Pfeiffer Vacuum ATH 2800 M Manuel De L'utilisateur
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Voir aussi pour ATH 2800 M:
- Manuel de l'utilisateur (84 pages) ,
- Manuel de l'utilisateur (62 pages) ,
- Manuel de l'utilisateur (60 pages)
Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum ATH 2800 M
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum ATH 2800 M
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Original ATH 2800 M/MT - ATH 3200 M/MT Pompe Turbomoléculaire à paliers magnétiques...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 Table des matières Table des matières A propos de ce manuel Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Produits concernés Conventions 1.2.1 Pictogrammes 1.2.2 Groupe cible 1.2.3 Instructions dans le texte 1.2.4 Etiquettes 1.2.5 Abréviations Sécurité Consignes générales de sécurité Consignes de sécurité Consignes pour les matériaux pyrophoriques/inflammables Précautions Usage conforme à...
- Page 4 7.4.2 Vidange du circuit d'eau 7.4.3 Conditionnement de la pompe pour expédition Mise hors service Immobilisation prolongée Remise en service Mise au rebut Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Accessoires Pièces de rechange Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Généralités 12.2 Caractéristiques techniques 12.3 Caractéristiques environnementales...
- Page 5 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Charges transmises à l'équipement Tab. 2: Fixation de la bride de vide élevé (bride d'aspiration) Tab. 3: Tableau de conversion : unités de pression Tab. 4: Tableau de conversion : unités de débit de gaz Tab.
- Page 6 Description d'une pompe ATH 3200 M Fig. 3: Raccordement mécanique de la pompe dans l'équipement Fig. 4: Graphe des charges transmises à l'équipement - ATH 2800 M-MT / 3200 M- Fig. 5: Installation de la pompe à l'horizontale Fig. 6: Installation, aspiration vers le haut Fig.
- Page 7 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
- Page 8 A propos de ce manuel Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologi- que.
- Page 9 A propos de ce manuel Cette étiquette met en garde l'utilisateur contre le risque de blessure en cas de contact de la main avec une surface chaude : s'équiper de gants de protection avant toute inter- vention. Cette étiquette met en garde l’utilisateur contre les gaz pom- pés qui peuvent être dangereux, toxiques et peuvent entraî- ner des blessures graves ou la mort.
- Page 10 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
- Page 11 ► Respecter scrupuleusement les recommandations d'installation décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum décline toute garantie et responsabilité en cas de non-respect des instructions d’installa- tion. ► Utiliser exclusivement les pièces d'origine autorisées de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour le raccordement dans l'équipement. AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère...
- Page 12 Sécurité AVERTISSEMENT Risque de blessure au contact de l’azote sous pression Le produit utilise de l’azote sous pression comme gaz de balayage. Une installation non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur. ►...
- Page 13 Sécurité 2.3 Consignes pour les matériaux pyrophoriques/inflammables L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit a l’entière responsabilité de la sécurité de l’installation de la pompe, de l’équipement mais aussi du système de traitement des gaz. L’utilisateur et/ou l’intégrateur est responsable de l’application qui utilise le produit. Le pompage de gaz pyrophoriques ou inflammables peut présenter des risques.
- Page 14 Sécurité 2.4 Précautions Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du per- sonnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité...
- Page 15 Sécurité ● L'utilisation d'accessoires ou pièces de rechange qui ne sont pas mentionnés dans ce manuel ● L’utilisation dans des zones à risque d'explosion ● L’utilisation de la pompe à vide pour générer de la pression ● L’exploitation dans des zones à rayonnements ionisants ●...
- Page 16 Transport et stockage 3 Transport et stockage 3.1 Réception du produit Etat de la livraison ● S'assurer que le produit n'a subi aucun dommage pendant le transport. ● Si le produit est endommagé, aviser le transporteur et informer le constructeur. ► Maintenir le produit dans son emballage d’origine pour préserver la propreté que nous lui avons apportée : le déballer uniquement sur son lieu d’utilisation finale.
- Page 17 Transport et stockage 1. Sangle 2. Anneau de levage Manutention avec un palan Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la mas- se du produit. La masse et la position du centre de gravité varient selon le modèle (voir chapitre « Di- mensions »).
- Page 18 Description du produit 4 Description du produit 4.1 Identification du produit Pour identifier le produit de manière sûre et pour communiquer avec notre centre de service, se référer aux informations figurant sur la plaque signalétique du produit (voir chapitre « Etiquettes »). 4.1.1 Contenu de la livraison ●...
- Page 19 Description du produit 4.2 Interface homme/machine Fig. 1: Description d'une pompe ATH 2800 MT 1 Filtre pare-éclats Raccordement d'eau (IN) 2 Bride d'aspiration (vide élevé) Bride de refoulement (Pump exhaust) 3 Purge de gaz neutre (Purge) Connecteur de la ceinture chauffante Fig.
- Page 20 Vacuum décline toute garantie et responsabilité en cas de non-respect des instructions d’installa- tion. ► Utiliser exclusivement les pièces d'origine autorisées de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour le raccordement dans l'équipement. Le raccordement de la pompe à l’équipement doit être suffisamment rigide pour absorber l’énergie ciné- tique libérée par le rotor si la pompe se bloque brutalement.
- Page 21 Installation 5.1.1 Spécifications d'installation Turbo Fig. 3: Raccordement mécanique de la pompe dans l'équipement 1 Chambre à vide Châssis 2 Equipement Point d'ancrage sécurisé Description d’un scénario de blocage brutal L’énergie cinétique du rotor doit être absorbée par l’installation si la pompe se bloque brutalement. Les charges résultantes maximum ont été...
- Page 22 Installation Temps ms Fig. 4: Graphe des charges transmises à l'équipement - ATH 2800 M-MT / 3200 M-MT 1 Pompe Turbo Vanne avec plaque pendulaire Caractéristiques Unité ATH 2800 M/MT ATH 3200 M/MT Vitesse nominale 25000 25000 Énergie Couple (C) Max.
- Page 23 Installation ATH 2800 M ATH 3200 M Type de bride d'aspiration DN250 ISO-F DN320 ISO-F 12-9 12-9 Qualité des vis 30 N·m 50 N·m Couple de serrage par vis Force de serrage totale 161500 N 232500 N Longueur des vis ≥...
- Page 24 Installation Mise en place de la pompe 1. Manutentionner la pompe, (voir chapitre « Manutention de la pompe »). 2. Raccorder et sécuriser la fixation de la pompe turbomoléculaire pour garantir la sécurité du per- sonnel et la fiabilité du fonctionnement (voir chapitre « Spécifications d'installation »). 3.
- Page 25 Installation Fig. 6: Installation, aspiration vers le haut 1 Table de levage (exemple) Mise en place de la pompe avec aspiration vers le haut Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la mas- se du produit.
- Page 26 Installation Consignes générales pour une installation dans la ligne de pompage selon les règles de l'art Les raccordements à l'aspiration et au refoulement de la pompe ne doivent pas engendrer de contrain- tes pouvant provoquer des fuites sur la ligne de pompage. 1.
- Page 27 Installation 5.3.2 Raccordement côté refoulement AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un ris- que d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère.
- Page 28 Installation 5.4.1 Procédure de montage des raccords Procédure de collage et serrage des raccords filetés 1. Utiliser des raccords 1/4 NPT mâle (fourniture à la charge du client). 2. Coller les raccords avec de la colle oléo-étanche ou mettre du ruban d'étanchéité PTFE sur le file- tage.
- Page 29 Installation Fig. 7: Raccordement du circuit de refroidissement 1 Water out Water in 1. Prévoir une canalisation d'arrivée d'eau et un robinet pour ajuster le débit. 2. Connecter sur le circuit d'entrée d'eau au WATER IN et la sortie d'eau au WATER OUT du circuit d'évacuation de la pompe.
- Page 30 Installation Débit (SCCM) Pression absolue à l’aspiration (hPa) 1000 1100 1200 1300 1400 1500 Fig. 8: Graphe Débit de purge 1 Réducteur de flux 50 sccm Dispositif de purge 50 sccm Le fonctionnement de cette purge est continu. Le réducteur de flux garantit un débit de 50 sccm pour une pression de 1,1 ·...
- Page 31 Installation 3. Coller le raccord avec de la colle oléo-étanche, ou mettre du ruban d'étanchéité PTFE sur le fileta- 4. Serrer le raccord en appliquant un couple de 10 N·m maximum. 5. Régler la pression de gaz neutre afin d'obtenir le débit recommandé (voir le graphe Débit de pur- ge).
- Page 32 Installation 5.8 Raccordement électrique AVERTISSEMENT Risque d'électrocution lié à une installation électrique non conforme Le produit utilise la tension secteur comme alimentation électrique. Une installation électrique non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie des utilisateurs. ►...
- Page 33 Installation ► Supprimer l'origine du défaut. ► Rétablir l’alimentation électrique. – Interrupteur secteur de l'unité de commande électronique sur I. 5.8.1 Protection de l'installation électrique du client Protection par disjoncteur Le réseau de puissance alimentant l’équipement doit être équipé d’un disjoncteur, courbe D suivant IEC 60947-2, conforme à...
- Page 34 Utilisation 6 Utilisation 6.1 Précautions préalables à l'utilisation AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un ris- que d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère.
- Page 35 Utilisation 6.2 Démarrage de la pompe 6.2.1 Mise sous tension ► Positionner l'interrupteur secteur de l'unité de commande électronique sur I : l'électronique s'initia- lise. 6.2.2 Démarrage du pompage Les étapes suivantes décrivent l’utilisation de la pompe quelle que soit l’interface de commande : ●...
- Page 36 Utilisation 6.3 Arrêt de la pompe 6.3.1 Arrêt du pompage AVIS Risque d'endommager la pompe en générant un arc électrique La pompe et son unité de commande électronique ne doivent pas être débranchées du réseau élec- trique avant l'arrêt complet de la rotation du rotor et tant que l'ensemble n'est pas isolé du réseau électrique : un arc électrique est créé...
- Page 37 Utilisation Si l’alimentation revient avant que la vitesse minimum soit atteinte, la pompe reprend alors sa vitesse sans aucune perturbation. Le compteur des roulements de secours ne se décrémente pas. Dans le cas où la vitesse minimum est atteinte avant que l’alimentation secteur ne soit revenue : ●...
- Page 38 Maintenance 7 Maintenance 7.1 Consignes de sécurité pour la maintenance DANGER Risque pour la santé lié aux traces résiduelles de gaz de procédés à l'intérieur de la pompe Les gaz de procédés sont toxiques et dangereux pour la santé. Ils peuvent entraîner l’empoisonne- ment ou la mort.
- Page 39 : les roulements de secours doivent impérativement être remplacés. Si d’autres atterrissages se produisent, le compteur continue de décroître jusqu’à 0 %. Ces roulements doivent être remplacés par un centre de service Pfeiffer Vacuum. Rotor de la pompe La durée de vie du rotor de la pompe varie suivant les conditions de fonctionnement et les applications.
- Page 40 6. Mise en place d’une nouvelle pompe (voir chapitre « Installation»). Pour tout retour d’un produit vers nos centres de service, prendre connaissance de la procédure de de- mande de Service et remplir la déclaration de contamination (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 45). 40/58...
- Page 41 Maintenance 7.4.1 Déconnexion de la pompe de l'installation Rappel des risques et mesures de sécurité ● Observer les consignes de sécurité pour la maintenance. ● Appliquer les consignes de sécurité spécifiques conformément à la législation locale : ces informations sont disponibles auprès du service de sécurité du client. Procédure de déconnexion 1.
- Page 42 Maintenance Balayage général 1. Installer l'obturateur équipé de l'injecteur sur le raccord Purge. 2. Raccorder l'azote sur le raccord gaz prévu à cet effet. 3. Réaliser un balayage à l’azote en injectant une pression relative de 120 à 150 hPa pendant 30 minutes. 4.
- Page 43 Toutes les pompes de procédé sont conçues pour fonctionner en continu sur des applications de pompage de gaz de procédés et ne doivent pas être arrêtées. Pfeiffer Vacuum décline toute garantie et responsabilité lorsqu’une pompe de procédé est arrêtée pour une durée prolongée pouvant provo- quer la condensation des sous-produits, le dépôt de poudres et la corrosion à...
- Page 44 Mise hors service ● les élastomères fluorés qui peuvent se décomposer s’ils ont été soumis à de hautes températu- res, ● les composants en contact avec les produits résultant de procédés qui ont pu être contaminés. 44/58...
- Page 45 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 46 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 47 Accessoires 10 Accessoires Accessoire Fonction Description Dimension Réf. Vanne d'iso- Cette vanne s’utilise pour maintenir le Vanne manuelle voir catalogue constructeur lement vide dans la pompe et l’isoler de la li- gne de pompage. Filtre pare- Ce filtre protège la pompe contre l’as- Filtre bombé...
- Page 48 Pièces de rechange 11 Pièces de rechange Désignation Réf. Remarques Bobine 24 VDC 038066 sur électrovannes de purge et d’entrée d’air Bobine 24 VDC 108667 sur vanne d'eau Filtre à poussières 106229 sur électrovannes de purge et d’entrée d’air 48/58...
- Page 49 12 Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Généralités Bases des caractéristiques techniques des pompes turbomoléculaires de Pfeiffer Vacuum : ► Valeurs prédéfinies selon le comité PNEUROP PN5. ► ISO 21360; 2007 : « Technique du vide - Procédé standard pour la mesure des données de puis- sance de pompes à...
- Page 50 Caractéristiques techniques et dimensions Caractéristique ATH 2800 M ATH 2800 MT ATH 3200 M ATH 3200 MT Flux maximum 5000 sccm 1000 sccm 5000 sccm 1000 sccm avec débit 2200 sccm 700 sccm 2200 sccm 700 sccm d'eau 60 l/h >...
- Page 51 Caractéristiques techniques et dimensions 12.3 Caractéristiques environnementales Caractéristiques ATH 2800 M ATH 2800 MT ATH 3200 M ATH 3200 MT Utilisation intérieur Altitude jusqu’à 2000 m Indice de protection de la IP 42 pompe Température ambiante de 15 – 40 °C 15 –...
- Page 52 30 mA électrique type T.T) pour un réseau de type T.N ou I.T, appliquer une protection adéquate Tab. 9: Caractéristiques électriques du réseau client 12.7 Dimensions et poids NW16 ISO - KF 1/4 NPT Exh. Fig. 9: Dimensions ATH 2800 M 52/58...
- Page 53 DN40 ISO - KF Fig. 10: Dimensions ATH 2800 MT Centre de gravité Trous taraudés M16 Ø 215mm Trous Ø d2 équidistants Ø d1 Connecteur de la ceinture chauffante Dimensions ATH 2800 M/MT (mm) Bride aspiration DN 250 292,9 376,3 389,2 408,6...
- Page 54 Caractéristiques techniques et dimensions Exh. DN40 ISO - KF Fig. 12: Dimensions ATH 3200 MT Centre de gravité Trous taraudés M16 Ø 215mm Trous Ø d2 équidistants Ø d1 Connecteur de la ceinture chauffante Dimensions ATH 3200 M/MT (mm) Bride aspiration DN 320 235,7 319,1...
- Page 55 Caractéristiques techniques et dimensions Fig. 14: Dimensions Electrovanne d'entrée air 1 Raccord femelle 1/8" NPT 38,7 1/8 NPT 47,7 Fig. 15: Dimensions vanne d'eau 1 Câble vanne d’eau 55/58...
- Page 56 EN 61000-3-3/A1 : 2019 EN IEC 61000-6-4 : 2019 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature:...
- Page 57 La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabri- cant. Déclaration pour produit(s) du type : Pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques avec électronique déportée ATH 2800 M ATH 2800 MT ATH 3200 M ATH 3200 MT Pompe raccordée à...