Pfeiffer Vacuum PASCAL Serie Manuel De L'utilisateur page 5

Une gamme étendue
Des solutions spécifiques,
adaptées aux différentes
applications.
FR – 4
Présentation de la famille
Les pompes à vide à palettes à joint d'huile sont utilisées dans toutes les applications de
la technique du vide.
Elles peuvent être utilisées seules pour l'obtention de vide jusqu'à une pression
totale de quelques 1 · 10
refoulement d'une pompe à diffusion, d'une pompe turbomoléculaire.
Série SD Pompes standards pour applications non corrosives.
Fabrication de lampes, production de tubes TV, fabrication de tubes électroniques,
métallurgie, centrifugeuses...
Série C1 Pompes adaptées au pompage de gaz corrosifs.
R&D, laboratoires, lyophilisation, pompage de solvants...
Série C2 Pompes dont la résistance est accrue pour répondre aux exigences des
procédés les plus aggressifs de l'industrie des semiconducteurs.
Implantation ionique, sputtering...
Débit nominal m
Série SD
Série C1
Série C2
-3
hPa, ou dans des ensembles de pompage, par exemple au
3
/h 30 60
2033SD 2063SD
2033C1 2063C1
2033C2 2063C2