8. Entretien
AVERTISSEMENT :
Lors de la dépose de la pompe, portez un équipement de protection personnelle pour
vous prémunir contre les dommages dus à la défaillance de certains composants et
l'éventuelle accumulation de substances dangereuses susceptibles d'avoir été
pompées. Vérifiez que la pompe est remise à l'air, à une température sûre. Soyez
prudent quant aux substances répandues, bords coupants et débris éventuels. Le
retrait de l'écran d'aspiration de la pompe risque d'occasionner des blessures dues
aux bords coupants.
AVERTISSEMENT :
Laissez le rotor de la pompe s'arrêter, puis débranchez le contrôleur de moteur avant
de retirer la pompe du système de vide à des fins d'entretien ou d'identification des
pannes.
Tableau 23 Entretien
Maintenance des roulements
page 100
Durée de vie du rotor
à la page
100
Nettoyage de la pompe
100
Décodage des mots d'état de ser-
vice
à la page 101
Temps de fonctionnement du
contrôleur
à la page 102
Temps de fonctionnement de la
pompe
à la page 103
Cycles de la pompe
à la page 103 Vous pouvez contrôler le nombre de cycles de démarrage/d'arrêt
Temps de fonctionnement des
roulements
à la page 103
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B8J200883_D - Entretien
à la
Le roulement doit être remplacé lorsqu'il atteint la fin de sa durée
de vie. Ceci survient habituellement après 35 000 heures.
La durée de vie des rotors des pompes turbomoléculaires nEXT est
généralement de 40 000 à 50 000 cycles. À titre préventif, Edwards
recommande de renvoyer les pompes pour révision complète
(remplacement des rotors) après 20 000 cycles d'accélération à la
vitesse maximale et de décélération ou après 10 années d'utilisa‐
tion, selon le premier de ces événements.
à la page
Si l'intérieur de la pompe est contaminé, vous ne pourrez peut-être
pas atteindre les performances de vide limite spécifiées ou le
temps de pompage risque d'augmenter.
L'état de service est accessible directement via la liaison série. Cet-
te méthode d'accès permet d'obtenir l'aperçu le plus complet des
exigences de service actuelles et futures et de planifier les activités
d'entretien préventif.
Les heures de fonctionnement et la durée de service recomman-
dée du contrôleur de la pompe nEXT peuvent faire l'objet d'une
surveillance.
Les heures de fonctionnement et la durée de service recomman-
dée du rotor de la pompe nEXT peuvent faire l'objet d'une surveil-
lance.
effectués et le nombre de cycles restants avant le prochain entre-
tien.
Les heures de fonctionnement et la durée de service recomman-
dée du roulement de la pompe nEXT peuvent faire l'objet d'une
surveillance.
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