Page 1 TV 401/301 MS Pump model 869-8928R003 Controller model 969-8979M005 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila Bruksanvisning User Manual 87-901-013-01 (A)
Page 2 Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2011 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
Page 3 TV 401/301 MS TV 401/301 MS TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 3/264...
Page 4 TV 401/301 MS 4/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
Page 5 Contents Contents Istruzioni per l’uso 13 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni generali 15 Immagazzinamento 16 Preparazione per l'installazione 17 Installazione 18 Uso 20 Manutenzione 23 Smaltimento 24 Gebrauchsanleitung 25 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine Information 27 Lagerung 28 ...
Page 6 Contents Mode d’emploi 37 Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 38 Indications Generales 39 Stockage 40 Preparation pour l'installation 41 Installation 42 Utilization 44 Entretien 47 Mis au rebut 48 Manual de istrucciones 49 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 50 ...
Page 7 Contents Preparação para a instalação 65 Instalação 66 Utilização 68 Manutenção 71 Eliminação 72 Bedrijfshandleiding 73 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 74 Algemene informatie 75 Opslag 76 Uitpakken 77 Installatie 78 Gebruik 80 Onderhoud 83 Afvalverwerking 84 Istruktionsbog 85 Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 86 ...
Page 8 Contents Bortskaffelse 96 Bruksanvisning 97 Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 98 Allmän information 99 Förvaring 100 Förberedelser för installationen 101 Installation 102 Användning 104 Underhåll 107 Bortskaffning 108 Instruksjon Manual 109 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper 110 Generell informasjon 111 Lagring 112 Klargjøre til installasjon 113 ...
Page 9 Contents Varastointi 124 Valmistelut asennusta varten125 Asennus 126 Käyttö 128 Huolto 131 Hävittäminen 132 11 Felhasználói Kézikönyv 133 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 134 Általános információk 135 Tárolás 136 Előkészítés telepítésre 137 Telepítés 138 Használat 140 Karbantartás 143 Megsemmisítés 144 12 Podrecznik Instrukcji 145 ...
Page 10 Contents Konserwacja 155 Przetworstwo odpadow 156 13 Návod k Použití 157 Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 158 Všeobecné informace 159 Uskladnění 160 Příprava k instalaci 161 Instalace 162 Použití 164 Údržba 167 Likvidace 168 14 Návod na Obsluhu 169 Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy 170 ...
Page 11 Contents Splošne informacije 183 Shranjevanje 184 Priprava za montažo 185 Montaža 186 Uporaba 188 Vzdrževanje 191 Odlaganje opadkov 192 16 Instructions for Use 193 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 194 General Information 195 Storage 196 Preparation for Installation 197 Installation 198 Use 200 ...
Page 12 Contents P3 – Spare 217 J5 - In-Out 218 RS 232/RS 485 Communication Description 229 Window-Meanings 235 Water Cooling Kit Installation 239 Purge Valve Installation 242 Serial Cable Installation 243 TV 401/301 MS Controller Installation 245 Connection of the Fore-Vacuum Pump 245 ...
Page 13 TV 401/301 MS User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni generali 15 Immagazzinamento Preparazione per l'installazione 17 Installazione Accensione ed Uso della TV 401/301 MS 21 Arresto della TV 401/301 MS Arresto di Emergenza 22 Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali...
Page 14 Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Page 15 Istruzioni per l’uso Informazioni generali Informazioni generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Page 16 Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
Page 17 Istruzioni per l’uso Preparazione per l'installazione Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre ATTENZIONE! reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. Preparazione per l'installazione Il TV 401/301 MS viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Page 18 Istruzioni per l’uso Installazione Il TV 401/301 MS non può essere danneggiato rimanendo semplicemente NOTA esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere. Installazione Togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della ATTENZIONE! turbopompa al sistema.
Page 19 Istruzioni per l’uso Installazione Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da +5 °C a +35 °C (vedere grafico nell’appendice “Technical Information”) umidità relativa: 0 – 95 % (non condensante). In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi.
Page 20 Istruzioni per l’uso Il TV 401/301 MS appartiene alla seconda categoria di installazione (o ATTENZIONE! sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. Il TV 401/301 MS ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibile.
Page 21 Istruzioni per l’uso Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in ATTENZIONE! funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica).
Page 22 Istruzioni per l’uso Il LED verde posto sul pannello della base del TV 401/301 MS indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative del sistema: acceso fisso: la pompa è in rotazione normale; lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il sistema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “Waiting for interlock”;...
Page 23 Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il TV 401/301 MS non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Page 24 Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Page 25 TV 401/301 MS User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine Information Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Einschaltung und Gebrauch der TV 401/301 MS Stoppen von Modell TV 401/301 MS 34 Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 25/264...
Page 26 Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Page 27 Gebrauchsanleitung Allgemeine Information Allgemeine Information Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Page 28 Gebrauchsanleitung Lagerung In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
Page 29 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. Vor der Installation Modell TV 401/301 MS wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert.
Page 30 Gebrauchsanleitung Installation Modell TV 401/301 MS kann durch die Umgebung an sich keine Schäden HINWEIS erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden. Installation Die Schutzkappe erst bei Anschluss der Turbopumpe an das System entfernen. VORSICHT! Die Turbopumpe nicht speisen, wenn sie nicht ordnungsgemäß...
Page 31 Gebrauchsanleitung Installation Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: Temperatur: von +5 °C bis +35 °C (siehe Diagramm im Anhang "Technical Information") Relative Luftfeuchtigkeit: 0 – 95 % (nicht kondensierend). Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information".
Page 32 Gebrauchsanleitung Gebrauch Der TV 401/301 MS gehört zur zweiten Installationsklasse (Überdruck) die von VORSICHT! den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Der TV 401/301 MS hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise angeschlossen werden müssen, sodaß...
Page 33 Gebrauchsanleitung Gebrauch Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie VORSICHT! Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt werden könnten. Für die Belüftung der Pumpe trockene staub- und partikelfreie Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen.
Page 34 Gebrauchsanleitung Gebrauch Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 401/301 MS gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an: Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb. Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder “Waiting for Interlock”.
Page 35 Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Modell TV 401/301 MS erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.
Page 36 Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Page 37 TV 401/301 MS User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications Generales 39 Stockage Preparation pour l'installation 41 Installation Utilization Mise en marche et utilisation de la TV 401/301 MS Arrêt de la TV 401/301 MS 46 Arrêt d'urgence Entretien Mis au rebut...
Page 38 Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Page 39 Mode d’emploi Indications Generales Indications Generales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
Page 40 Mode d’emploi Stockage Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: AVERTISSEMENT! Les messages d'avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le non ATTENTION! respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage.
Page 41 Mode d’emploi Preparation pour l'installation En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être retournée en ATTENTION! usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. Preparation pour l'installation Le TV 401/301 MS est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local.
Page 42 Mode d’emploi Installation Le TV 301 ne peut s'endommager en restant simplement exposé à l'atmosphère. NOTE Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à la poussière, il est conseillé de le garder dans son emballage clos jusqu'au moment de l'installation. Installation Ne retirer le bouchon de protection qu'au moment du branchement de la ATTENTION! turbopompe au système.
Page 43 Mode d’emploi Installation Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: température: de +5 °C à +35 °C (Cf. graphique dans "Technical Information") humidité relative: 0 – 95 % (non condensante) En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés.
Page 44 Mode d’emploi Utilization Le TV 401/301 MS appartient à la deuxième catégorie d'installations (ou ATTENTION! surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible avec cette catégorie. Le TV 401/301 MS dispose de connecteurs pour les entrées/sorties et pour la communication en série qui doivent être branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous tension ne soit accessible.
Page 45 Mode d’emploi Utilization Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou déplacement ATTENTION! brusque car les paliers pourraient se détériorer. Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression d'entrée à...
Page 46 Mode d’emploi Utilization La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du TV 401/301 MS indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opérationnelles du système: allumée fixe: la pompe est en rotation normale; clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système est en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente interlock.
Page 47 Mode d’emploi Entretien Entretien Le TV 401/301 MS n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Page 48 Mode d’emploi Mis au rebut Mis au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (unique-ment valide pour les pays de la Communauté euro-péenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
Page 49 TV 401/301 MS User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general Almacenamiento 52 Preparación para la instalación 53 Instalación Encendido y Uso de la TV 401/301 MS Parada de la TV 401/301 MS Parada de Emergencia 58 Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales...
Page 50 Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Page 51 Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Page 52 Manual de istrucciones Almacenamiento Este manual utiliza las convenciones siguientes: ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una ejecución específica que, de no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
Page 53 Manual de istrucciones Preparación para la instalación En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent.
Page 54 Manual de istrucciones Instalación El TV 401/301 MS no puede dañarse permaneciendo simplemente expuesto a la NOTA atmósfera. De todas formas, se aconseja mantener cerrada la bomba hasta que se instale en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo. Instalación Retirar el tapón de protección sólo en el momento de conectar la bomba de ¡ATENCIÓN!
Page 55 Manual de istrucciones Instalación Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes: temperatura: de +5 °C a +35 °C (véase gráfico en el anexo “Technical Information”) humedad relativa: 0-95 % (no condensadora). Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas.
Page 56 Manual de istrucciones El TV 401/301 MS pertenece a la segunda categoría de instalación (o ¡ATENCIÓN! sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría. El TV 401/301 MS tiene conectores para las entradas/salidas y para la comunicación serial que deben ser conectados a los circuitos externos de manera que ninguna parte bajo tensión quede accesible.
Page 57 Manual de istrucciones Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba ¡ATENCIÓN! durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta deberá...
Page 58 Manual de istrucciones El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TV 401/301 MS indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones operativas del sistema: encendido fijo: la bomba está en rotación normal; parpadea lentamente (periodo de 400 ms aproximadamente): el sistema está...
Page 59 Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El TV 401/301 MS no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Page 60 Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Page 61 TV 401/301 MS User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Acendimento e Utilização da TV 401/301 MS 69 Paragem da TV 401/301 MS 70 Paragem de Emergência Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais...
Page 62 Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
Page 63 Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
Page 64 Manual de Istruções Armazenagem Este manual utiliza as seguintes convenções: ATENÇAO! As mensagens de atenção chamam a atenção do operador para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais. As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! efectuados correctamente, podem causar danos à...
Page 65 Manual de Istruções Preparação para a instalação Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Agilent. Preparação para a instalação O TV 401/301 MS é...
Page 66 Manual de Istruções Instalação O TV 401/301 MS não pode ser danificado permanecendo simplesmente NOTA exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o momento da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó. Instalação Retirar a tampa de proteção somente no momento de ligar a turbobomba ao CUIDADO! sistema.
Page 67 Manual de Istruções Instalação Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: temperatura: de + 5 °C a + 35 °C (consultar a planilha no apêndice “Technical Information”) humidade relativa: 0 – 95 % (não condensante). Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas.
Page 68 Manual de Istruções Utilização O TV 401/301 MS pertence à segunda categoria de instalação (ou sobretensão) CUIDADO! prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria. O TV 401/301 MS tem dois conectores para as entradas/saídas e para a comunicação de série que devem ser ligados aos circuitos externos de modo a não permitir o acesso às partes sob tensão.
Page 69 Manual de Istruções Utilização Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando CUIDADO! está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos. Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bar (acima da pressão atmosférica).
Page 70 Manual de Istruções Utilização A luz piloto verde LD1, posicionada no painel da base do TV 401/301 MS, indica, através da frequência de intermitência, as condições operacionais do sistema: acesa fixa: a bomba funciona normalmente; intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema está em estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop, ou de “waiting for interlock”.
Page 71 Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TV 401/301 MS não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Page 72 Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Page 73 TV 401/301 MS User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 74 Algemene informatie 75 Opslag 76 Uitpakken Installatie Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 401/301 MS Afzetten van de TV 401/301 MS 82 Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 84 Vertaling van de originele instructies 73/264...
Page 74 Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Page 75 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
Page 76 Bedrijfshandleiding Opslag Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken.
Page 77 Bedrijfshandleiding Uitpakken Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer VOORZICHTIG! naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. Uitpakken De TV 401/301 MS wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd;...
Page 78 Bedrijfshandleiding Installatie De TV 401/301 MS kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de OPMERKING atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen. Installatie Verwijder de beschermdop pas op het moment dat de turbopomp op het VOORZICHTIG!
Page 79 Bedrijfshandleiding Installatie Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn temperatuur: van +5 °C tot +35 °C (zie grafiek in de bijlage “Technical Information”) relatieve vochtigheid: 0 – 95 % (niet condenserend). In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden.
Page 80 Bedrijfshandleiding Gebruik De TV 401/301 MS behoort tot de tweede installatiecategorie (of VOORZICHTIG! overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet. De TV 401/301 MS bezit connectoren voor de ingangen/uitgangen en voor de seriële communicatie die aangesloten moeten worden op de externe circuits, zodat geen enkel deel onder spanning toegankelijk is.
Page 81 Bedrijfshandleiding Gebruik Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp VOORZICHTIG! wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders beschadigd raken. Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de atmosferische druk) bedragen.
Page 82 Bedrijfshandleiding Gebruik De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de TV 401/301 MS geeft door de frequentie van zijn knipperen, de werkcondities van het systeem aan: brandt onafgebroken: de pomp draait normaal; knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem is in de status “oploop”...
Page 83 Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De TV 401/301 MS is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Page 84 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Page 85 TV 401/301 MS User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Opbevaring Forberedelse før installation Installation Anvendelse Start og anvendelse af TV 401/301 MS Stop af TV 401/301 MS 94 Nødstop Vedligeholdelse 95 Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 85/264...
Page 86 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Page 87 Istruktionsbog Generel Information Generel Information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
Page 88 Istruktionsbog Opbevaring I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader.
Page 89 Istruktionsbog Forberedelse før installation Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. Forberedelse før installation TV 401/301 MS leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på...
Page 90 Istruktionsbog Installation Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade TV 401/301 MS. Det anbefales BEMÆRK dog, at opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil den skal installeres. Herved forhindres, at der kommer støv i pumpen. Installation Beskyttelsesproppen må først fjernes, når turbopumpen sluttes til systemet. FORSIGTIG! Turbopumpen må...
Page 91 Istruktionsbog Installation Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: temperatur: fra +5 °C til + 35 °C (se illustrationen i bilaget “Technical Information”) relativ luftfugtighed: 0 – 95 % (ikke kondenserende) Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes.
Page 92 Istruktionsbog Anvendelse TV 401/301 MS hører til den anden installationsklasse (eller FORSIGTIG! overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne klasse. TV 401/301 MS er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og til seriel kommunikation. Konnektorerne skal tilsluttes de eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt at opnå...
Page 93 Istruktionsbog Anvendelse Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug af FORSIGTIG! turbopumpen. Der er risiko for beskadigelse af lejerne. Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser, der ikke indeholder støv eller faste partikler. Indgangstrykket ved den specielle dør skal være mindre end 2 bar (over atmosfærisk tryk).
Page 94 Istruktionsbog Anvendelse Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TV 401/301 MS’s fundament, angiver systemets funktion ved blink: konstant tændt: pumpen er i normal rotation; langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i stilling for acceleration, bremsing, stop eller “Waiting for interlock”; hurtige blink: (periode på...
Page 95 Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse TV 401/301 MS behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Page 96 Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...
Page 97 TV 401/301 MS User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar98 Allmän information Förvaring Förberedelser för installationen 101 Installation Användning Start och användning av TV 401/301 MS 105 Att stänga av TV 401/301 MS Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 97/264...
Page 98 Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Page 99 Bruksanvisning Allmän information Allmän information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Page 100 Bruksanvisning Förvaring I bruksanvisningen används följande standardrubriker: VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå.
Page 101 Bruksanvisning Förberedelser för installationen Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka OBSERVER! till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent-återförsäljaren för ytterligare information. Förberedelser för installationen TV 401/301 MS levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på...
Page 102 Bruksanvisning Installation Normal påverkan från omgivningen kan inte skada TV 401/301 MS. Trots det är OBSERVERA det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den. Installation Ta bort skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till systemet.
Page 103 Bruksanvisning Installation Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: temperatur: från +5 °C till +35 °C (se bild i “Technical Information”) relativ luftfuktighet: 0 – 95 % (utan kondens). I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“...
Page 104 Bruksanvisning Användning TV 401/301 MS tillhör den andra installationsklassen (eller OBSERVER! överspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut därför anordningen till en elledning som uppfyller kraven för denna klass. TV 401/301 MS är utrustad med kontaktdon för ingångarna/utgångarna och för den seriella kommunikationen som ska anslutas till de externa kretsarna så...
Page 105 Bruksanvisning Användning Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av OBSERVER! turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli skadade.Pumpen ska förses med luft eller med ädelgaser som ärfria från damn eller andra partiklar. Ingångstrycket mot rätt dörr måsteunderstiga 2 bar (utöver det atmosfäriska trycket).
Page 106 Bruksanvisning Användning Den gröna lysdioden LD1 på underdelen av TV 401/301 MS anger, genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar: fast sken: pumpen roterar normalt; långsamt blinkande (ungefär var 400 ms) : systemet är i lage för acceleration, bromsning, Stop eller "Waiting for interlock"; hastigt blinkande (ungefär 200 ms) : feltillstånd.
Page 107 Bruksanvisning Underhåll Underhåll TV 401/301 MS är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC. Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat system.
Page 108 Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD- direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Page 109 TV 401/301 MS User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper Generell informasjon 111 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk 116 Starte og bruke TV 401/301 MS 117 Stoppe TV 401/301 MS 118 Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 109/264...
Page 110 Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Page 111 Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
Page 112 Instruksjon Manual Lagring Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! føre til at utstyret skades.
Page 113 Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpen FORSIKTIG! returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent-forhandleren for informasjon. Klargjøre til installasjon TV 401/301 MS leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på...
Page 114 Instruksjon Manual Installasjon Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge TV 401/301 MS. Likevel MERK anbefaler vi å holde pumpen lukket til den er montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving. Installasjon Fjern beskyttelsesproppen først når turbopumpen skal sluttes til systemet. FORSIKTIG! Turbopumpen må...
Page 115 Instruksjon Manual Installasjon Under bruk må følgende forhold respekteres: temperatur: fra +5 °C til +35 °C (se diagram i tillegget “Technical Information”) relativ fuktighet: 0 – 95 % (uten kondens) Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Technical Information”...
Page 116 Instruksjon Manual Bruk TV 401/301 MS hører til installasjonsklasse (eller overspenningsklasse) nummer FORSIKTIG! 2 i følge EN 61010-1 standarden. Kople derfor anordningen til en hovedledning som tilfredsstiller kravene for denne klassen. TV 401/301 MS er utstyrt med koplingsstykker for inn-/utgangene og seriekommunikasjonen som må koples til de ytre strømkretsene slik at ingen deler under spenning er tilgjengelige.
Page 117 Instruksjon Manual Bruk ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. Starte og bruke TV 401/301 MS TV 401/301 MS startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter pumpen.
Page 118 Instruksjon Manual Bruk Stoppe TV 401/301 MS TV 401/301 MS stoppes ved å kople det fra strømforsyningen. Den innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart. ADVARSEL! Turbo-V styreenheten må forsynes med en 3-tråds strømkabel (se tabellen for deler som kan bestilles) og utstyrt med et støpsel (som er internasjonalt godkjent) for brukerens sikkerhet.
Page 119 Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TV 401/301 MS er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Page 120 Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC- direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
Page 121 TV 401/301 MS User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 122 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 128 TV 401/301 MSin käynnistys ja käyttö TV 401/301 MSin pysäyttäminen 130 Hätäpysäytys 130 Huolto 131 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 121/264...
Page 122 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 122/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
Page 123 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
Page 124 Ohjekäsikirja Varastointi Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: VAROITUS! Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen HUOMIO! vahingoittumiseen. Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa. HUOM Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu...
Page 125 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. HUOMIO! Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. Valmistelut asennusta varten TV 401/301 MS toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 401/301 MSin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä.
Page 126 Ohjekäsikirja Asennus TV 401/301 MS ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On HUOM kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen. Asennus Poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään järjestelmään. Älkää HUOMIO! kytkekö turbopumppuun sähköä, ellei sitä ole kiinnitetty asianmukaisesti tyhjiöjärjestelmään.
Page 127 Ohjekäsikirja Asennus Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: lämpötila: + 5 °C - +35 °C (ks. “Technical Information” -liitteen kaaviota). suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä) Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information”...
Page 128 Ohjekäsikirja Käyttö TV 401/301 MS kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten mukaiseen HUOMIO! asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite tämän vuoksi sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan vaatimukset. TV 401/301 MS laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä...
Page 129 Ohjekäsikirja Käyttö Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana, sillä HUOMIO! laakerit voivat vahingoittua. Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Erityisen aukon läpi syötettävän paineen tulee olla alle 2 baaria (yli atmosfäärisen paineen). Pumput on varustettu aggressiivisten kaasujen pumppausta varten aukolla, jonka läpi pumppuun kuljetetaan jalokaasuja (typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Technical Information”...
Page 130 Ohjekäsikirja Käyttö Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TV 401/301 MS:n perustan paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti; vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-, jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”- tilassa; vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila. TV 401/301 MSin pysäyttäminen TV 401/301 MSin pysäyttämiseen riittää, että...
Page 131 Ohjekäsikirja Huolto Huolto TV 401/301 MS ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC:en.
Page 132 Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...
Page 133 TV 401/301 MS User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 134 Általános információk 135 Tárolás Előkészítés telepítésre 137 Telepítés Használat A TV 401/301 MS bekapcsolása és 141 A TV 401/301 MS 142 Vészleállítás 142 Karbantartás Megsemmisítés 144 Az eredeti utasítás fordítása 133/264...
Page 134 Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
Page 135 Felhasználói Kézikönyv Általános információk Általános információk A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
Page 136 Felhasználói Kézikönyv Tárolás Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt használja: VESZÉLY! A figyelmeztető üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! követnek, a berendezés károsodását okozhatják.
Page 137 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni a FIGYELEM! gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Agilent vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. Előkészítés telepítésre A TV 401/301 MS-t különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához.
Page 138 Felhasználói Kézikönyv Telepítés A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a TV 401/301 MS-et. MEGJEGYZÉS Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját. Telepítés Ne távolítsa el a védőkupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez való FIGYELEM! csatlakoztatása előtt.
Page 139 Felhasználói Kézikönyv Telepítés Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell biztosítani: hőmérséklet: +5 °C-tól +35 °C-ig (lásd a nyomás-hőmérséklet diagrammot a „Technical Information” függelékben) relatív páratartalom: 0 – 95 % (nem kondenzáló) Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell ferromágneses pajzs segítségével.
Page 140 Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 401/301 MS a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához tartozik FIGYELEM! az EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. A TV 401/301 MS-nek olyan bemeneti/kimeneti és soros kommunikációs csatlózásai vannak, amelyeket úgy kell külső áramkörökhöz csatlakoztatni, hogy elektromos részek ne legyenek hozzáférhetők.
Page 141 Felhasználói Kézikönyv Használat VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok ártalmatlanításához szükséges eljárásokat. Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. A TV 401/301 MS bekapcsolása és használata A TV 401/301 MS bekapcsolásához rá kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő...
Page 142 Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 401/301 MS bekapcsolása A TV 401/301 MS kikapcsolásához egyszerűen le kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő azonnal leállítja a szivattyút. VESZÉLY! A gépkezelő biztonsága érdekében, a Turbo-V vezérlő egységet háromeres betápkábellel kell ellátni (lásd a megrendelhető alkatrészek táblázatát), ami egyik végén (nemzetközi szabvány szerinti) csatlakozó...
Page 143 Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TV 401/301 MS nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Page 144 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címken jelenlévő "WEEE" logo jelentése. Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Page 145 TV 401/301 MS User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne informacje 147 Magazynowanie 148 Przygotowanie do instalacji 149 Instalacja Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie TV 401/301/21 NSF 153 Zatrzymanie systemu TV 401/301/21 NSF154 Zatrzymanie Alarmowe 154 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 145/264...
Page 146 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Page 147 Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje Ogólne informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich...
Page 148 Podrecznik Instrukcji Magazynowanie W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia : ZAGROŻENIE! Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w UWAGA! przypadku ich braku przestrzegania, może dojść...
Page 149 Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy UWAGA! odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. Przygotowanie do instalacji System TV 401/301/21 NSF jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu;...
Page 150 Podrecznik Instrukcji Instalacja System TV 401/301/21 NSF, nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go PRZYPIS na działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem. Instalacja Zdjąć korek zabezpieczający tylko w momencie połączenia pompy do systemu. UWAGA! Nie zasilać...
Page 151 Podrecznik Instrukcji Instalacja Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać następujące warunki otoczenia: temperatura: od + 5 °C do +35 °C (patrz wykres graficzny w dodatku “Technical Information”) względna wilgoć 0 -95 % (bez opar). W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie.
Page 152 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie TV 401/301/21 NSF należy do drugiej kategorii instalacji (lub nadnapięcia) UWAGA! przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te wymogi. TV 401/301/21 NSF posiada konektory wejściowe/ wyjściowe i dla komunikacji szeregowej które muszą...
Page 153 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Unikać uderzeń, wahań lub gwałtownych przesunięć turbopompy podczas jej UWAGA! działania. Mogą uszkodzić się łożyska. Dla wlotu do powietrza pompy zastosować powietrze lub obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie wejściowe poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2 bar (ponad ciśnienie atmosferyczne).
Page 154 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Zielona dioda led znajdująca się na panelu podstawy TV 401/301/21 NSF wskazuje z częstotliwością własnego migania, stan operacyjny systemu: zaświecona na stałe: pompa znajduje się w normalnych obrotach; miga powoli ( okres 400 ms.): system w stanie zbocza, lub hamowania, lub w stanie Stop lub w stanie “Waiting for interlock”;...
Page 155 Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja TV 401/301/21 NSF nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROŻENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie wynosiła poniżej 50 °C.
Page 156 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objaśnienie znajdujące się na etykiecie napisu "WEEE" Użyty poniżej symbol jest zgodny z wymogiem zarządzenia "WEEE" Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, że wyrób nim oznaczony, nie może być przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemysłowymi odpadami, lecz musi być...
Page 157 TV 401/301 MS User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 158 Všeobecné informace 159 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 164 Zapnutí a používání vývěvy TV 401/301 MS Vypnutí vývěvy TV 401/301 MSse šroubovanou přírubou Nouzové zastavení 166 Údržba 167 Likvidace Překlad originálního návodu...
Page 158 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...
Page 159 Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
Page 160 Návod k Použití Uskladnění Tento manuál používá následující standardní protokol: NEBEZPEČÍ! Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení POZOR! mohly poškodit zařízení.
Page 161 Návod k Použití Příprava k instalaci Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. Příprava k instalaci Vývěva TV 401/301 MS se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení...
Page 162 Návod k Použití Instalace V normálním prostředí se vývěva TV 401/301 MS nemůže poškodit. Přesto POZNÁMKA doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem. Instalace Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte šroubovací POZOR! víko.
Page 163 Návod k Použití Instalace Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané prostředím: teplota: od +5 °C do +35 °C (viz diagram v příloze „Technické informace”) relativní vlhkost: 0 -95 % (bez srážení) V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním.
Page 164 Návod k Použití Použití Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva TV 401/301 MS do druhé POZOR! elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu. Vývěva TV 401/301 MS je vybavena vstupními a výstupními konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které se musí připojit k externím obvodům tak, aby žádná...
Page 165 Návod k Použití Použití NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Zapnutí a používání vývěvy TV 401/301 MS Pro uvedení vývěvy TV 401/301 MS do provozu je nutné přivést síťové...
Page 166 Návod k Použití Použití Vypnutí vývěvy TV 401/301 MSse šroubovanou přírubou Pro vypnutí vývěvy TV 401/301 MS je nutné vypnout síťové napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví. NEBEZPEČÍ! Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně...
Page 167 Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TV 401/301 MS nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Page 168 Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Page 169 TV 401/301 MS User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 171 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 173 Inštalácia Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 401/301 MS 177 Vypnutie zariadenia TV 401/301 MS 178 Núdzové zastavenie Údržba 179 Likvidácia Preklad originálneho návodu 169/264...
Page 170 Návod na Obsluhu Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...
Page 171 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
Page 172 Návod na Obsluhu Uchovávanie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: NEBEZPEČÍE! Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu. POZNÁMKA Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali...
Page 173 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu POZOR! do závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. Príprava na inštaláciu Zariadenie TV 401/301 MS sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení.
Page 174 Návod na Obsluhu Inštalácia Bežné vystavenie vplyvu prostredia nemôže zariadenie TV 401/301 MS POZNÁMKA poškodiť. Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie prachom. Inštalácia Ochranný kryt odstráňte tesne pred pripojením turbovývevy k systému. POZOR! Turbovývevy nespúšťajte, kým nie je pripojená...
Page 175 Návod na Obsluhu Inštalácia Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto podmienky prostredia: teplota: od +5 °C do +35 °C relatívna vlhkosť: 0 – 95 % (bez kondenzácie) V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“.
Page 176 Návod na Obsluhu Použitie Zariadenie TV 401/301 MS patrí do druhej inštalačnej (prepäťovej) kategórie POZOR! podľa smernice EN 61010-1. Zariadenie je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý vyhovuje uvedenej kategórii. Zariadenie TV 401/301 MS má konektory pre vstup/výstup a konektory sériovej komunikácie, ktoré je potrebné pripojiť k vonkajšiemu okruhu tak, aby nebola dostupná...
Page 177 Návod na Obsluhu Použitie NEBEZPEČÍE! Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Zapnutie a použitie zariadenia TV 401/301 MS Ak chcete zapnúť zariadenie TV 401/301 MS, musíte ho pripojiť ku zdroju napájania.
Page 178 Návod na Obsluhu Použitie Vypnutie zariadenia TV 401/301 MS Ak chcete vypnúť zariadenie TV 401/301 MS, musíte ho odpojiť od zdroja napájania. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví. NEBEZPEČÍE! Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné zariadenie Turbo-V napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré...
Page 179 Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie TV 401/301 MS nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍE! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Page 180 Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...
Page 181 TV 401/301 MS User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 182 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 401/301 MS Izklop naprave TV 401/301 MS 190 Zaustavitev v sili 190 Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 181/264...
Page 182 Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Page 183 Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Page 184 Priročnik za Navodila Shranjevanje Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: SVARILO! Opozorila so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila.
Page 185 Priročnik za Navodila Priprava za montažo Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko POZOR! vrniti v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. Priprava za montažo Naprava TV 401/301 MS je dobavljena v posebni zaščitni embalaži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno.
Page 186 Priročnik za Navodila Montaža Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati naprave OPOMBA TV 401/301 MS. Kljub temu je priporočljivo, da je enota zaprta dokler je ne namestite v sistem. S tem boste preprečili onesnaženje s prahom. Montaža Zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na sistem. Ne POZOR! dovajajte ničesar turbočrpalki dokler ta ni primerno priključena na vakuumski sistem.
Page 187 Priročnik za Navodila Montaža Tekom delovanja je treba spoštovati naslednje pogoje: temperatura: from +5 °C to +35 °C (glejte diagram pritisk- temperatura v prilogi “Tehnične informacije”) Relativna vlažnost: 0 -95 % (brez kondenza) V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom.
Page 188 Priročnik za Navodila Uporaba Po direktivi EN 61010-1 spada TV 401/301 MS v skupino za drugo nameščanje POZOR! (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo. Naprava TV 401/301 MS ima vhodne/izhodne in serijske priključke, ki jih je treba povezati na zunanja vezja tako, da noben električni del ni dosegljiv.
Page 189 Priročnik za Navodila Uporaba SVARILO! Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. Vklop in uporaba naprave TV 401/301 MS Za vključitev TV 401/301 MS morate priključiti napetost. Vgrajeni kontroler samodejno prepozna zaporo in prisotnost signalov za vklop ter zažene črpalko.
Page 190 Priročnik za Navodila Uporaba Izklop naprave TV 401/301 MS Za izklop naprave TV 401/301 MS morate prekiniti dovod napetosti. Vgrajen kontroler takoj zaustavi črpalko. SVARILO! Za varnost operaterja mora biti krmilnik Turbo-V napajan preko triveznega napajalnega kabla (glej tabelo delov, ki se lahko naročijo) z vtikačem (potrjen na mednarodnem nivoju).
Page 191 Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave TV 401/301 MS ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Page 192 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...
Page 193 TV 401/301 MS User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 194 General Information Storage Preparation for Installation 197 Installation Switching on and Use of TV 401/301 MS 201 TV 401/301 MS Switching off Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions 193/264...
Page 194 Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Page 195 Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
Page 196 Instructions for Use Storage This manual uses the following standard protocol: WARNING! Warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment Notes contain important information taken from the text.
Page 197 Instructions for Use Preparation for Installation If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. Preparation for Installation The TV 401/301 MS is supplied in a special protective packing.
Page 198 Instructions for Use Installation Normal exposure to the environment cannot damage the TV 401/301 MS. NOTE Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system, thus preventing any form of pollution by dust. Installation Do not remove the protective cap before connecting the turbopump to the CAUTION! system.
Page 199 Instructions for Use Installation During operation, the following environmental conditions must be respected: temperature: from +5 °C to +35 °C (see the diagram pressure- temperature in the appendix “Technical Information”) relative humidity: 0 – 95 % (non-condensing) In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield.
Page 200 Instructions for Use The TV 401/301 MS belongs to the second installation (or overvoltage) category CAUTION! as per directive EN 61010-1. Connect the device to a mains line that satisfy the above category. The TV 401/301 MS has Input/Output and serial communication connectors that must be connected to external circuits in such a way that no electrical part is accessible.
Page 201 Instructions for Use WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. Switching on and Use of TV 401/301 MS To switch on the TV 401/301 MS it is necessary to supply the mains.
Page 202 Instructions for Use TV 401/301 MS Switching off To switch off the TV 401/301 MS it is necessary to remove the mains. The integrated controller immediately stops the pump. WARNING! The Turbo-V controller must be powered with 3-wire power cord (see orderable parts table) and plug (internationally approved) for user's safety.
Page 203 Instructions for Use Maintenance Maintenance The TV 401/301 MS does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, WARNING! vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls...
Page 204 Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels. The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Page 205 TV 401/301 MS User Manual Technical Information Description of the TV 401/301 MS Pump Description 208 Controller Description 209 Technical Specification TV 401/301 MS Outline Interconnections 216 Input Power Connector 217 P3 – Spare P5 – External Fan 218 J5 - In-Out Signal Description 219 How to Connect the Output Open Collector of the Controller...
Page 206 Technical Information Window-Meanings Water Cooling Kit Installation Purge Valve Installation Serial Cable Installation TV 401/301 MS Controller Installation Connection of the Fore-Vacuum Pump TV 401/301 MS Insertion and Extraction 246 Insertion Procedure Extraction Procedure 250 Connection of the Electrical Connector Pump Used with Corrosive Gases Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts...
Page 207 Technical Information Description of the TV 401/301 MS Description of the TV 401/301 MS The TV 401/301 MS pumping system consists of a pump with a dedicated controller. The TV 401/301 MS pump model is 869-8928R003 (see the following figure). Figure 3 The controller model is the 120/220 Vac controller 969-8979M005.
Page 208 Technical Information Pump Description Pump Description The pump consists of a high frequency motor driving a turbine with two pumping ports and 3 Macrotorr stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end. The turbine is made of high-strength aluminium alloy, machined from a single block.
Page 209 Technical Information Pump Description Figure 4 Controller Description The dedicated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip microcomputer and is composed of two PCBs which include power supply and 3-phase output, analog and input/output section, microprocessor and digital section. The power supply, together with the 3-phase output, converts the single phase AC mains supply into a 3-phase output which is required to power the pump.
Page 210 Technical Information Technical Specification Technical Specification Tab. 2 Pumping speed (Intrinsic) Main port: Side port: 310 l/s 400 l/s 300 l/s 380 l/s 210 l/s 300 l/s Total compression ratio versus Main port: Side port: foreline: >3 x 10 1 x 10 1.4 x 10 1.4 x 10 6 x 10...
Page 211 Technical Information Technical Specification Protection fuse Compliance with: UNI EN 292-1 UNI EN 292-2 EN-CENELEC 55011 IEC 1000-4-2 (ex 801-2) IEC 1000-4-3 (ex 801-3) IEC 1000-4-4 (ex 801-4) EN 61010-1 (IEC 1010-1) EN 1012-2 Power cable With European or NEMA plug 3 meters long (optional) Serial communication (Navigator kit) RS232 cable with a 9-pin D type male connector and a 9-pin D type female connector, and Navigator software (optional)
Page 212 Technical Information TV 401/301 MS Outline TV 401/301 MS Outline The following figure shows the TV 401/301 MS outlines (dimensions are in mm [inches]). Figure 5 TV 401/301 MS outline, with standard controller mounted 212/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
Page 213 Technical Information TV 401/301 MS Outline The following figure shows the 869-8979M005 controller outline (dimensions are in inches [mm]). Figure 6 TV 401/301 NSF controller outline 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 213/264...
Page 214 Technical Information TV 401/301 MS Outline Figure 7 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (Main port) Figure 8 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (Side port) 214/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
Page 215 Technical Information TV 401/301 MS Outline Figure 9 Graph of compression ratio vs foreline pressure (Main Port) Figure 10 Graph of compression ratio vs foreline pressure (Side Port) 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 215/264...
Page 216 Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TV 401/301 MS interconnections. Figure 11 216/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
Page 217 Technical Information P3 – Spare Input Power Connector The following figure shows the input power connector. Figure 12 P3 – Spare Figure 13 This is a dedicated 24 Vdc spare connector; note that it can be also controlled by means of the serial connection. 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 217/264...
Page 218 Technical Information J5 - In-Out P5 – External Fan Figure 14 This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the optional external fan. J5 - In-Out Figure 15 This connector carries all the input and output signals to remote control the TV 401/301 MS.
Page 219 Technical Information J5 - In-Out Tab. 3 PIN N. SIGNAL NAME INPUT/OUTPUT START/STOP (+) START/STOP (-) INTERLOCK (+) INTERLOCK (-) SPEED SETTING (+) SPEED SETTING (-) SOFT START (+) SOFT START (-) +24 Vdc SPARE PROGRAMMABLE SET POINT SPARE FAULT OUTPUT PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (+) GROUND...
Page 220 Technical Information J5 - In-Out SPEED SETTING: PWM input signal to set the pump speed. The PWM signal characteristics must be the following: frequency: 100 Hz +/-20 % ampitude: 24 V max duty cycle range: from 25 % to 75 % corresponding to a pump speed from 750 Hz to 1010 Hz (see the following diagram).
Page 221 Technical Information J5 - In-Out PROGRAMMABLE SET POINT: this open collector output signal is enabled when the reference quantity chosen (frequency, current or time) is higher than the set threshold. The signal can be "high level active" (that is the output is normally at 0 Vdc and becomes 24 Vdc when activated), or "low level active"...
Page 222 Technical Information J5 - In-Out The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings: reference quantity: frequency threshold: 980 Hz hysteresis: 2 % activation type: low level delay time: 0 second RELAY CONTACT: this output signal is the repetition of the "PROGRAMMABLE SET POINT"...
Page 223 Technical Information J5 - In-Out When no external input-output device is available this connector must be closed with the supplied mating connector that short-circuits the START and INTERLOCK inputs with the GROUND input (see the following figure). Figure 18 How to Connect the Output Open Collector of the Controller Here below there are examples of typical connections of the input of TV 401/301 MS to an external system.
Page 224 Technical Information J5 - In-Out Figure 19 Case 1 224/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
Page 225 Technical Information J5 - In-Out Figure 20 Case 2 with relay utilisation 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 225/264...
Page 226 Technical Information J5 - In-Out Figure 21 Case 2 with transistor utilisation How to Connect the Outputs of the Controller The following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller.
Page 227 Technical Information J5 - In-Out Using internal 24 Vdc supply: Figure 22 Using external 24 Vdc supply: Figure 23 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 227/264...
Page 228 Technical Information J5 - In-Out J6 – Serial Figure 24 Output to a relay coil This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TV 401/301 MS. Tab. 4 PIN N.
Page 229 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description RS 232/RS 485 Communication Description Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector J6. The communication protocol is the same (see the structure below), but only the RS 485 manages the address field. Therefore to enable the RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the Navigator software.
Page 230 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description where: When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated NOTE data is the corresponding ASCII character. <STX> (Start of transmission) = 0x02 <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232) <ADDR>...
Page 231 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE. Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one NOTE used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR>...
Page 232 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 232/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
Page 233 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 233/264...
Page 234 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Command: READ PUMP STATUS Source: PC Destination: Controller (with address = 3) ADDR WINDOW Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: READ SERIAL TYPE Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR...
Page 235 Technical Information Window-Meanings Window-Meanings Tab. 7 Read/ Data Description Admitted Values Write Type Start/Stop Start = 1 (in remote mode the window Stop = 0 is a read only) Low Speed NO = 0 Activation YES = 1 (default = 0) Remote (default) or Remote = 1 Serial configuration...
Page 236 Technical Information Window-Meanings Read/ Data Description Admitted Values Write Type Baud rate 600 = 0 1200 = 1 2400 = 2 4800 = 3 9600 = 4 (default = 4) Pump life/ cycle time/ cycle To reset write ‘1’ number reset Interlock type Impulse = 0 (default = 1)
Page 237 Technical Information Window-Meanings Read/ Data Description Admitted Values Write Type Vent valve opening delay 0 to 65535 (expressed in 0.2 sec) (corresponding to 0 to 13107 sec) Reserved to Agilent service Pump current in mA dc Pump voltage in Vdc Pump power in W (pump current x pump voltage duty cycle)
Page 238 Technical Information Window-Meanings Read/ Data Description Admitted Values Write Type CRC Param. (PA) PA8XXXX (where “XXXX” are variable) CRC Parameter structure "XXXX" Reserved to Agilent service RS 485 address 0 to 31 (default = 1) Serial type select 0 = RS 232 1 = RS 485 (default = 0) 1.
Page 239 Technical Information Water Cooling Kit Installation Water Cooling Kit Installation Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9337 (metallic model), and 969-9347 (plastic model).
Page 240 Technical Information Water Cooling Kit Installation The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure Figure 28 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. The metallic model is assembled as shown in the figure.
Page 241 Technical Information Water Cooling Kit Installation Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. These hoses must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid NOTE that the tube(s) gets loose or disconnected during operation.
Page 242 Technical Information Purge Valve Installation Purge Valve Installation A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump(see “Accessories and Spare Parts” table). To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure, Figure 30 and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as...
Page 243 Technical Information Serial Cable Installation Figure 31 Serial Cable Installation The supplied serial cable must be installed when the TV 401/301 MS or the optional vent valve has to be controlled by means of a remote computer. The cable is installed fixing the 9 pin D-type connector into the P2 serial connector as shown in the following figure.
Page 244 Technical Information Serial Cable Installation Figure 32 244/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
Page 245 Technical Information TV 401/301 MS Controller Installation TV 401/301 MS Controller Installation The 969-8979M005 controller can not be mounted on bottom of the pump, like the standard controller, because it is not supplied with the plastic pads for snap mounting. It can be mounted on any flat surface by means of the three threaded holes on the controller casing (see controller outline drawing).
Page 246 Technical Information TV 401/301 MS Insertion and Extraction TV 401/301 MS Insertion and Extraction Material Needed TV 401/301 MS pump, PN 869-8928R003 (in the following: the pump, supplied), with O-rings already mounted in the factory. Quantity 6 screws, M6 × 20.8 mm, black, with spherical tip, resistance class 10.9 or greater (in the following: sphere-screws, supplied).
Page 247 Technical Information TV 401/301 MS Insertion and Extraction Figure 34 TV 401/301 MS flange insertion/extraction flange. Insertion smooth holes (6, RED CIRCLES @ 60°), extraction M6 threaded holes (3, BLUE RHOMBS @ 120°). Insertion Procedure Insert the pump into the chamber carefully and without tilting it. Align the 6 insertion smooth holes of the pump flange with the 6 threaded holes in the chamber flange (Fig.
Page 248 Technical Information TV 401/301 MS Insertion and Extraction Figure 35 When the axial distance between the pump flange and chamber flange is about 4 mm, engage 6 sphere-screws with washers (RED CIRCLES in Fig. 2) in the 6 outer flange threaded holes (Fig. 36). 248/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
Page 249 Technical Information TV 401/301 MS Insertion and Extraction Figure 36 Screw Engagement. Use the torque wrench, set @ 10 Nm. WARNING! Do not screw in the M4 screws present on the pump flange at a smaller diameter, and marked with yellow enamel. Screw in the 6 sphere-screws clockwise into the notched smooth holes present on the flange, starting anywhere, and proceeding 1/2 turn/lap, until the pump flange is in contact with the...
Page 250 Technical Information TV 401/301 MS Insertion and Extraction ½ turn ½ turn ½ turn ½ turn ½ turn ½ turn Figure 37 Get the pump flange in contact with the chamber flange and close the sphere-screws @ 10 Nm. Extraction Procedure Use a torque wrench, locked at a torque value >...
Page 251 Technical Information TV 401/301 MS Insertion and Extraction WARNING! Do not unscrew in the M4 screws present on the pump flange at a smaller diameter, and marked with yellow enamel. Engage 3 sphere-screws into the M6 threaded holes present on the pump flange (blue rhombus in Fig.
Page 252 Technical Information TV 401/301 MS Insertion and Extraction ½ turn ½ turn ½ turn Figure 39 When the pump is free, pull it out of the chamber carefully (Fig. 40). 252/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
Page 253 Technical Information TV 401/301 MS Insertion and Extraction Figure 40 Remove the 3 M6 screws from the pump flange. 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 253/264...
Page 254 Technical Information Connection of the Electrical Connector Connection of the Electrical Connector Figure 41 The turbopump is connected to the controller through an 6-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pins A and F are connected to the temperature sensor (NTC type, 30 KΩ resistance at 25°...
Page 255 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases To prevent bearing damage, Agilent suggests a minimum purge gas flow rate of CAUTION! 10 sccm (0.17 mbar l/s). This value can be exceeded, according to the process requirements. Please contact Agilent for specific applications. The purge gas throughput with the recommended forepump of 15 m /h (11 CFM) allows to achieve a high vacuum pressure in the 10 mbar range.
Page 256 Technical Information Pump Used in Presence of Magnetic Fields Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump TV 401/301 MS pump Figure 42 Purge layout Pump Used in Presence of Magnetic Fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation.
Page 257 Technical Information Accessories and Spare Parts If this increase is lower than 50 % of the power value drawn by the motor in high vacuum operation, no particular problem should be expected. However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Agilent's specialist.
Page 258 Technical Information Accessories and Spare Parts 258/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
Page 264 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

Ce manuel est également adapté pour:

Tv 401 ms 869-8928r004 969-8979m005

Agilent Technologies TV 301 MS Mode D'emploi

Liens rapides

Manuels Connexes pour Agilent Technologies TV 301 MS

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies TV 301 MS

Ce manuel est également adapté pour: