MassFlowController (MFC)
type 8626 / 8710 / 8711 / 8712 / 8713 / 8716
type 8006 / 8700 / 8701 / 8702 / 8703 / 8706
REMARQUES GENERALES ................................................................................. 101
Consignes de sécurité ........................................................................................ 101
électrostatiques ................................................................................................... 102
Fourniture ............................................................................................................ 102
Description des types ......................................................................................... 103
Fonctionnement général ..................................................................................... 104
Capteurs .............................................................................................................. 105
(Types 8710 / 8700) ...................................................................................... 107
Vanne proportionnelle .......................................................................................... 110
MassFlowMeter (MFM)
MFC/MFM - 99