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Liste des illustrations
Figure 1: Présentation du modèle nEXT. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Figure 2: Courbes de vitesse de pompage pour nEXT730D. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Figure 3: Courbes de vitesse de pompage pour nEXT930D. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Figure 4: Courbes de vitesse de pompage pour nEXT1230H. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Figure 5: Plan coté pour les pompes nEXT730-930D. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
Figure 6: Plan coté pour la pompe nEXT1230H. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Figure 7: Vitesse maximale admissible de montée en pression pendant la remise à l'air :
pression / temps. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
Figure 8: Humidité relative maximale pour éviter la condensation due au refroidissement
par eau. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
Figure 9: Spécifications relatives au refroidissement pour les pompes nEXT730D/930D. . 35
Figure 10: Spécifications relatives au refroidissement pour la pompe nEXT1230H. . . . . . 36
Figure 11: Circuits d'interface des contrôleurs de pompes turbomoléculaires nEXT. . . . . 40
Figure 12: Schéma conceptuel d'une connexion multipoint à l'aide de l'interface RS232. 51
Figure 13: Connexion multipoint RS485. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
Figure 14: Connecteur de vanne. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
Figure 15: Système de pompage type avec une pompe nEXT. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
Figure 16: Connexions et commandes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
Figure 17: Orientation de montage pour nEXT1230H. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
Figure 18: Orientation de montage pour nEXT1230H INV. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
Figure 19: Vue du contrôleur. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
Figure 20: Connecteur d'alimentation électrique. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
Figure 21: Connexions de l'interface logique – contrôle parallèle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
Figure 22: Connexions simplifiées de l'interface logique - contrôle parallèle. . . . . . . . . . . 66
Figure 23: Connexions de l'interface logique - contrôle série RS232. . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
Figure 24: Connexions de l'interface logique - contrôle série RS485. . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
Figure 25: Connexion de l'interface logique - fonctionnement mixte en parallèle et en série
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
Figure 26: Fixation du refroidissement par eau. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
Figure 27: Organigramme du contrôle série et parallèle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
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