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Edwards nEXT730D Mode D'emploi page 85

Pompes turbomoleculaires

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Utilisez l'électrovanne TAV à l'emplacement de la vanne de remise à l'air manuelle.
Utilisez une électrovanne de remise à l'air TAV raccordée à une bride adéquate du
système de vide.
Utilisez une autre vanne de remise à l'air, avec un étranglement approprié,
raccordée à votre système de vide.
En cas d'utilisation de l'électrovanne de remise à l'air TAV, vous ne pourrez remettre la
pompe intégralement à l'air quand elle se trouve à sa vitesse maximale que si le système
de vide présente un volume minimal de 5 litres.
Si le volume du système de vide est inférieur à 5 litres, intégrez un restricteur de remise
à l'air approprié et remettez la pompe à l'air lorsqu'elle est à pleine vitesse ou utilisez
l'option de remise à l'air contrôlée.
remise à l'air en cas de remise à l'air de la chambre du système de vide
appropriée de l'orifice à monter sur la vanne de remise à l'air pour un volume de
système de vide spécifique afin de maintenir la vitesse de montée en pression dans les
limites mentionnées à la section
de remise à l'air
Remarque :
Avec un restricteur de remise à l'air, le temps nécessaire pour remettre à l'air le système
de vide peut être trop long. Il est possible de réduire la durée de remise à l'air en utilisant
une vanne de remise à l'air sans restricteur de remise à l'air et en attendant que la
vitesse de la pompe ait diminué à 50 % de sa valeur maximale de rotation avant d'ouvrir
la vanne.
7.2.3 Commande de la vanne de remise à l'air
L'électrovanne TAV peut être contrôlée par le contrôleur de moteur nEXT ou par un
turbocontrôleur d'instruments TIC d'Edwards.
Le contrôleur nEXT peut contrôler la vitesse de remise à l'air en utilisant les options de
vanne de remise à l'air décrites dans le
Cette fonction permet de remettre à l'air la pompe à partir de sa vitesse de rotation
maximale de manière contrôlée sans endommager ses roulements. Une fois que la
vitesse de rotation de la pompe chute à moins de 50 % de sa valeur maximale, la remise
à l'air intégrale (ouverture au maximum de la vanne de remise à l'air) peut être effectuée
en toute sécurité, si la pompe secondaire est toujours allumée et que la vanne
secondaire est ouverte.
Pour utiliser la fonction de contrôleur nEXT, le contrôleur de pompe turbomoléculaire
nEXT est doté d'une prise de connexion auxiliaire à 4 broches sur le côté de la pompe,
comme illustré à la à laquelle la vanne de remise à l'air équipée du connecteur auxiliaire
est branchée.
Le contrôleur peut contrôler plusieurs options de remise à l'air différentes. Celles-ci sont
définies dans le
Le contrôleur peut être configuré pour une vanne de remise à l'air normalement ouverte
ou normalement fermée. Celles-ci sont définies dans le
cycle d'alimentation est nécessaire après avoir changé le type de vanne, avant que les
circuits de la sortie auxiliaire ne se conforment à la requête enregistrée.
B8J200883_D
300812671_003_C3
B8J200883_D - Utilisation
Le tableau : Diamètre due l'orifice du restricteur de
Spécifications des gaz rejetés et données de commande
à la page 32.
Tableau : Options de la vanne de remise à
Tableau : Options de la vanne de remise à
Page 85
indique la taille
l'air.
Tableau : Types de
vannes. Un
09/2021 - ©Edwards Limited
l'air.

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