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Figure 3 Courbes de vitesse de pompage pour nEXT930D
1 000
800
600
400
200
0
-6
10
Figure 4 Courbes de vitesse de pompage pour nEXT1230H
1 600
1 400
1 200
1 000
800
600
400
200
0
-6
10
B8J200883_D
300812671_003_C3
B8J200883_D - Caractéristiques techniques
Azote
Hélium
Hydrogène
Argon
-5
-4
10
10
Pression d'admission en mbar
Hélium
Azote
Argon
Hydrogène
-5
-4
10
10
Page 28
-3
-2
10
10
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-2
10
10
Pression d'admission en mbar
09/2021 - ©Edwards Limited
nEXT930D
-1
1
10
nEXT1230H
-1
1
10
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