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Edwards nEXT730D Mode D'emploi page 59

Pompes turbomoleculaires

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RECOMMANDATION : ENDOMMAGEMENT DE LA POMPE
La pompe peut être endommagée si elle est installée et utilisée dans la mauvaise
orientation.
Observez l'autocollant apposé sur la pompe et installez-la uniquement dans
l'orientation autorisée.
5.2.3 Montage de la pompe
AVERTISSEMENT : ÉJECTION DE PIÈCES
Si le montage n'est pas suffisamment solide, le blocage de la pompe risque de
provoquer une rupture de la pompe ; les composants internes de la pompe
pourraient être projetés dans toutes les directions.
Fixez solidement la pompe sur la chambre de vide. Ne faites jamais fonctionner la
pompe sans bride appropriée dans la chambre de vide (par exemple, lors d'un essai
sur banc). En cas de destruction du rotor, une torsion soudaine de l'ensemble de la
pompe est possible. La chambre de vide doit être capable d'absorber le couple de
5 kNm max. pour le modèle nEXT730/930D et de 9 kNm max. pour le modèle
nEXT1230H autour de l'axe de rotation du rotor en cas de destruction soudaine du
rotor.
Quand une défaillance de la pompe survient, il y a de grandes chances que des pièces
soient éjectées dans le système de vide sur lequel elle est montée. Si un tel cas se
produit, le client doit s'assurer que cela ne constitue aucun risque.
Assurez-vous que l'admission de la pompe et tous les éléments qui y sont raccordés sont
propres et exempts de poussière. Si l'admission de la pompe n'est pas propre, le temps
de pompage peut augmenter.
Les raccords à l'admission pour les pompes nEXT sont des brides CF ou ISO.
Si la pompe est équipée d'une bride CF, utilisez le joint à compression en cuivre
fourni et un jeu complet de boulons pour raccorder la bride d'admission de la
pompe au système de vide. Des vis de qualité 8.8 ou A2(A4)-70 minimum sont
nécessaires. Lubrifiez et serrez les vis progressivement à un couple de 15
Si la pompe est équipée d'une bride ISO-K, utilisez le joint torique avec bague de
renfort/écran d'aspiration Edwards fourni avec la pompe, et utilisez un minimum
de
Vous pouvez également utiliser un collier tournant et le joint torique avec bague
de renfort/écran d'aspiration fourni pour raccorder la bride d'admission de la
B8J200883_D
300812671_003_C3
B8J200883_D - Installation
12 griffes de serrage pour les pompes nEXT730/930D avec une limite
d'élasticité minimale de 380 N/mm
+3
de 20
Nm.
18 griffes de serrage pour la pompe nEXT1230H avec une limite d'élasticité
minimale de 500 N/mm
+3
27
Nm.
12 griffes pour les pompes nEXT730/930D avec boulons de classe ISO 8,8
minimum. Serrez les vis progressivement à un couple de 35
Il est interdit de monter la pompe nEXT1230H avec des griffes.
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2
. Serrez les griffes de serrage à un couple
2
. Serrez les griffes de serrage à un couple de
+2
Nm.
+5
Nm.
09/2021 - ©Edwards Limited

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