Bruk - Agilent Technologies TV 1001 SEM Notice De Mode D'emploi

9 Instruksjon Manual

Bruk

Bruk

Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Les nøye
gjennom denne manualen før systemet tas i bruk. Mens
oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved
inngangsflensen ikke overskride 120°C.
ADVARSEL! Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret,
eller ikke er lukket med lukkeflensen. Ikke berør turbopumpen eller noe av
tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.
Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen når den er i
FORSIKTIG!
funksjon. Lagrene kan skades. Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass
ved forsyning av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar
(over atmosfærisk trykk). Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene
utstyrt med en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive gasser
(argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se "Technical Information).
Bruk aldri pumpen med etsende gasser eller damp som kan skade materiale
FORSIKTIG!
inne i pumpen.
ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser
skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal
ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
136/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)