Edwards nEXT730D Mode D'emploi

Pompes turbomoleculaires

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Pompes turbomoléculaires

nEXT730D, nEXT930D, nEXT1230H

MODE D'EMPLOI

B8J200883_D

300812671_003_C3

Traduction des instructions d'origine

Sommaire des Matières pour Edwards nEXT730D

Page 1 Pompes turbomoléculaires nEXT730D, nEXT930D, nEXT1230H MODE D’EMPLOI B8J200883_D 300812671_003_C3 Traduction des instructions d’origine...
Page 2 Avis de droit d'auteur ©Edwards Limited 2021. Tous droits réservés. Informations sur les marques Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex RH15 9TW. Non-responsabilité Le contenu de ce manuel peut être modifié à tout moment sans préavis. Nous déclinons toute responsabilité...
Page 3 4.6 Spécifications relatives au gaz de purge......33 B8J200883_D Page 3 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 4 6.1.7 Réglage de la vitesse normale....... 78 6.1.8 Réglage du programmateur et options......78 B8J200883_D Page 4 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 7 14.13 Alimentation électrique EPS 800....... . 126 B8J200883_D Page 7 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 8 Figure 1: Présentation du modèle nEXT......... 15 Figure 2: Courbes de vitesse de pompage pour nEXT730D......27 Figure 3: Courbes de vitesse de pompage pour nEXT930D.
Page 9 Les symboles de sécurité présents sur les produits indiquent les zones où il est nécessaire de faire attention. Les symboles de sécurité suivants sont utilisés sur le produit ou dans la documentation du produit. B8J200883_D Page 9 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 10 électrique et de la technologie du vide ainsi que ▪ du personnel spécialement formé au fonctionnement des pompes à vide. B8J200883_D Page 10 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 11 La pression dans la pompe ne doit pas dépasser 1,4 bar (abs.). ATTENTION : VIDE Aspirer dans le vide peut entraîner des blessures aux mains ou aux doigts. Ne pas mettre la pompe à vide en service si les brides sont ouvertes. B8J200883_D Page 11 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 12 à celle de l’atmosphère (21 %). L’exploitant est responsable de l’évaluation du potentiel de risque des agents de processus ou des mélanges. B8J200883_D Page 12 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 13 Installer un interrupteur d’arrêt d’urgence dans le système. L’interrupteur d’arrêt d’urgence doit être ■ présent dans l’installation du bâtiment ■ convenablement situé et facile d’accès pour l’utilisateur ■ et identifié comme le dispositif de déconnexion pour cet appareil. B8J200883_D Page 13 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 14 B8J200883_D - Vue d’ensemble 3. Vue d’ensemble Une pompe nEXT730D, nEXT930D ou nEXT1230H comprend une pompe turbomoléculaire associée à un contrôleur de moteur permanent contenant l’électronique de commande. Le contrôleur de moteur surveille l’alimentation électrique de la pompe. Il permet d’ajuster manuellement la vitesse en veille, et toutes les autres commandes peuvent...
Page 15 Nom de la pompe B8N4A0DU0 nEXT1230H ISO-K200 NW40 INV Les pompes nEXT730D et 930D peuvent être montées dans n’importe quelle orientation, les pompes nEXT1230H peuvent être montées ▪ horizontalement ou verticalement, avec la bride de vide poussé en haut et dans n’importe quelle orientation intermédiaire ou...
Page 16 Edwards, en y connectant un câble micro-USB standard. Ceci permet de configurer la pompe, de la surveiller et de la mettre à jour sans la débrancher de l’alimentation 48 V c.c. Ce logiciel peut être téléchargé sur le site Web de mises à jour Edwards : www.upgrades.edwardsvacuum.com.
Page 17 à la page 78). Si l’application nécessite une montée en régime lente de la pompe, augmentez ce délai. Le programmateur est activé en permanence pour la montée en régime. B8J200883_D Page 17 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 18 Remise à l’air contrôlée lorsque la vitesse est supérieure à 50 % et remise à l’air intégrale lorsqu’elle est inférieure à 50 % ▪ Remise à l’air intégrale immédiate à l’aide d’un restricteur approprié. B8J200883_D Page 18 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 19 En dehors de la plage de travail de la pom- Pour atteindre la durée de freinage électronique la plus rapide possible, la puissance restituée doit être consommée quelque part, par exemple : B8J200883_D Page 19 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 20 à la page 37. 3.4.1 Interface USB Le port USB est conçu pour fonctionner conjointement avec le logiciel PC nST2 Edwards. Le but primaire de cette interface est de permettre la configuration facile de la pompe nEXT. Certaines fonctionnalités de commande sont autorisées, dont MARCHE/ARRÊT, pour permettre des contrôles opérationnels via le port de service USB.
Page 21 Elle est identique à celle utilisée sur les autres pompes turbomoléculaires 24 V d’Edwards. Les commandes disponibles sont le démarrage et la veille. Il est possible de surveiller l’état du système à l’aide des signaux Normal, Défaillance et Sortie analogique.
Page 22 Lors d’une utilisation en parallèle du port de service USB associée au logiciel PC nST2 Edwards, le signal de validation série ne doit pas être connecté au 0 V pour que les communications série puissent avoir lieu. Tout en fonctionnant en mode de contrôle parallèle avec le port de service USB, tous les signaux de contrôle et surveillance en...
Page 23 Cette fonction est utile lors de la configuration de plusieurs pompes nEXT avec les mêmes paramètres avant leur installation dans un système. Le port USB peut aussi être utilisé conjointement avec le logiciel PC nST2 Edwards pour configurer la pompe nEXT. La configuration peut alors être téléchargée sur une autre pompe nEXT, de la même manière qu’avec un TIC, ce qui est utile lors de la configuration...
Page 24 Altitude de fonctionnement maximale 4 000 m (déclassé au-dessus de 2 000 m) Plage de températures ambiantes de stockage -15 °C à 70 °C 4.2 Caractéristiques techniques générales Tableau 3 Caractéristiques techniques des pompes nEXT730D et nEXT930D nEXT 730D 730D 930D 930D Raccord de vide poussé...
Page 25 * Selon la température ambiante, le débit et le type de gaz, un refroidissement par air forcé ou par eau peut s‘avérer nécessaire. Tableau 4 Caractéristiques techniques nEXT1230H nEXT 1230H Raccord de vide poussé 200 CF 200 ISO-F 200 ISO-K B8J200883_D Page 25 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 26 La pression maximale autorisée d’eau de refroidissement ne doit pas dépas- bar(rel.) bar (relatif) Surpression c.-à-d. Pression atmosphérique = 0 bar(rel.) Température de l’eau de refroidisse- °C 15 à 35 ment autorisée B8J200883_D Page 26 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 27 * Selon la température ambiante, le débit et le type de gaz, un refroidissement par air forcé ou par eau peut s‘avérer nécessaire. 4.2.1 Courbes de vitesse de pompage Figure 2 Courbes de vitesse de pompage pour nEXT730D 1 000 nEXT730D Azote Hélium...
Page 28 Hydrogène Argon Pression d’admission en mbar Figure 4 Courbes de vitesse de pompage pour nEXT1230H 1 600 1 400 nEXT1230H 1 200 1 000 Hélium Azote Argon Hydrogène Pression d’admission en mbar B8J200883_D Page 28 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 29 4. Câble d’interface de commande, 0,95 m de long avec prise 1. 1. Tableau 5 Dimensions en mm nEXT730D 160 ISO-K nEXT730D 160 CF 202,5 nEXT930D 200 ISO-K 241,3 nEXT930D 200 CF 246,8 B8J200883_D Page 29 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 30 4. Câble d’alimentation 48 V c.c., 0,6 m de long avec prise 5. Câble d’interface de commande, 0,95 m de long avec prise Tableau 6 Dimensions en mm nEXT1230H 200 CF 320.1 nEXT1230H 200 ISO-K 290.1 nEXT1230H 200 ISO-F 292.6 B8J200883_D Page 30 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 31 La pompe ne convient pas au pompage de gaz agressifs ou corrosifs. Consultez le manuel de Sécurité des pompes à vide et systèmes de vide Edwards P40040883 pour des informations de sécurité relatives aux spécifications, à la conception et au fonctionnement des pompes à...
Page 32 1 bar (relatif) 14,5 psig, 2 x 10 l’air maximale admissible Figure 7 Vitesse maximale admissible de montée en pression pendant la remise à l’air : pression / temps 1000 300 s B8J200883_D Page 32 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 33 Débit minimal ‑du refroidissement par eau 15 l hr (à 15 °C) Plage de températures de l’eau 10 °C à 40 °C Pression d’eau maximale 5 bar (relatifs), 72,5 psig, 5 x 10 Pa relatifs B8J200883_D Page 33 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 34 B8J200883_D - Caractéristiques techniques Paramètre Données de référence Matériaux exposés à l’eau de refroidisse- Laiton et laiton nickelé ment Figure 8 Humidité relative maximale pour éviter la condensation due au refroidissement par eau B8J200883_D Page 34 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 35 B8J200883_D - Caractéristiques techniques Figure 9 Spécifications relatives au refroidissement pour les pompes nEXT730D/930D nEXT 730D et 930D – pour azote 14,0 12,0 10,0 10,5 12,0 13,5 15,0 16,5 18,0 Pression en mbar nEXT 730D et 930D – pour Argon...
Page 36 électrique requise. Si vous disposez d’un équipement de communication série, sélectionnez le réglage de la limite de puissance de la pompe nEXT. B8J200883_D Page 36 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 37 Sans moyen pour procéder au réglage de la limite de puissance, utilisez une alimentation électrique capable de fournir assez de courant pour satisfaire au réglage de la limite de puissance par défaut d’Edwards présenté au Tableau : Caractéristiques techniques de l’interface...
Page 38 Branchement sur la broche 2 pour acti‐ Validation série ver la liaison série. Logique haute en présence d’une con- POK/transmission série/ dition de défaillance lorsque la valida- RS485 B+ tion série est inactive et que l’interrup- B8J200883_D Page 38 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 39 éle- vée 8, 13, 14 Alimentation électri- que : 0 V 1, 6, 11 Alimentation électri- Positive que : 24 V - 48 V c.c. B8J200883_D Page 39 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 40 ASCII imprimables. La taille maximale d’un message à envoyer est de 80 caractères, y compris les caractères de début et de fin. Remarque : Tous les caractères alphabétiques doivent être envoyés au format majuscules. La réponse peut contenir des caractères en minuscules. B8J200883_D Page 40 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 41 Reportez-vous à la section Fonctionnement en mode multipoint à la page 50 pour plus d’informations sur le fonctionnement des pompes nEXT en mode multipoint. B8J200883_D Page 41 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 42 50 % ?S854 Réglage de la limite !S855 nEXT730/930D : décimal watts Puissance maximale de la liaison de puissance 190..600 nEXT1230H : 300..800 ?S855 B8J200883_D Page 42 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 43 Température mesurée des roulements Réglages d’usine !S867 Rétablissement des réglages d’usine pour tous les paramètres et les options de configuration Version du logiciel ?S868 chaîne Numéro de version du logiciel du char- geur d’amorçage (D396696XXX) B8J200883_D Page 43 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 44 à l’air en cours. Il n’existe pas de commande d’ouverture de la vanne de remise à l’air, mais la commande d’arrêt (!C852 0) supprime l’annulation. B8J200883_D Page 44 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 45 Nombre d’heures restantes avant le pro- chain entretien des roulements Options de remise à !S853 décimal Remise à l’air intégrale en cas d’arrêt ou l’air 1 de défaillance à une vitesse < 50 % B8J200883_D Page 45 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 46 Remise à l’air intégrale si arrêt ou défail- lance Idem option 6 Alimentation de sortie activée en per- manence (ventilateur en marche) Ne pas utiliser Alimentation de sortie désactivée en permanence (ventilateur à l’arrêt) B8J200883_D Page 46 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 47 à une vitesse > 50 %, puis remise à l’air intégrale à une vitesse < 50 % En cas de défaillance, remise à l’air inté- grale En cas d’arrêt, remise à l’air intégrale à une vitesse < 50 % B8J200883_D Page 47 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 48 Remise à l’air intégrale en cas d’arrêt à une vitesse < 50 % Remise à l’air contrôlée si vitesse > 50 %, puis remise à l’air intégrale si vi- tesse < 50 % si arrêt. B8J200883_D Page 48 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 49 2000, soit depuis le 01/01/2000 00,00,00. Inactivité des roule- !S896 0..1 décimal 0 : Désactivation automatique BCON ments (conditionne‐ ?S896 1 : Activation automatique BCON ment automatique des roulements) B8J200883_D Page 49 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 50 Après avoir reçu une adresse ‑multipoint, une pompe nEXT ignorera tous les messages envoyés au format des pompes uniques. Une pompe nEXT restera silencieuse et ignorera tous les messages de commande tant que l’adresse ‑multipoint ne correspond pas à la sienne. B8J200883_D Page 50 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 51 Figure 13 Connexion multipoint RS485 1. Interface RS485 sur l’équipement de 1. Interface RS485 sur l’équipement de 2. Interface logique de la pompe nEXT 2. Interface logique de la pompe nEXT commande commande B8J200883_D Page 51 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 52 2 sont définis pour un ventilateur. Les refroidisseurs par air Edwards nEXT et les accessoires de vanne de remise à l’air (voir la section Accessoires), équipés du connecteur correspondant, sont préconfigurés sur la sortie auxiliaire 1 et sortie auxiliaire 2 pour des raisons de commodité...
Page 53 Ce voyant jaune clignote rapidement à chaque fois que le con- Voyant d’émission de trôleur de moteur transmet des données sur la ligne d’émis- communication série sion et peut être utile pour l’identification des pannes dans la (Tx) liaison série. B8J200883_D Page 53 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 54 Référez- vous au Tableau : Voyant de roulement. Remarque : Si une charge électrique externe est connectée au circuit de sortie Normal, le voyant Normal risque de s’allumer. B8J200883_D Page 54 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 55 à des fins de révision. Tableau 15 Liste de contrôle des éléments Quantité Description Vérifiez Pompe à vide turbomoléculaire nEXT730D, nEXT930D ou ❏ nEXT1230H Anneau de centrage à mailles intégré avec joint torique ❏ (modèles ISO uniquement. L’écran est monté sur les pom- pes CF).
Page 56 Ne pas mettre la pompe à vide en service si les brides sont ouvertes. Ne pas essayer d’atteindre la pompe. Lors de l’installation de la pompe à vide, d’abord brancher mécaniquement les entrées et les sorties puis effectuer ensuite les raccordements électriques. B8J200883_D Page 56 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 57 Les aubes du rotor de la pompe sont très coupantes. L’absence ou le retrait des écrans d’aspiration ou des crépines risque d’occasionner des blessures dues aux bords coupants ou aux pièces mobiles. B8J200883_D Page 57 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 58 Pour les pompes à bride ISO, Edwards propose une combinaison écran d’aspiration/joint torique avec bague de renfort. 5.2.2 Orientation d’installation Les pompes nEXT730D et 930D peuvent être montées dans n’importe quelle orientation, les pompes nEXT1230H peuvent être montées ▪ horizontalement ou verticalement, avec la bride de vide poussé en haut et dans n’importe quelle orientation intermédiaire ou...
Page 59 Lubrifiez et serrez les vis progressivement à un couple de 15 ▪ Si la pompe est équipée d’une bride ISO-K, utilisez le joint torique avec bague de renfort/écran d’aspiration Edwards fourni avec la pompe, et utilisez un minimum ▪ 12 griffes de serrage pour les pompes nEXT730/930D avec une limite d’élasticité...
Page 60 Serrez les boulons progressivement à un couple de 35 ▪ Si la pompe est équipée d’une bride ISO-F, utiliser l’écran d’aspiration Edwards fourni avec la pompe, un anneau de centrage avec joint torique et un minimum de 12 boulons M10 (qualité de boulon : 8,8 conformément à la norme EN ISO 898-1 avec revêtement, chacun étant serré...
Page 61 La pompe nEXT peut être contrôlée à l’aide d’un turbocontrôleur TIC, d’un turbocontrôleur d’instruments TIC ou d’un contrôleur TAG d’Edwards ou système client. La pompe nEXT peut être alimentée à l’aide de son câble d’alimentation raccordé à...
Page 62 11. Interface logique de la pompe nEXT 11. Interface logique de la pompe nEXT 5.4.1 Connexions à la terre (masse) Edwards recommande de raccorder un conducteur de masse distinct pour la mise à la terre de la pompe. Référez-vous à la figure : Connexions et commandes.
Page 63 équipement de mesure. Pour faire fonctionner la pompe nEXT sur l’alimentation électrique du client, utilisez un connecteur compatible approprié (non fourni) pour raccorder l’alimentation électrique au connecteur sur le câble d’alimentation de la pompe. B8J200883_D Page 63 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 64 À l’expédition de la pompe, la sortie analogique est configurée pour contrôler la vitesse de rotation de la pompe. Pour surveiller d’autres paramètres, reconfigurez la pompe nEXT à l’aide des commandes de l’interface série. Reportez-vous à la B8J200883_D Page 64 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 65 6. Interrupteur de démarrage 7. Interrupteur de veille (option) 7. Interrupteur de veille (option) 8. Voltmètre en option pour surveiller la 8. Voltmètre en option pour surveiller la sortie analogique sortie analogique B8J200883_D Page 65 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 66 Le logiciel de la pompe nEXT peut fonctionner avec plusieurs pompes connectées à un seul maître de liaison série. Il s’agit du « mode multipoint ». L’option RS485 est recommandée pour le mode multipoint. Avec l’option RS232, vous aurez besoin de B8J200883_D Page 66 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 67 Pour envoyer un message série par la liaison série, activez d’abord la validation série. Reliez le signal d’entrée de validation série (broche 5) à la broche 2 du connecteur compatible de l’interface logique du client. B8J200883_D Page 67 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 68 USB en utilisant le logiciel PC Edwards nST2. Il est également possible de contrôler la pompe à l’aide de commandes envoyées via l’interface série tout en surveillant le signal «...
Page 69 50 °C, le refroidissement est inadéquat et doit être intensifié. Les performances de la pompe risquent d’être affectées si vous ne refroidissez pas correctement la pompe nEXT et le contrôleur de moteur. Edwards recommande de refroidir la pompe, dans les limites du possible, par air forcé ou par eau. B8J200883_D Page 69 09/2021 - ©Edwards Limited...
Page 70 être comprise entre 5 °C et 40 °C. Vous devez prévoir une alimentation adéquate en air de refroidissement pour la pompe. ▪ Refroidissement par eau – de série pour nEXT1230H, en option pour nEXT730D et nEXT930D : utilisez le refroidissement par eau lorsque l’utilisation implique des charges importantes ou en cas d’utilisation d’une ceinture chauffante de bride (versions CF...
Page 71 1. Raccords de tuyaux pour tuyau 6x1 La pompe nEXT1230H intègre un bloc d’eau de refroidissement de série. Pour nEXT730D et nEXT930D : Fixez le bloc d’eau de refroidissement à la pompe à l’aide de quatre vis M4. Le couple de serrage est de 3 Brancher les tuyaux d’eau de refroidissement.
Page 72 B8J200883_D - Installation Vous pouvez utiliser un des raccords ajustés du refroidisseur par eau pour le raccordement de l’alimentation en eau ou de retour. B8J200883_D Page 72 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 73 Configuration de la pompe à l’aide d’un TIC Configuration de la pompe à l’aide d’un TIC à la page 81. Le logiciel PC nST2 Edwards peut aussi être utilisé pour configurer la pompe, soit par l’interface série, soit par le port de service USB. Remarque : Vous pouvez régler la vitesse en veille à...
Page 74 à la page 50). 6.1.2 Définitions des tableaux de commande et de réponse Explication des caractères de commande et de réponse. Tableau 16 Abréviations des commandes Signification Abréviation Caractère correspondant au retour chariot Caractères B8J200883_D Page 74 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 75 Par exemple, pour régler la limite à 500 W, veuillez saisir 500). Commande La réponse sera au format suivant : Réponse Le réglage de la limite de puissance est désormais mémorisé dans la pompe nEXT. B8J200883_D Page 75 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 76 L’option de remise à l’air est désormais mémorisée dans la pompe nEXT. Pour vérifier le réglage de l’option de remise à l’air, envoyez une requête comme suit : Commande La réponse sera au format suivant : B8J200883_D Page 76 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 77 La vitesse en veille est désormais mémorisée dans la pompe nEXT. Pour vérifier le réglage de la vitesse en veille, envoyez une requête comme suit : Commande La réponse sera au format suivant : Réponse B8J200883_D Page 77 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 78 Le programmateur est activé en permanence pendant la montée en régime‑, mais il est facultatif de l’activer à d’autres moments. À l’expédition de la pompe, le programmateur est activé par défaut. Pour désactiver le programmateur, envoyez la commande série suivante : B8J200883_D Page 78 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 79 Le réglage du signal de la sortie analogique est désormais mémorisé dans la pompe nEXT. Pour vérifier le réglage du signal de la sortie analogique activé, envoyez une requête comme suit : Commande La réponse sera au format suivant : Réponse B8J200883_D Page 79 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 80 La pompe nEXT est expédiée avec son mode multipoint désactivé, par défaut. Pour attribuer une adresse multipoint, envoyez la commande suivante (où les caractères « d » représentent l’adresse) : B8J200883_D Page 80 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 81 Connexions d’interface logiques TIC ou TAG à la page 62. Il est possible de définir les paramètres suivants de la pompe nEXT à l’aide du TIC : ▪ Réglage de la limite de puissance B8J200883_D Page 81 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 82 TIC. Remarque : Il est impossible de configurer les options de sortie analogique à l’aide du TIC. Le TIC ne permet pas non plus d’attribuer une ‑adresse multipoint à la pompe nEXT. B8J200883_D Page 82 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 83 Si le contrôleur de moteur est configuré pour commander un ventilateur, celui-ci démarrera automatiquement dès la mise sous tension de la pompe nEXT. Activez le dispositif de refroidissement approprié (ventilateur ou alimentation en eau de refroidissement). Démarrez la pompe secondaire. B8J200883_D Page 83 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 84 (ou le système de vide) à l’air chaque fois qu’elle est mise hors tension. 7.2.1 Vanne de remise à l’air manuelle Edwards recommande d’ouvrir la vanne de remise à l’air manuelle uniquement après que la vitesse de la pompe a chuté à 50 % de sa valeur de rotation maximale.
Page 85 7.2.3 Commande de la vanne de remise à l’air L’électrovanne TAV peut être contrôlée par le contrôleur de moteur nEXT ou par un turbocontrôleur d’instruments TIC d’Edwards. Le contrôleur nEXT peut contrôler la vitesse de remise à l’air en utilisant les options de vanne de remise à...
Page 86 Valeur par défaut en usine pour l’option de remise à l’air 1. § Valeur par défaut en usine pour l’option de remise à l’air 2 afin de permettre la fonction de refroidissement du ventilateur. B8J200883_D Page 86 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 87 Si la pompe nEXT est contrôlée par un turbocontrôleur TIC ou un turbocontrôleur d’instruments TIC d’Edwards, cet instrument peut commander l’électrovanne TAV. Consultez le mode d’emploi du TIC pour plus d’informations. 7.2.4 Autre vanne raccordée au système de vide En cas d’utilisation d’une autre vanne de remise à...
Page 88 AVERTISSEMENT : Après une mise hors tension d’urgence ou obligatoire de la pompe, le rotor continue de tourner à des vitesses très élevées. Il possède une énergie mécanique considérable jusqu’à son ralentissement/arrêt. B8J200883_D Page 88 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 89 à l’air libre peut occasionner des blessures dans la mesure où le rotor tourne à des régimes très élevés et que les pales tournantes risquent de ne pas être visibles. B8J200883_D Page 89 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 90 À la réception de la commande d’arrêt, le rotor de pompe décélère pour s’arrêter. Pour arrêter la pompe nEXT, envoyez la commande suivante via l’interface série : Commande La réponse sera au format suivant : B8J200883_D Page 90 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 91 Remarque : Le second nombre est un mot d’état système 32 bits (groupe de 8 caractères hexadécimaux), qui est utile pour l’identification des pannes. Voir Identification des pannes à la page 106. B8J200883_D Page 91 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 92 En mode de contrôle série, l’état du circuit de démarrage parallèle est ignoré, mais le circuit de validation série assure une fonction de verrouillage comme illustré à la Figure : B8J200883_D Page 92 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 93 7.6 Fonctionnement avec un TIC ou un TAG La pompe nEXT peut être connectée directement à un turbocontrôleur TIC, à un turbocontrôleur d’instruments TIC ou à un contrôleur TAG d’Edwards. Le CD-ROM portant le numéro de référence P450-00-000 accompagnant le turbocontrôleur TIC, le turbocontrôleur d’instruments TIC ou le contrôleur TAG fournit...
Page 94 Si la vitesse ne dépasse pas les 50 % avant l’expiration du délai d’attente, la pompe s’arrête et affiche un signal de défaillance. Si le programmateur est désactivé, la pompe s’arrête immédiatement et affiche un signal B8J200883_D Page 94 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 95 Le contrôleur de moteur signalera une condition de défaillance en cas de détection de ‑survitesse. Si la pompe fonctionne en survitesse, arrêtez-la et consultez Edwards ou le fournisseur. 7.8.4 Panne de courant En cas de défaillance de l’alimentation électrique de la pompe nEXT pendant son fonctionnement, son moteur fait office de générateur.
Page 96 çà de 50 % et que l’alimen- Démarrage. En mode de contrôle série, la pom- tation régénératrice a cessé pe nécessite une nouvelle commande de démar- rage pour monter à la vitesse désignée. Tout si- B8J200883_D Page 96 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 97 à 70 °C au niveau de la bride d’admission, elle doit être refroidie par eau pour éviter d’endommager le lubrifiant des roulements. Vous pouvez utiliser la ceinture chauffante de bride d’Edwards pour chauffer la pompe (voir la section Accessoires). Placez la ceinture appropriée autour de la bride d’admission CF de la pompe.
Page 98 B8J200883_D - Utilisation Lorsque la pompe atteint la phase d’arrêt, vous pouvez fermer la vanne de remise à l’air et la vanne secondaire, et éteindre la pompe secondaire. B8J200883_D Page 98 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 99 à la page La durée de vie des rotors des pompes turbomoléculaires nEXT est généralement de 40 000 à 50 000 cycles. À titre préventif, Edwards recommande de renvoyer les pompes pour révision complète (remplacement des rotors) après 20 000 cycles d’accélération à la vitesse maximale et de décélération ou après 10 années d’utilisa‐...
Page 100 Dans ce cas, vous devez renvoyer la pompe à un centre de service Edwards où elle sera démontée et nettoyée. Voir la section Renvoyer des équipements ou des composants pour entretien Renvoyer des équipements ou des composants pour entretien...
Page 101 10 et 11 ci-dessous. Indicateur de condition‐ Défini sur période d’inactivité du mode de nement de roulement rodage des roulements (Bearing Run In Mo- nécessaire de ou BRIM) dépassée, généralement 1 an. B8J200883_D Page 101 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 102 : Répon- sp d Notez que le nombre d’heures restantes avant l’entretien suivant est estimé par le contrôleur sur la base des conditions de fonctionnement de la pompe. Il peut donc être B8J200883_D Page 102 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 103 Envoyez la requête suivante : Commande La réponse sera la suivante, où le premier nombre correspond au temps de fonctionnement des roulements et le second, au nombre d’heures restantes avant l’entretien : Répon- sp d B8J200883_D Page 103 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 104 Stockez la pompe dans un endroit frais et sec, de préférence sans l’exposer à l’air atmosphérique, jusqu’à sa prochaine utilisation. Le moment venu, préparez et installez la pompe comme indiqué à la section Installation à la page 55. B8J200883_D Page 104 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 105 N’incinérez pas la pompe. Elle contient des substances phénoliques et à base de fluorosilicone susceptibles de se décomposer en substances très dangereuses lorsqu’elles sont chauffées à haute température. B8J200883_D Page 105 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 106 Dans ce cas, reportez-vous à la section Codes d’erreur clignotants à la page 111. En cas d’alimentation, en l’absence de signal Défaillance et si le rotor ne tourne toujours pas, la pompe est défectueuse. B8J200883_D Page 106 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 107 ▪ Vérifiez si les sources de chaleur externes (les éléments chauffants notamment) ne sont pas excessives. Cause Le rotor ne tourne pas librement. Dépannage Les roulements de la pompe sont peut-être endommagés. Contactez Edwards ou le fournisseur. Problème Il est impossible d’atteindre la pression limite Cause La pression est limitée par de la vapeur d’eau.
Page 108 Un roulement est défectueux. Contactez Edwards ou le fournisseur. Cause La pompe émet un bruit aigu constant. Dépannage Le rotor n’est plus équilibré. Contactez Edwards ou le fournisseur. Problème Aucune communication série Cause Pas d’alimentation électrique, perte de liaison série.
Page 109 Notez la position du clignotement long dans une série de 6 clignotements pour déterminer le code d’erreur. Reportez-vous à la section Codes d’erreur clignotants Codes d’erreur clignotants à la page 111 et suivez les instructions. B8J200883_D Page 109 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 110 Autres problèmes Cause Conditions de pannes autres que celles décrites précédemment. Dépannage Contactez Edwards ou le fournisseur. 11.1 Liste des codes d’erreur Codes d’erreur susceptibles d’être renvoyés pour un contrôle et une surveillance en série. Tableau 26 Liste des codes d’erreur de commande Signification Code d’erreur renvoyé...
Page 111 Si cette opération ne permet pas de faire disparaître l’indiun logiciel. Contactez Edwards ou le fournisseur. Si le voyant d’alarme clignote, identifiez le code d’erreur et consultez le tableau Décoder les mots d’état système...
Page 112 L’interface série donne accès à d’autres informations utiles pour identifier les pannes. L’envoi d’une requête pour surveiller la vitesse mesurée du moteur génère le renvoi par la pompe d’un mot d’état système. La commande d’envoi est la suivante : B8J200883_D Page 112 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 113 à 31 pour le bit le plus fort) comme illustré ci-dessous. présente la liste des 16 indicateurs d’état inférieurs utiles pour identifier les pannes. Les 16 indicateurs d’état supérieurs sont réservés à Edwards. Chiffres binaires 0 0 1 0 0 0 1 0 1 0 0 0 0 0 1 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 0 0 1 0 ê...
Page 114 État du bit (dans l’exem- Indication de bit ple) La pompe n’est pas défectueuse La pompe s’est arrêtée La vitesse est inférieure à la normale La vanne de remise à l’air est ouverte B8J200883_D Page 114 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 115 Envoyez la requête suivante pour déterminer la version du logiciel PIC : Commande La réponse est la suivante, où Chaîne 1 correspond au numéro de version du logiciel PIC : Réponse Chaîne 1 B8J200883_D Page 115 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 116 Nous fournissons des instructions pour remplir le formulaire de la Déclaration de contamination de l’équipement de vide et des composants – Procédure HS1. Si vous renvoyez une pompe à vide, veuillez prendre en note les éléments suivants : B8J200883_D Page 116 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 117 – Reportez-vous au manuel d’utilisation du nST2 pour plus d’informations. L’enregistrement de la durée d’inactivité des roulements vise à maximiser la durée de vie des roulements à bille installés. Si les roulements sont inactifs pendant une longue B8J200883_D Page 117 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 118 B8M200845 ments nEXT1230H Tableau 34 Kits d’entretien Kit d’entretien Numéro de référence Kit de roulements nEXT730D/930D B8J200827 Kit de roulements nEXT1230H B8M200827 12.4 Mode de rodage des roulements Le mode de rodage des roulements (BRIM) est une séquence de démarrage dédiée à la pompe conçu pour conditionner le roulement afin d’augmenter sa durée de vie.
Page 119 Après avoir terminé le changement du roulement, réinitialisez l’intervalle d’entretien afin de planifier le prochain entretien et de réinitialiser l’état du voyant. La réinitialisation du compteur d’entretien est décrite dans le manuel relatif au kit d’outils. B8J200883_D Page 119 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 120 Joint torique avec bague de renfort ISO 200 et écran B8J200807 d’aspiration à maillage grossier intégré DN 200 ISO-K Joint torique avec bague de renfort ISO 200 et écran B8J200808 d’aspiration à maillage fin intégré B8J200883_D Page 120 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 121 Les deux fiches du câble « Y » sont con- nectées en parallèle ; ainsi, l’une ou l’autre peut être utilisée de la même manière que le connecteur auxiliaire de la pompe elle-même. B8J200883_D Page 121 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 122 Remarque : La ceinture chauffante de bride n’est destinée qu’aux variantes CF. Tableau 40 Ceinture chauffante de bride Ceinture chauffante de bride Numéro de référence Ceinture chauffante de bride nEXT730D B58052775 (110 V) Ceinture chauffante de bride nEXT730D B58052776 (240 V)
Page 123 Le restricteur de remise à l’air à orifice fixe VRX permet de limiter le débit du gaz de remise à l’air dans la pompe. Tableau 42 Restricteur de remise à l’air VRX Restricteur de remise à l’air Diamètre de l’orifice (mm) Numéro de référence VRX10 B58066021 B8J200883_D Page 123 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 124 à réinitialiser les compteurs de maintenance et à mettre à jour le logiciel associé au contrôleur de moteur. Ce logiciel peut être téléchargé sur le site Web de mises à jour Edwards : www.upgrades.edwardsvacuum.com...
Page 125 à l’air TAV ou une combinaison des deux. Les deux fiches du câble « Y » sont connectées en parallèle ; ainsi, l’une ou l’autre peut être utilisée de la même manière que le connecteur auxiliaire de la pompe elle-même. B8J200883_D Page 125 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 126 (entre la pompe et l’alimentation électri- que) Cordon rallonge nEXT, 5 m B8J200825 (entre la pompe et l’alimentation électri- que) Support pour montage de l’EPS 800 sur la B8J200832 pompe (rondelles et boulons fournis) B8J200883_D Page 126 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_003_C3...
Page 128 Déclaration UE de conformité Edwards Ltd Responsable documentation Innovation Drive Jana Sigmunda 300 Burgess Hill Lutín, 78349 West Sussex République tchèque RH15 9TW Tél. : +42(0) 580 582 728 Royaume-Uni documentation@edwardsvacuum.com Produit spécifié et énuméré ci-dessous Pompes turbomoléculaires avec variateur de fréquence intégré...
Page 129 INFORMATIONS COMPLÉMENTAIRES CONCERNANT LA LÉGISLATION ET LA CONFORMITÉ RoHS (UE, R.-U.) : Informations concernant les exemptions de matériaux Ce produit est conforme aux exemptions suivantes de l’annexe III : 6(a) Plomb comme élément d’alliage de l’acier destiné à l’usinage et de l’acier galvanisé contenant jusqu’à 0,35 % de •...
Page 130 Cette page a délibérément été laissée vierge.
Page 131 Cette page a délibérément été laissée vierge.
Page 132 edwardsvacuum.com...

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