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Edwards nEXT730D Mode D'emploi page 33

Pompes turbomoleculaires

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4.5 Matériaux exposés aux gaz pompés
Les matériaux et types de composants suivants sont exposés aux gaz pompés :
Alliages en aluminium et en acier
Joints toriques ‑ et joints en fluoroélastomère
Lubrifiant hydrocarboné
CFP
Aimants à base de terres rares
Nitrure de silicium
PTFE
4.6 Spécifications relatives au gaz de purge
Tableau 8 Spécifications relatives au gaz de purge
Spécifications relatives au gaz de purge
Gaz de purge
Point de rosée maximal à la pression at-
mosphérique
Taille maximale des particules
Concentration maximale en huile
Débit (au besoin) du gaz de purge autorisé 20 à 50 sccm (0,33 à 0,84 mbar l s
Débit recommandé du gaz de purge
Pression d'alimentation en gaz de purge
maximale admissible
4.7 Refroidissement par eau
Tableau 9 Spécifications relatives à l'alimentation du bloc de refroidissement par eau
Paramètre
Qualité
Valeur pH
Concentration maximale en carbonate de
calcium
Concentration maximale en chlorure
Concentration minimale en oxygène
Débit minimal ‑du refroidissement par eau
(à 15 °C)
Plage de températures de l'eau
Pression d'eau maximale
B8J200883_D
300812671_003_C3
B8J200883_D - Caractéristiques techniques
Page 33
Données de référence
Air sec, azote, argon ou d'autres gaz iner-
tes
-22 °C
1 µm
0,1 partie par million
-1
à 84 Pa l s
)
-1
25 sccm (0,42 mbar l s
1 bar relatif ; 14,5 psig, 2 × 10
Données de référence
Eau mécaniquement propre et ne présen-
tant à l'examen optique aucun dépôt ni
turbidité
6,0 à 8,0
75 parts par million
100 parts par million
4 parts par million
-1
15 l hr
10 °C à 40 °C
5 bar (relatifs), 72,5 psig, 5 x 10
09/2021 - ©Edwards Limited
-1
ou 33
-1
, 42 Pa l s
)
5
Pa
5
Pa relatifs

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