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Edwards nEXT730D Mode D'emploi page 107

Pompes turbomoleculaires

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Problème
La pompe ne tourne pas après l'envoi d'une commande de démarrage série
Cause
Vérifiez si la pompe répond à la commande de démarrage.
Dépannage
En l'absence de réponse, effectuez les contrôles spécifiés dans la section
communication série
section
à la page 107.
Problème
La pompe ne répond pas en mode multipoint
Cause
Le mode multipoint est désactivé.
Dépannage
Assurez-vous que la pompe possède une adresse multipoint et que les commandes
sont envoyées à l'aide de la structure‑ multipoint.
Problème
Le voyant Normal vert ne s'allume pas, la pompe ne tourne pas à sa vitesse
maximale ou elle s'arrête en cours de fonctionnement
Cause
La pression d'admission est trop élevée.
Dépannage
Réduisez la charge de pompage ou vérifiez l'absence d'une fuite importante dans le
système.
Cause
La pompe est trop chaude.
▪ Intensifiez le refroidissement de la pompe. Passez du refroidissement par air
Dépannage
au refroidissement par eau (voir le pour connaître les spécifications relatives
au refroidissement et à la pression d'admission maximale).
▪ Augmentez le débit d'eau de refroidissement ou diminuez la température de
l'eau, ou les deux.
▪ Vérifiez si les sources de chaleur externes (les éléments chauffants
notamment) ne sont pas excessives.
Cause
Le rotor ne tourne pas librement.
Dépannage
Les roulements de la pompe sont peut-être endommagés. Contactez Edwards ou le
fournisseur.
Problème
Il est impossible d'atteindre la pression limite
Cause
La pression est limitée par de la vapeur d'eau.
Dépannage
Étuvez le système et la pompe.
Cause
Les jauges à vide sont contaminées.
Dépannage
Nettoyez ou remplacez les jauges à vide.
Cause
La vitesse de pompage est insuffisante en raison d'une mauvaise conductance
entre la pompe et la jauge ou
d'une chambre trop grande.
Dépannage
Augmentez la conductance ou réduisez le volume.
B8J200883_D
300812671_003_C3
B8J200883_D - Identification des pannes
à la page 108 ou procédez aux contrôles spécifiés dans la
La pompe ne tourne pas après l'envoi d'une commande de démarrage série
Page 107
Aucune
09/2021 - ©Edwards Limited

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