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Cause
La pression d'admission est > 0,5 mbar (50 Pa).
Dépannage
Si la pression d'admission interétage est trop élevée, la pression au niveau de
l'admission turbomoléculaire augmente ; assurez-vous que la pression d'admission
interétage est à < 0,5 mbar (50 Pa).
Cause
La pression de refoulement est > 10 mbar (1 × 10
Dépannage
La pression de refoulement est peut-être trop élevée. Vérifiez l'absence de fuites
dans la conduite de refoulement. Un débit élevé peut imposer une pompe
secondaire plus grande.
Cause
La zone de vide poussé du système est contaminée.
Dépannage
Nettoyez le système de vide poussé.
Cause
Vérifiez si le reste du système ne présente pas de fuites ou de contamination.
Dépannage
Si tel est le cas, colmatez les fuites et nettoyez les zones contaminées.
Cause
La pression d'admission est faible.
▪ Retirez la pompe du système et testez la pression limite de la pompe seule
Dépannage
(voir ).
▪ Si la pression d'admission est faible, vérifiez si la pompe n'est pas contaminée
et reportez-vous au .
▪ Testez l'étanchéité de la pompe. Si le taux de fuite est > 1 × 10
× 10
Problème
La pompe est très bruyante, vibre énormément ou les deux
Cause
La vitesse de rotation de la pompe est identique à la fréquence de résonance du
système connecté.
Dépannage
Modifiez la fréquence naturelle du système ou isolez la pompe à l'aide de soufflets
flexibles.
Cause
Les vibrations sont transmises par la pompe primaire rotative.
Dépannage
Installez des soufflets flexibles ou un support anti‐vibratoire sur la canalisation
d'amorçage.
Cause
Le bruit est irrégulier et va en s'intensifiant.
Dépannage
Un roulement est défectueux. Contactez Edwards ou le fournisseur.
Cause
La pompe émet un bruit aigu constant.
Dépannage
Le rotor n'est plus équilibré. Contactez Edwards ou le fournisseur.
Problème
Aucune communication série
Cause
Pas d'alimentation électrique, perte de liaison série.
Dépannage
Vérifiez que l'alimentation électrique est branchée, que la liaison série est
connectée et que le circuit de validation série est actif.
B8J200883_D
300812671_003_C3
B8J200883_D - Identification des pannes
-5
-1
Pa l s
), contactez le fournisseur ou Edwards.
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3
Pa).
-7
mbar l s
09/2021 - ©Edwards Limited
-1
(1
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