aikana.
Page 151 Ohjekäsikirja Käyttö TV 1001 Navigatorin käynnistys ja käyttö TV 1001 Navigatorin käynnistykseen riittää, että se kytketään sähköverkkoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti lukitus- ja käynnistyssignaalit ja käynnistää pumpun. “Soft Start” -tapa on käytettävissä pumpun käynnistämistä varten pitkän seisonta-ajan jälkeen. Jotta käynnistys voitaisiin saataisiin suorittaa uudelleen “Soft Start”...
Page 152 Ohjekäsikirja Käyttö TV 1001 Navigatorin pysäyttäminen TV 1001 Navigatorin pysäyttämiseen riittää, että se kytketään irti sähköverkosta. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumpun välittömästi. VAROITUS! Käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi Turbo-V valvojan virran syötön on tapahduttava pistokkeella (kansainvälisesti hyväksyttyä tyyppiä) ja 3:lla johtimella varustettua sähkökaapelia käyttämällä (katso tilattavien osien taulukkoa).
Page 153 Ohjekäsikirja Huolto Huolto TV 1001 Navigator ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.
Page 154 Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...
Page 155 TV 1001 Navigator User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informáicó Tárolás 159 Előkészítés telepítésre 160 Telepítés A szivattyú rögzítése Használat A TV 1001 Navigator bekapcsolása és használata 165 A TV 1001 Navigator kikapcsolása Vészleállítás 166 Karbantartás Megsemmisítés Az eredeti utasítás fordítása 155/310...
Page 156 Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor és az állórész érintkezése vagy a forgórész széttörése –...
Page 157 Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Általános informáicó A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
Page 158 Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Ez a kézikönyv a következő figyelmeztető jelzéseket használja: A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! tartanak be, az a berendezés károsodását okozhatja. VESZÉLY! A veszélyt jelző üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, ami, ha nem megfelelően végzik el, súlyos személyi sérülésekhez vezethet.
Page 159 Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent turbomolekuláris szivattyúk maximális teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell követni:  szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni: hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C  relatív páratartalom: 0 – 95 % (nem kondenzáló) ...
Page 160 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A TV 1001 Navigatort különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
Page 161 Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell biztosítani: maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett ...
Page 162 Felhasználói Kézikönyv A szivattyú rögzítése A szivattyú rögzítése VESZÉLY! Ha rotorhiba jelentkezik, a szivattyú és a rendszer közötti csatlakozás jelentős nyomatéknak lehet kitéve. Ha a csatlakozás nem képes ezt a nyomatékot elviselésni, a szivattyú leválhat a rendszerről, illetve a motor leválhat a szivattyúházról.
Page 163 Felhasználói Kézikönyv A szivattyú rögzítése A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Agilent hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért lásd „Technical Information”. A TV 1001 Navigator bármely helyzetben telepíthető. A TV 1001 Navigator nem rögzíthető az alapján keresztül. MEGJEGYZÉS A TV 1001 Navigator a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához FIGYELEM! tartozik az EN 61010-1 direktíva szerint.
Page 164 Felhasználói Kézikönyv Használat Használat Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. Végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a rendszer használata előtt. A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete nem haladhatja meg a 120 °C-ot. VESZÉLY! Soha ne használja a turbószivattyút, ha a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához, nem zárja azt le a lezárókarima! Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat közben! A magas hőmérséklet égési sérüléseket okozhat!
Page 165 Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 1001 Navigator bekapcsolása és használata A TV 1001 Navigator bekapcsolásához rá kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút. A “Soft Start” mód a szivattyú hosszabb leállást követő elindítására szolgál.
Page 166 Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 1001 Navigator kikapcsolása A TV 1001 Navigator kikapcsolásához le kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő azonnal leállítja a szivattyút. VESZÉLY! A gépkezelő biztonsága érdekében, a Turbo-V vezérlő egységet háromeres betápkábellel kell ellátni (lásd a megrendelhető alkatrészek táblázatát), ami egyik végén (nemzetközi szabvány szerinti) csatlakozó...
Page 167 Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TV 1001 Navigator nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá...
Page 168 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. A lent látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Page 169 TV 1001 Navigator User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Informacje ogolne 171 Magazynowanie 173 Przygotowanie do instalacji 174 Instalacja Mocowanie pompy Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie systemu TV 1001 Navigator 179 Zatrzymanie systemu TV 1001 Navigator 180 Zatrzymanie Awaryjne 180 Konserwacja Przetworstwo odpadow...
Page 170 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Page 171 Podrecznik Instrukcji Informacje ogolne Informacje ogolne Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich...
Page 172 Podrecznik Instrukcji Informacje ogolne W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w UWAGA! przypadku ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. ZAGROZENIE! Komunikaty zagrozeniu przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować...
Page 173 Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Magazynowanie W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalności i niezawodności pomp Turbomolekularnych Agilent , muszą być przestrzegane następujące zalecenia.  podczas transportu, przestawiania i magazynowania pomp, nie należy przekraczać następujących warunków środowiskowych: temperatura: od –20 °C do 70 °C ...
Page 174 Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji System TV 1001 Navigator jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną...
Page 175 Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru.. Podczas działania należy obowiązkowo przestrzegać następujących warunkówi otoczenia:  maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem atmosferycznym temperatura: od +5 °C do +35 °C (patrz wykres graficzny w ...
Page 176 Podrecznik Instrukcji Mocowanie pompy Mocowanie pompy ZAGROZENIE! W przypadku uszkodzenia wirnika, złącze między pompą i systemem może być narażone na bardzo wysoki moment. Jeżeli złącze jest niewystarczające by wytrzymać wspomiany moment, pompa może się odczepić od systemu lub silnik może odczepić się od obudowy pompy. W takim przypadku fragmenty metalu mogą...
Page 177 Podrecznik Instrukcji Mocowanie pompy Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie drobne układy mechaniczne firmy Agilent. W celu dodatkowych informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Technical Information” TV 1001 Navigator może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji. System TV 1001 Navigator nie może być...
Page 178 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Użytkowanie W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury operatywne. Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na kołnierzu nie może przekroczyć 120 °C. ZAGROZENIE! Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem zamknięcia.
Page 179 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie systemu TV 1001 Navigator Aby wlączyć TV 1001 Navigator wystarczy dostarczyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik rozpoznaje automatycznie obecność sygnałów interlock-u i uruchomienia i uruchamia pompę. Tryb “Soft Start” przewidziano w celu włączenia pompy po dłuższym okresie postoju.
Page 180 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Zatrzymanie systemu TV 1001 Navigator Aby zatrzymać TV 1001 Navigator wystarczy odlączyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompę. ZAGROZENIE! Dla zagwarantowania bezpieczeństwa operatorowi, kontroler Turbo-V powinien być zasilany kablem zasilającym o 3 przewodach (zobacz tabelę części dających się zamówić) i zamontowaną wtyczką (zgodna z międzynarodowymi normami).
Page 181 Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja System TV 1001 Navigator nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie poniżej 50 °C.
Page 182 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej .
Page 183 TV 1001 Navigator User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 184 Všeobecné informace 185 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Montáž vývěvy Použití 192 Zapnutí a používání vývěvy TV 1001 Navigator 193 Vypnutí vývěvy TV 1001 Navigator Nouzové zastavení 194 Údržba 195 Likvidace Překlad originálního návodu...
Page 184 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...
Page 185 Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
Page 186 Návod k Použití Všeobecné informace Tento manuál používá následující standardní protokol: Výstražná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení POZOR! mohly poškodit zařízení. NEBEZPEČÍ! Varovná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Poznámky obsahují...
Page 187 Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat následující pokyny:  Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli překračovat následující technické podmínky prostředí: Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C ...
Page 188 Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Vývěva TV 1001 Navigator se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Page 189 Návod k Použití Instalace Instalace Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané prostředím: maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem ...
Page 190 Návod k Použití Montáž vývěvy Montáž vývěvy NEBEZPEČÍ! Pokud dojde k poruše rotoru, propojení vývěvy se systémem by mohlo být vystaveno velkému točivému momentu. Pokud toto propojení nebude schopno vydržet tento točivý moment, vývěva by se mohla odpojit od systému nebo kryt elektromotoru by se mohl odpojit od pláště vývěvy. V tomto případě...
Page 191 Návod k Použití Montáž vývěvy Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu firmy Agilent. Viz podrobný popis v příloze "Technical Information". Vývěvu TV 1001 Navigator lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TV 1001 Navigator nelze připevnit pomocí její podstavy. POZNÁMKA Podle směrnice EN 61010-1 patří...
Page 192 Návod k Použití Použití Použití Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů. Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí překročit 120 °C. NEBEZPEČÍ! Turbomolekulární vývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li přívodní příruba připojená...
Page 193 Návod k Použití Použití Zapnutí a používání vývěvy TV 1001 Navigator Pro uvedení vývěvy TV 1001 Navigator do provozu je nutné přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu. Režim „Soft Start“ slouží k zapnutí vývěvy po delším vyřazení z provozu.
Page 194 Návod k Použití Použití Vypnutí vývěvy TV 1001 Navigator Pro vypnutí vývěvy TV 1001 Navigator je nutné přerušit síťové napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví. NEBEZPEČÍ! Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně...
Page 195 Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TV 1001 Navigator nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Page 196 Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Page 197 TV 1001 Navigator User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 199 Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy 204 Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 1001 Navigator 207 Vypnutie zariadenia TV 1001 Navigator Núdzové zastavenie Údržba 209 Likvidácia Preklad originálneho návodu...
Page 198 Návod na Obsluhu Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, opísané v nasledujúcej príručke, sa vyznačujú vysokou kinetickou energiou, a to vďaka vysokej rýchlosti otáčania v kombinácii so špecifickou hmotnosťou svojich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení...
Page 199 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
Page 200 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. NEBEZPEČÍ! Nebezpečie majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Poznámky upozorňujú...
Page 201 Návod na Obsluhu Uchovávanie Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujúce pokyny: neprekračujte nasledujúce podmienky prostredia počas prevozu,  prenášania a uchovávania vývev: rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C  rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95 % (bez kondenzácie) ...
Page 202 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Zariadenie TV 1001 Navigator sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
Page 203 Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia: ...
Page 204 Návod na Obsluhu Upevnenie vývevy Upevnenie vývevy NEBEZPEČÍ! Ak sa objaví chyba rotora, pripojenie vývevy k systému bude vystavené silnému točivému momentu. Ak pripojenie nie je dostatočne pevné, aby točivému momentu odolalo, môže sa odpojiť výveva od systému alebo kryt motora od plášťa výve-vy.
Page 205 Návod na Obsluhu Upevnenie vývevy Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená k vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky Agilent. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Zariadenie TV 1001 Navigator môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe. Zariadenie TV 1001 Navigator sa nemôže upevniť pomocou vlastnej základnej POZNÁMKA dosky.
Page 206 Návod na Obsluhu Použitie Použitie Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické a pneumatické pripojenia. Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory nesmie prekročiť 120 °C. NEBEZPEČÍ! Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je pripojená k vákuovej komore alebo ak nie je zablendovaná.
Page 207 Návod na Obsluhu Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 1001 Navigator Ak chcete zapnúť zariadenie TV 1001 Navigator, musíte ho pripojiť ku zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky rozpozná prítomnosť signálov spojenia a spustenia a zapne vývevu. Režim „Soft Start“ slúži na zapnutie vývevy po dlšom vyradení z prevádzky.
Page 208 Návod na Obsluhu Použitie Vypnutie zariadenia TV 1001 Navigator Ak chcete vypnúť zariadenie TV 1001 Navigator, musíte ho odpojiť od zdroja napájania. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví. NEBEZPEČÍ! Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné zariadenie napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré možno objednať) so zástrčkou (medzinárodne schválenou).Túto šnúru so zástrčkou používajte spolu s vhodne uzemne-nou zásuvkou, aby nedošlo k zásahu elektrickým prúdom a aby boli splnené...
Page 209 Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie TV 1001 Navigator nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Page 210 Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...
Page 211 TV 1001 Navigator User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Pritrjevanje črpalke Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 1001 Navigator 221 Izklop naprave TV 1001 Navigator 222 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku...
Page 212 Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Page 213 Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Page 214 Priročnik za Navodila Splošne informacije Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe POZOR! opreme. SVARILO! Svarilo so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila.
Page 215 Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete  preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -20 °C do 70 °C  območje relativne vlažnosti: 0 do 95 % (brez kondenza) ...
Page 216 Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo TV 1001 Navigator je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte. Embalažo zavrzite v skladu s pravili.
Page 217 Priročnik za Navodila Montaža Montaža Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara. Tekom delovanja je treba spošotvati naslednje pogoje: ...
Page 218 Priročnik za Navodila Pritrjevanje črpalke Pritrjevanje črpalke SVARILO! Če pride do napake na rotorju potem lahko med povezavo črpalke s sistemom pride do velikega navora. Če povezava ne more izdržati takšnega navora se lahko črpalka izključi iz sistema ali se ohišje motorja iztrga iz nostilca črpalke.
Page 219 Priročnik za Navodila Pritrjevanje črpalke Turbo črpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Agilent strojne opreme. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". Napravo TV 1001 Navigator lahko namestite v poljuben položaj. Naprave TV 1001 Navigator ne morete fiksirati z njegovo lastno spodnjo ploskvijo. OPOMBA Po direktivi EN 61010-1 spada TV 1001 Navigator v skupino za drugo POZOR!
Page 220 Priročnik za Navodila Uporaba Uporaba Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo. Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske povezave. Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne prirobnice ne sme preseči 120 °C. SVARILO! Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni priključena na vakuumsko ležišče.
Page 221 Priročnik za Navodila Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 1001 Navigator Za vključitev TV 1001 Navigator morate priključiti napetost. Vgrajeni kontroler samodejno prepozna zaporo in prisotnost signalov za vklop ter zažene črpalko. »Soft Start« način je predviden za zagon po daljši neuporabi črpalke. Za zagon »Soft Start«...
Page 222 Priročnik za Navodila Uporaba Izklop naprave TV 1001 Navigator Za izklop naprave TV 1001 Navigator morate prekiniti dovod napetosti. Vgrajen kontroler takoj zaustavi črpalko. SVARILO! Za varnost operaterja mora biti krmilnik Turbo-V napajan preko triveznega napajalnega kabla (glej tabelo delov, ki se lahko naročijo) z vtikačem (potrjen na mednarodnem nivoju).Uporabljajte ta kabel in vtikač...
Page 223 Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave TV 1001 Navigator ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Page 224 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...
Page 225 TV 1001 Navigator User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 226 General Information Storage Preparation for installation 230 Installation Pump fixing Use 234 Switching on and Use of TV 1001 Navigator TV 1001 Navigator Switching off 236 Emergency Stop Maintenance Disposal...
Page 226 Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Page 227 Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
Page 228 Instructions for Use General Information This manual uses the following standard protocol: The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment. WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury.
Page 229 Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed:  when shipping, moving and storing pumps, the following environmental specifications should not be exceeded: temperature range: -20 °C to 70 °C ...
Page 230 Instructions for Use Preparation for installation Preparation for installation The TV 1001 Navigator is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Page 231 Instructions for Use Installation Installation Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be respected: maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure ...
Page 232 Instructions for Use Pump fixing Pump fixing WARNING! If a rotor failure occurs, the connection of the pump to the system could be subjected to a significant torque. If the connection is not sufficient to withstand that torque, the pump could detach from the system or the motor housing could detach from the pump envelope.
Page 233 Instructions for Use Pump fixing The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate Agilent hardware. See the appendix "Technical Information" for a detailed description. The TV 1001 Navigator ca be installed in any position. The TV 1001 Navigator cannot be fixed by means of its base.
Page 234 Instructions for Use This paragraph details the fundamental operating procedures. Make all electrical and pneumatic connections before the use of the system. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 120 °C. WARNING! Never use the turbopump when the inlet flange is not connected to the vacuum chamber.
Page 235 Instructions for Use Switching on and Use of TV 1001 Navigator To switch on the TV 1001 Navigator it is necessary to sup-ply the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump. “Soft Start”...
Page 236 Instructions for Use TV 1001 Navigator Switching off To switch off the TV 1001 Navigator it is necessary to re-move the mains. The integrated controller immediately stops the pump. WARNING! The Turbo-V controller must be powered with 3-wire power cord (see orderable parts table) and plug (internationally approved) for user's safety.
Page 237 Instructions for Use Maintenance Maintenance The TV 1001 Navigator does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.
Page 238 Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Page 239 Technical Information Disposal Technical Information Description of the TV 1001 Navigator 241 Pump Description Controller Description 247 Technical Specification TV 1001 Navigator Outline 250 Interconnections P3 - Vent P4 – External Fan J1 – In-Out Signal Description HOW to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller 260 How to Connect the Outputs of the Controller 264 J2 –...
Page 240 Technical Information Disposal Air Cooling Kit Installation 280 TV 1001 with Navigator Controller TV 1001 Pump with Standard Rack Controller 282 Water Cooling Kit Installation Vent Accessories 287 TV 1001 Navigator Controller Compatible Vent Valve mod. 9699834 287 Standard Rack Controller Compatible Vent Valve mod.
Page 241 Technical Information Description of the TV 1001 Navigator Description of the TV 1001 Navigator The TV 1001 Navigator pumping system consists of a pump with a dedicated controller fixed to it. The system is available in six models that differ in the high vacuum flange.
Page 242 Technical Information Description of the TV 1001 Navigator The following figure shows the six models. Model 9698838 Model 9698844 Model 9698839 Model 9698840 Model 9698841 Model 9698845 Figure 1 242/310 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L)
Page 243 Technical Information Description of the TV 1001 Navigator The pumps only are available with the following models: Model 9698931 with ISO 200 high vacuum flange;  Model 9698946 with ISO 200 F high vacuum flange;   Model 9698932 with ConFlat 10” external di-ameter high vacuum flange; Model 9698933 with ISO 160 high vacuum flange;...
Page 244 Technical Information Description of the TV 1001 Navigator The following figure shows the six models. Model 9698931 Model 9698946 Model 9698932 Model 9698933 Model 9698934 Model 9698947 Figure 2 244/310 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L)
Page 245 Technical Information Description of the TV 1001 Navigator The controller model 9698978 is also available as an option. Figure 3 Controller model 9698978 Pump Description The pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 8 bladed stages and 4 Macrotorr stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
Page 246 Technical Information Description of the TV 1001 Navigator The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings in-stalled on the forevacuum side of the pump. The static blades of the stator are made of stainless steel. These are supported and accurately po-sitioned by spacer rings.
Page 247 Technical Information Description of the TV 1001 Navigator Figure 4 Controller Description The dedicated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip micro-computer and is composed of two PCBs which include power supply and 3-phase output, analog and input/output section, microprocessor and digital section.
Page 248 Technical Information Technical Specification Technical Specification Tab. 3 Pumping speed (with inlet screen) ISO 160: CFF 10"/ ISO 200: ISO 250: 790 l/s 950 l/s 1050 l/s 820 l/s 870 l/s 900 l/s 860 l/s 900 l/s 920 l/s Compression ratio >1 x 10 1 x 10 5 x 10...
Page 249 Technical Information Technical Specification Power supply: Input voltage: 100 - 240 Vac Input freq.: 50 - 60 Hz Max input power: 600 VA Stand-by power: 30 to 35 W Max operating power: 450 W with water cooling 300 W with air cooling Protection fuse 1 x 6.3 A Compliance with:...
Page 250 Technical Information TV 1001 Navigator Outline TV 1001 Navigator Outline The following figures show the TV 1001 Navigator outlines (dimensions are in mm [inches]). Figure 5 250/310 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L)
Page 251 Technical Information TV 1001 Navigator Outline Figure 6 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L) 251/310...
Page 252 Technical Information TV 1001 Navigator Outline Figure 7 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Figure 8 Graph of compression ratio vs foreline pressure 252/310 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L)
Page 253 Technical Information TV 1001 Navigator Outline Figure 9 Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L) 253/310...
Page 254 Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TV 1001 interconnections. Figure 10 254/310 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L)
Page 255 Technical Information Interconnections P3 - Vent Figure 11 This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve. P4 – External Fan Figure 12 This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the optional external fan. TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L) 255/310...
Page 256 Technical Information Interconnections J1 – In-Out Figure 13 This connector carries all the input and output sig-nals to remote control the TV 1001 Navigator. It is a 15-pins D type connector; the available sig-nals are detailed in the table, the following para-graphs describe the signal characteristics and use. Tab.
Page 257 Technical Information Interconnections Signal Description Start/Stop: input signal to start or stop the pump. With the supplied cover connector the START/STOP (+) signal is connected to the +24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the GROUND pin: in this condition the pump automatically starts as soon as the controller recognises the input supply ("Plug &...
Page 258 Technical Information Interconnections Programmable analog signal: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power) set by the user. The default setting is the frequency (see the following example diagram). Figure 15 Fault: this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected.
Page 259 Technical Information Interconnections Figure 16 The set point output stays at 0 Vdc until the fre-quency becomes higher than 505 Hz (that is 500 Hz + 1 % of 500 Hz), then the output goes at 24 Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency be-comes lower than 495 Hz (that is 500 Hz –...
Page 260 Technical Information Interconnections Figure 17 How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Here below there are the typical connections of the open collector input of TV551/701 Navigator to an external system. Two cases are considered: the customer supplies the 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc.
Page 261 Technical Information Interconnections Figure 18 Case 1 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L) 261/310...
Page 262 Technical Information Interconnections Figure 19 Case 2 with relay utilisation 262/310 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L)
Page 263 Technical Information Interconnections Figure 20 Case 2 with transistor utilization TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L) 263/310...
Page 264 Technical Information Interconnections How to Connect the Outputs of the Controller The following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. The figure example refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9.
Page 265 Technical Information Interconnections J2 – Serial Figure 22 Typical output connection This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TV 1001. Tab. 5 Pin N. Signal name SPARE TX (RS232) RX (RS232) SPARE...
Page 266 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description RS 232/RS 485 Communication Description Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector J2. The communication protocol is the same (see the structure below), but only the RS 485 manages the address field. Therefore to enable the RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the Navigator software.
Page 267 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated NOTE data is the corresponding ASCII character. <STX> (Start of transmission) = 0x02  <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232) ...
Page 268 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one NOTE used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR> The controller can answers with the following response types: Tab.
Page 269 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L) 269/310...
Page 270 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 270/310 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L)
Page 271 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Window-Meanings Tab. 8 Read/Write Datatype Description Admitted Values Start/Stop Start = 1 (in remote mode the window Stop = 0 is a read only) Remote Remote = 1 (default) or Serial Serial = 0 configuration (default = 1) Soft Start...
Page 272 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/Write Datatype Description Admitted Values Baud rate 600 = 0 1200 = 1 2400 = 2 4800 = 3 9600 = 4 (default = 4) Pump life/ cycle time/ cycle To reset write number reset ‘1’...
Page 273 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/Write Datatype Description Admitted Values Pump power in W (pump current x pump voltage duty cycle) Driving frequency in Hz Pump temperature in °C 0 to 70 Pump status Stop = 0 Waiting intlk = 1 Starting = 2 Auto-tuning = 3 Braking = 4...
Page 274 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/Write Datatype Description Admitted Values 1 = RS 485 (default = 0) 1. Automatic means that when the controller stops, the vent valve is opened NOTE with a delay defined by window n. 126; when the controller starts, the vent valve is immediately closed.
Page 275 Technical Information Inlet Screen Installation Inlet Screen Installation Figure 24 Figure 25 Figure 26 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L) 275/310...
Page 276 Technical Information Inlet Screen Installation The inlet screens mod. 9699304, 9699316 and 9699350 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10 %. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure.
Page 277 Technical Information Inlet Screen Installation The following figure shows the overall flange di-mensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange. Figure 29 Figure 30 The following figure shows the ISO 250 pump flange section with the protection screen fitted on it.
Page 278 Technical Information Heater Band Installation Figure 31 Heater Band Installation Figure 32 The heater band model 9699317 and 9699327 can be used to heat the pump casing when a bakeout is needed. The heater band is available only for the pump with ConFlat inlet flange (model 9698932).
Page 279 Technical Information Heater Band Installation Figure 33 Switch on the heater while the turbopump is in operation. In the event of turbopump overheat, the pump will be automatically cut out by the thermistor sensor. The turbopump must be "baked" only when operat-ing with an inlet pressure NOTE less than 10 mbar and with water cooling.
Page 280 Technical Information Air Cooling Kit Installation Air Cooling Kit Installation TV 1001 with Navigator Controller An air cooling kit (mod. 9699297) is available to improve the TV 1001 cooling during heavy operational conditions (optional). Figure 34 Fan specifications:  air flow: 200m3/h input voltage: 24 Vdc ...
Page 281 Technical Information Air Cooling Kit Installation power: 4.7 W  The fan bracket is shaped so that it can be mount-ed close to the pump. To fix the fan to the TV 1001 case execute the fol-lowing procedure (see the following figure): Fix the fan to the suitable bracket by means of the furnished screws;...
Page 282 Technical Information Air Cooling Kit Installation TV 1001 Pump with Standard Rack Controller When the TV 1001 pumps are used with the standard rack controller, it is necessary to utilize the air cooling kit model X3501-68001. Figure 36 Fan specification: air flow: 187 m ...
Page 283 Technical Information Air Cooling Kit Installation Connect the fan to the controller. Figure 37 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L) 283/310...
Page 284 Technical Information Water Cooling Kit Installation Water Cooling Kit Installation Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 9699337 (metal-lic model), and 9699347 (plastic model).
Page 285 Technical Information Water Cooling Kit Installation The items of the plastic model kit must be assem-bled as shown in the following CAUTION! figure Figure 40 The assembled kit must be screwed into the suita-ble holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L) 285/310...
Page 286 Technical Information Water Cooling Kit Installation Figure 41 Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. These hoses must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid NOTE that the tube(s) gets loose or disconnected during operation.
Page 287 Technical Information Vent Accessories Vent Accessories The vent valve and vent device allow to avoid undesired venting of the pump during temporary power failure and enables an automatic vent operation. TV 1001 Navigator Controller Compatible Vent Valve mod. 9699834 Figure 42 This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec.
Page 288 Technical Information Vent Accessories To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure below). Figure 43 Then screw the vent valve into the pump and tight-en it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. Figure 44 288/310 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L)
Page 289 Technical Information Vent Accessories Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suita-ble connector on the controller (see the preceding paragraph “INTERCONNECTIONS”). Standard Rack Controller Compatible Vent Valve mod.
Page 290 Technical Information Vibration Isolator Installation Vibration Isolator Installation Three vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accessories. The three model part numbers are the following: model 9699345 for ISO 160 flange;   model 9699346 for ISO 200 flange; model 9699336 for CFF 10”...
Page 291 Technical Information Purge Valve Installation Purge Valve Installation A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump. To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure, Figure 46 and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the...
Page 292 Technical Information Serial Cable Installation Serial Cable Installation The supplied serial cable must be installed when the TV 1001 Navigator or the optional vent valve have to be controlled by means of a remote computer. The cable is installed fixing the 9 pin D-type connector into the P2 serial connector as shown in the following figure.
Page 293 Technical Information TV 1001 Controller Installation TV 1001 Controller Installation The controller can be mounted in two position:  bottom mounting (as per the complete system) side mounting.  To install the controller execute the following procedures. Bottom Mounting See the following figure. Turn the pump upside-down;...
Page 294 Technical Information TV 1001 Controller Installation Figure 49 294/310 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L)
Page 295 Technical Information TV 1001 Controller Installation Side Mounting The L-shaped bracket (P/N 9699298) is available as an option. NOTE See the following figure. Place the L-shaped bracket on the controller, with the pump cable toward the bracket, and fix it by means of the three socket head screws M5, the washers and the nuts.
Page 296 Technical Information TV 1001 Controller Installation Figure 50 296/310 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L)
Page 297 Technical Information TV 1001 Controller Installation Connection A - High Vacuum Flange For ISO-K flange connections, fix the two flanges with the clamps as shown in the figure. Figure 51 WARNING! It is mandatory to connect the pump in such a way to withstand the torque specified in the "IN-STRUCTION FOR USE"...
Page 298 Technical Information TV 1001 Controller Installation Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the CAUTION! envelope as this may cause the pump rotor to lock. Connection Configurations Figure 52 298/310 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L)
Page 299 Technical Information TV 1001 Controller Installation Connection B - Fore-Vacuum Pump A flange KF 40 NW is available to connect the Turbo V1001 pump to the fore- vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Page 300 Technical Information TV 1001 Controller Installation If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60° C, the sensor automatically cuts out the power supply. 300/310 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L)
Page 301 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Pump Used with Corrosive Gases To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump.
Page 302 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Figure 54 Purge layout Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve 302/310 TV 1001 Navigator User Manual / 87-900-945-01(L)
Page 303 Technical Information Pump Used in Presence of Magnetic Fields Pump Used in Presence of Magnetic Fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consump-tion by the motor, most of which is dissipated in the rotor.
Page 304 Technical Information Accessories and Spare Parts Accessories and Spare Parts Tab. 9 Description Part number Mains cable NEMA Plug, 3m long 9699958 Mains cable European Plug, 3m long 9699957 Serial cable and Navigator Software 9699883 Bracket for controller side mounting 9699298 Inlet screen ISO 160 9699304...
Page 310 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd 121 Hartwell Avenue Unit Nos 105-116 Unit 201, Level 2 uptown 2, Lexington, MA 02421 - USA...

Ce manuel est également adapté pour:

9698932 9698934 9698946 9698933 9698947 9698838 ... Afficher tout

Agilent Technologies Navigator TV 1001 Notice De Mode D'emploi

Liens rapides

Manuels Connexes pour Agilent Technologies Navigator TV 1001

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies Navigator TV 1001

Ce manuel est également adapté pour: