Capteur Bypass En Technologie Cmosens (Types 8713 / 8703 / 8712 / 8702 / 8711 / 8701) - Burkert 8626 Instructions De Service

Capteur bypass en technologie CMOSens
(types 8713 / 8703 / 8712 / 8702 / 8711 / 8701)
Avec cette technologie, le débit massique est mesuré dans un canal d'écoulement
de forme spéciale, dont la paroi contient une puce Si sur une membrane décapée
en un point. Sur cette membrane sont appliqués en technologie CMOSens
résistance de chauffage et symétriquement en amont et en aval de celle-ci deux
capteurs de température.
Si la résistance de chauffage est alimentée avec une tension constante, la
différence de tension des capteurs de température est une mesure du débit
massique du gaz au contact de la puce dans le canal d'écoulement.
Flux gazeux
Elément capteur
Figure: Schéma de principe du capteur en bypass de technologie CMOSens
La section du canal d'écoulement est si petite que des débits inférieurs à 1 cm
min produisent déjà un signal de mesure suffisant. La limite supérieure de la
gamme de mesure est atteinte lorsque l'écoulement laminaire initial devient turbu-
lent dans le canal. Il est possible d'obtenir des gammes de débit supérieures en
montant un élement en dérivation dans un canal parallèle, présentant la même
caractéristique débit-pression que le canal du capteur. Avec un rapport de division
constant, la mesure du débit partiel, après étalonnage, permet également de
déduire le débit total.
La faible inertie thermique des capteurs de température et leur contact direct avec
l'écoulement (jusqu'à une couche de protection) ont pour conséquence que le
signal du capteur réagit très rapidement aux variations instantanées du débit. Il en
résulte que le MFC est capable de corriger des variations de consigne ou de la
variable instantanée en moins de 100 ms. De surcroît, le capteur possède une
sensibilité élevée jusqu'aux débits les plus faibles, et présente des possibilités
supplémentaires de diagnostic et de correction via le signal d'un autre capteur de
température sur la puce.
108 - MFC/MFM
Capteurs T
Chauffage
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