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Edwards nEXT730D Mode D'emploi page 3

Pompes turbomoleculaires

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Sommaire
1. Sécurité et conformité. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
1.1 Définition des messages Avertissement et Attention. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
1.2 Personnel formé. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2. Informations de sécurité importantes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.1 Danger mécanique. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.2 Dangers électriques. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.3 Risques thermiques. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.4 Risques provenant de matières et de substances. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.5 Dangers en relation avec les mesures et dispositifs de sécurité. . . . . . . . . . . 13
3. Vue d'ensemble. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
3.1 Informations de commande. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
3.2 Contrôleur de moteur. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
3.3 Fonctions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
3.4 Interface logique. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
4. Caractéristiques techniques. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
4.1 Conditions de fonctionnement et de conservation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
4.2 Caractéristiques techniques générales. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
4.3 Substances pompées. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
4.4 Spécifications des gaz rejetés et données de commande de remise à l'air. . 32
4.5 Matériaux exposés aux gaz pompés. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
4.6 Spécifications relatives au gaz de purge. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
B8J200883_D
300812671_003_C3
1.1.1 Symboles de sécurité. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3.3.1 Réglage de la limite de puissance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
3.3.2 Vitesse en veille. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
3.3.3 Programmateur. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
3.3.4 Sortie analogique. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
3.3.5 Options de remise à l'air automatique. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
3.3.6 Réglage de la vitesse normale. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
3.3.7 Freinage électronique. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
3.3.8 Surveillance des roulements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
3.4.1 Interface USB. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
3.4.2 Contrôle et surveillance en parallèle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
3.4.3 Contrôle et surveillance en série. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
3.4.4 Contrôle série avec surveillance parallèle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
3.4.5 Contrôle parallèle avec surveillance série ou configuration série. . . 22
3.4.6 Interface CAN. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
3.4.7 Configuration du contrôleur de moteur (configuration série). . . . . . 22
4.2.1 Courbes de vitesse de pompage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
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