Page 1 • • • • • • • TPS-mini Models 84FS Turbo Pumps With G8703A-0 20, G8703A-021, G8703A-022 KF40 15063 CFF 4.5 Manuale di istruzioni lnstruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekasikirja Notice de mode d' emploi Felhasznaloi kezikonyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruc;oes...
Page 2 Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2015 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
Page 3 TPS-mini TPS-mini TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D) 3/318...
Page 4 TPS-mini 4/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 5 Contents Contents Istruzioni per l’uso 13 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni generali Immagazzinamento 18 Preparazione per l'installazione 18 Installazione Uso 23 Manutenzione 26 Smaltimento Gebrauchsanleitung 29 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 35 Installation 36 Gebrauch Wartung Entsorgung 43...
Page 6 Contents Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications Generales Stockage Préparation pour l'installation Installation 51 Utilisation 55 Entretien Mise au rebut Manual de istrucciones 61 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 63 Almacenamiento Preparación para la instalación 67 Instalación 69 Uso 72 Mantenimiento 75...
Page 7 Contents Preparação para a instalação 82 Instalação 84 Utilização Manutenção Eliminação 91 Bedrijfshandleiding 93 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 94 Algemene informatie Opslag Uitpakken 98 Installatie 99 Gebruik Onderhoud 106 Afvalverwerking 107 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information 111 Opbevaring 114 Forberedelse før installation 114 Installation 115 Anvendelse 118...
Page 8 Contents Bortskaffelse Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 124 Allmän information 125 Förvaring Förberedelser för installationen 129 Installation 130 Användning 133 Underhåll Bortskaffande 137 Instruksjon Manual 139 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper Generell informasjon 141 Lagring Klargjøre til installasjon 145 Installasjon 146 Bruk Vedlikehold 152 Eliminering 153...
Page 9 Contents Varastointi 160 Valmistelut asennusta varten161 Asennus Käyttö Huolto Hävittäminen Felhasználói Kézikönyv 171 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 172 Általános információ 173 Tárolás Előkészítés telepítésre 177 Telepítés Használat 181 Karbantartás Megsemmisítés 185 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 188 Ogólne informacje 189 Magazynowanie 192 Przygotowanie do instalacji 192...
Page 10 Contents Konserwacja Przetworstwo odpadow 201 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 204 Všeobecné Informace Uskladnění 208 Příprava k instalaci 208 Instalace Použití Údržba Likvidace Návod na Obsluhu 219 Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Údržba...
Page 11 Contents Splošne informacije 237 Shranjevanje Priprava za montažo 240 Montaža Uporaba Vzdrževanje 248 Odlaganje opadkov 249 Instructions for Use 251 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 252 General Information 253 Storage Preparation for installation 256 Installation 257 Use 261 Maintenance Disposal Technical Information 267 Description of the TPS-mini 269 Turbopump Description 269...
Page 12 Contents High Vacuum Flange Connection 280 High Vacuum Flange Connection Configurations 282 Interconnections P1 – Vent J1 – IN-OUT 288 RS 232/RS 485 Communication Description 298 Window Protocol Window-Meanings 307 Orderable Parts 312 12/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 13 TPS-mini User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni generali 15 Simboli usati 17 Immagazzinamento Preparazione per l'installazione 18 Installazione Accensione ed Uso del TPS-mini 24 Arresto del TPS-mini Arresto di Emergenza 25 Manutenzione Pulizia Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali 13/318...
Page 14 Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Page 15 Istruzioni per l’uso Informazioni generali Informazioni generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Page 16 Istruzioni per l’uso Informazioni generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
Page 17 Istruzioni per l’uso Informazioni generali Simboli usati I seguenti simboli sono utilizzati in modo coerente in tutte le illustrazioni: Pericolo “Riferirsi a Conduttore di installazione / protezione funzionamento” Superficie calda “Pericolo ON - Avviamento di scottature se vengono (Alimentazione) toccate le parti calde” Pericolo, rischio di scossa OFF - Arresto elettrica...
Page 18 Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle  pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da –20 °C a 70 °C ...
Page 19 Istruzioni per l’uso Preparazione per l'installazione Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i ATTENZIONE! componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata. Figura 1 Il TPS-mini non può essere danneggiato rimanendo semplicemente esposto NOTA all'atmosfera.
Page 20 Istruzioni per l’uso Installazione Installazione Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del ATTENZIONE! collegamento della turbopompa al sistema. Figura 2 Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Page 21 Istruzioni per l’uso Installazione La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti singoli. La seguente tabella descrive, per ogni tipo di morsetto, il numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio stringerli. Tab.
Page 22 Istruzioni per l’uso Installazione AVVERTENZA! Cavo di alimentazione: Il giusto cavo per la connessione elettrica deve avere 3 fili (Fase+Neutro+Terra). La sezione delcavo deve essere almeno 0.75 (AWG18). Assicurare uno spazio libero intorno al sistema di minimo 20 cm al fine di ATTENZIONE! permettere un’adeguata circolazione dell’aria.
Page 23 Istruzioni per l’uso In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C con flangiatura ConFlat e a 80 °C con flangiatura ISO.
Page 24 Istruzioni per l’uso Per la mandata all'aria della pompa utilizzare gas inerte esente da polvere, ATTENZIONE! particelle o umidità (es. Azoto). La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica). AVVERTENZA! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas.
Page 25 Istruzioni per l’uso Il LED blu “STATUS” posto sul pannello della base del TPS-mini indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative del sistema: acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;  lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il sistema è in ...
Page 26 Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il TPS-mini non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Page 27 Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Page 28 Istruzioni per l’uso Smaltimento 28/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 29 TPS-mini User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeine Informationen 31 Verwendete Symbole Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TPS-mini 40 Stoppen von Modell TPS-mini Not-Aus Wartung Reinigung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitunge 29/318...
Page 30 Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Page 31 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Page 32 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
Page 33 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Verwendete Symbole Folgende Symbole wurden durchgängig in allen Illustrationen verwendet: Gefahr! Schlagen Sie im Schutzleiter Installations- und Betriebshandbuch nach. Heiße Oberfläche – ON - Start Verbrennungsgefahr bei (Versorgung) Berührung Gefahr von Stromschlägen OFF - Stopp (Versorgung) WARNUNG! Wird die Pumpe zum Pumpen von giftigen, brennbaren oder radioaktiven Gasen verwendet, die entsprechenden Verfahren für das jeweilige Gas befolgen.
Page 34 Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Zur Garantie der höchsten Funktionstüchtigkeit und Zuverlässigkeit der Agilent – Pumpsysteme müssen die folgenden Vorschriften eingehalten werden: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung  der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden:  Temperatur: von –20 °C bis 70 °C Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95 % (nicht kondensierend) ...
Page 35 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Modell TPS-mini wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TPS-mini ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß...
Page 36 Gebrauchsanleitung Installation Modell TPS-mini kann durch die Umgebung an sich keine Schäden erleiden. Es HINWEIS sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden. Installation Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluß der VORSICHT! Turbopumpe an das System abnehmen.
Page 37 Gebrauchsanleitung Installation Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell TPS-mini kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell TPS-mini ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 50 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Page 38 Gebrauchsanleitung Installation WARNUNG! Das System muss so installiert werden, dass die Stromversorgung schnell abgeschaltet werden kann. WARNUNG! Versorgungskabel: Das richtige Anschlusskabel hat drei Leiter (Außenleiter, Neutralleiter und Schutzleiter). Der Kabelquerschnitt muss mindestens 0,75 betragen (AWG18). Vergewissern Sie sich, dass um das System herum ein freier Raum von VORSICHT! mindestens 20 cm bleibt, damit die Luft frei zirkulieren kann.
Page 39 Gebrauchsanleitung Gebrauch Gebrauch In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 120°C und bei einem ISO-Flansch nicht über 80 °C steigen.
Page 40 Gebrauchsanleitung Gebrauch Für die Belüftung der Pumpe staub-, partikel- und feuchtigkeitsfreies Inertgas VORSICHT! (z.B. Stickstoff) verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen. WARNUNG! Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen.
Page 41 Gebrauchsanleitung Gebrauch Die blauen LEDs “STATUS” an der Bodenplatte von Modell TPS-mini gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an: Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb.  Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet sich ...
Page 42 Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Modell TPS-mini erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.
Page 43 Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Page 44 Gebrauchsanleitung Entsorgung 44/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 45 TPS-mini User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications Generales 47 Symboles utilisés 48 Stockage Préparation pour l'installation 50 Installation Utilisation Mise en marche et utilisation du TPS-mini Arrêt du TPS-mini 57 Arrêt d'urgence Entretien Nettoyage Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale 45/318...
Page 46 Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Page 47 Mode d’emploi Indications Generales Indications Generales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
Page 48 Mode d’emploi Indications Generales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: AVERTISSEMENT! Les messages d'avertissement attirent l'attention de l’opérateur sur une procédure ou une manœuvre spéciale qui, si elle n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions. Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l'appareillage.
Page 49 Mode d’emploi Indications Generales AVERTISSEMENT! Quand la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, respectez les procédures spécifiques à chaque gaz. N'utilisez pas la pompe en présence de gaz explosifs. La pompe est conçue pour pomper de l'azote, de l'argon et des gaz plus légers.
Page 50 Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent  impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: ...
Page 51 Mode d’emploi Installation Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à mains nues, les ATTENTION! éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée. Figure 1 Le TPS-mini ne peut s'endommager en restant simplement exposé à NOTE l'atmosphère.
Page 52 Mode d’emploi Installation Figure 2 Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes : pression max.: 2 bars au-delà...
Page 53 Mode d’emploi Installation Tab. 1 BRIDE TYPE DE COLLIER COUPLE DE SERRAGE ISO 63 Collier double à filet M10 22 Nm Collier simple à filet M8 11 Nm La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la chambre à...
Page 54 Mode d’emploi Installation Laissez un espace libre autour du système de 20 cm minimum pour permettre ATTENTION! une bonne circulation de l’air. 54/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 55 Mode d’emploi Utilisation Utilisation Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles. Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 120 °C.
Page 56 Mode d’emploi Utilisation Pour le "refoulement à l'air" de la pompe, utiliser un gaz inerte dépourvu de ATTENTION! poussière, particules ou humidité (Ex. azote). La pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bars (au-delà de la pression atmosphérique).
Page 57 Mode d’emploi Utilisation La LED bleu "STATUS" placée sur le panneau de la base du TPS-mini indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opérationnelles du système : allumée fixe: la pompe est en rotation normale ;  clignote lentement (période d'environ 400 ms) : le système est en ...
Page 58 Mode d’emploi Entretien Entretien Le TPS-mini n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Page 59 Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (unique-ment valide pour les pays de la Communauté euro-péenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures ména-gères ou les déchets industriels ordinaires, mais passer par un système de collecte sélective.
Page 60 Mode d’emploi Mise au rebut 60/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 61 TPS-mini User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general Símbolos usados 65 Almacenamiento 66 Preparación para la instalación 67 Instalación Encendido y Uso del TPS-mini Parada del TPS-mini Parada de Emergencia 74 Mantenimiento Limpieza Eliminación Traducción de las instrucciones originales 61/318...
Page 62 Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Page 63 Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Page 64 Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza las convenciones siguientes: ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
Page 65 Manual de istrucciones Información general Símbolos usados Los siguientes símbolos se utilizan de modo coherente en todas las ilustraciones: Peligro “Referirse a Conductor de instalación / protección funcionamiento” Superficie caliente “Peligro ON - Arranque de quemadura si se tocan (Alimentación) las partes calientes”...
Page 66 Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las  bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: entre –20 °C y 70 °C;...
Page 67 Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación El TPS-mini se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas. Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el TPS-mini y de no someterlo a golpes o vibraciones.
Page 68 Manual de istrucciones Preparación para la instalación El TPS-mini no puede dañarse permaneciendo simplemente expuesto a la NOTA atmósfera. De todas formas, se aconseja mantener cerrada la bomba hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo.
Page 69 Manual de istrucciones Instalación Instalación Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el momento de ¡ATENCIÓN! conectar la turbobomba al sistema. Figura 2 No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, ni en ambientes sujetos a riesgo de explosión o incendio.
Page 70 Manual de istrucciones Instalación La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas sencillas. La tabla siguiente describe, por cada tipo de mordaza, el número de mordazas necesarias y con qué par de apriete apretarlas. Tab.
Page 71 Manual de istrucciones Instalación ¡ADVERTENCIA! Cable de alimentación: el cable correcto para la conexión eléctrica debe tener 3 hilos (Fase+Neutro+Tierra). La sección del cable debe ser de 0,75 (AWG18) como mínimo. Asegurar un espacio libre alrededor del sistema de al menos 20 cm para ¡ATENCIÓN! permitir una adecuada circulación de aire.
Page 72 Manual de istrucciones En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 120 °C con una fijación con brida ConFlat y a 80 ºC con una fijación con brida ISO.
Page 73 Manual de istrucciones Para el "envío al aire" de la bomba utilizar gas inerte exento de polvo, partículas ¡ATENCIÓN! y humedad (por ej.: nitrógeno). La presión de entrada a través de la respectiva puerta debe ser inferior a 2 bares (por encima de la presión atmosférica). ¡ADVERTENCIA! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas.
Page 74 Manual de istrucciones El LED azul “STATUS” situado en el panel de la base del TPS-mini indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones operativas del sistema:  encendido fijo: la bomba está en rotación normal; parpadea lentamente (período de 400 ms aproximadamente): el ...
Page 75 Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El TPS-mini no necesita ningún mantenimiento. Toda intervención deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema, desconectarlo de la alimentación, disponer la bomba en presión atmosférica abriendo la válvula respectiva y esperar hasta que el rotor se pare completamente y que la temperatura superficial de la bomba se reduzca a menos de 50 ºC.
Page 76 Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Page 77 TPS-mini User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Símbolos utilizados Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Acendimento e Utilização do TPS-mini Paragem do TPS-mini 89 Paragem de Emergência Manutenção Limpeza Eliminação Tradução das instruções originais 77/318...
Page 78 Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
Page 79 Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
Page 80 Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: ATENÇAO! As mensagens de atenção chamam a atenção do operador para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais. As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! efectuados correctamente, podem causar danos à...
Page 81 Manual de Istruções Informações gerais Símbolos utilizados Os seguintes símbolos são utilizados de modo coerente em todas as ilustrações: Perigo “Consulte a Condutor de proteção instalação/ funcionamento” Superfície quente “Perigo ON - Ligação de queimaduras se as (Alimentação) partes quentes forem tocadas”...
Page 82 Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das  bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: de –20 °C a 70 °C ...
Page 83 Manual de Istruções Preparação para a instalação Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos os CUIDADO! componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. Figura 1 TPS-mini não pode ser danificado permanecendo simplesmente exposto à NOTA atmosfera.
Page 84 Manual de Istruções Instalação Instalação Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no CUIDADO! momento de ligar a turbobomba ao sistema. Figura 2 Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio.
Page 85 Manual de Istruções Instalação TPS-mini pode ser instalado em qualquer posição. Fixar a aparelhagem em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de 50 Nm ao redor do próprio eixo. A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada à...
Page 86 Manual de Istruções Instalação ATENÇAO! Cabo de alimentação: o cabo correto para a conexão elétrica deve ter 3 fios (Fase+Neutro+Terra). A secção do cabo deve ser de pelo menos 0.75 (AWG18). Garantir um espaço livre em torno do sistema de no mínimo 20 cm, a fim de CUIDADO! permitir a circulação de ar adequada.
Page 87 Manual de Istruções Utilização Utilização Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve ser superior a 120°C com flangeamento ConFlat e a 80°C com flangeamento ISO.
Page 88 Manual de Istruções Utilização Para a "saída de ar" da bomba, utilizar gás inerte sem poeiras, partículas ou CUIDADO! humidade (p. ex.: Azoto). A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bars (além da pressão atmosférica). ATENÇAO! Quando a bomba é...
Page 89 Manual de Istruções Utilização A luz piloto azul “STATUS”, posicionada no painel da base do TPS- mini , indica, através da frequência de intermitência, as condições operacionais do sistema: acesa fixa: a bomba funciona normalmente;  intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema está em ...
Page 90 Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TPS-mini não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da rede de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até...
Page 91 Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Page 92 Manual de Istruções Eliminação 92/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 93 TPS-mini User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 94 Algemene informatie 95 Gebruikte symbolen Opslag 98 Uitpakken Installatie Gebruik Inschakeling en gebruik van de TPS-mini 104 Afzetten van de TPS-mini Noodstop Onderhoud Reiniging Afvalverwerking 107 Vertaling van de originele instructies 93/318...
Page 94 Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Page 95 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
Page 96 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken.
Page 97 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Gebruikte symbolen In alle afbeeldingen worden systematisch de volgende symbolen gebruikt: Gevaar “Raadpleeg Beschermingsgeleider installatie / werking” Heet oppervlak “Gevaar ON - Starten (Voeding) voor verbrandingen bij aanraken van hete onderdelen” Gevaar, risico op OFF - Stoppen elektrische schok (Voeding) WAARSCHUWING!
Page 98 Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan  de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: van –20 °C tot 70 °C ...
Page 99 Bedrijfshandleiding Installatie Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de componenten die met het VOORZICHTIG! vacuüm in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming. Figuur 1 De TPS-mini kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer OPMERKING blootgesteld te worden.
Page 100 Bedrijfshandleiding Installatie Figuur 2 De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn max.
Page 101 Bedrijfshandleiding Installatie Tab. 1 FLENS KLEMTYPE AANHAAL-KOPPEL ISO 63 Dubbele klem met M10 schroefdraad 22 Nm Enkelvoudige klem met M8 schroefdraad 11 Nm De turbopomp met ConFlat inlaatflens moet aan de vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale mechanische bevestigingselementen van Agilent.
Page 102 Bedrijfshandleiding Installatie Zorg voor een vrije ruimte van minstens 20 cm rond het systeem, met het oog op VOORZICHTIG! een correcte luchtcirculatie. 102/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 103 Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen met flens ConFlat en 80 °C met flens ISO. WAARSCHUWING! Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.
Page 104 Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik voor de "luchttoevoer" naar de pomp inert gas zonder stof, vaste VOORZICHTIG! deeltjes of vocht (bijv.: stikstof). De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder van 2 bar (boven de atmosferische druk) bedragen. WAARSCHUWING! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld.
Page 105 Bedrijfshandleiding Gebruik De blauwe “STATUS” LED op het paneel van de basis van de TPS- mini geeft door de frequentie van zijn knipperen, de werkcondities van het systeem aan: brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;  knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem is in ...
Page 106 Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De TPS-mini is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Page 107 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Page 108 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 108/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 109 TPS-mini User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Anvendte symboler 113 Opbevaring Forberedelse før installation Installation Anvendelse Start og anvendelse af TPS-mini 119 Stop af TPS-mini Nødstop Vedligeholdelse Rengøring Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 109/318...
Page 110 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Page 111 Istruktionsbog Generel Information Generel Information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
Page 112 Istruktionsbog Generel Information I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader.
Page 113 Istruktionsbog Generel Information Anvendte symboler De følgende symboler anvendes sammenhængende i alle illustrationer Fare “Henvis til Beskyttelsesleder insallation/drift” Varm overflade “Fare for ON - Start (Forsyning) skoldninger hvis de varme dele berøres” Fare, risiko for elektrisk OFF - Stop (Forsyning) stød ADVARSEL! Når pumpen anvendes til at pumpe giftige, brændbare eller radioaktive...
Page 114 Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Agilent: Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i  forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: temperatur: fra –20 °C til +70 °C, ...
Page 115 Istruktionsbog Installation Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres med bare hænder, FORSIGTIG! idet der er risiko for afgasning. Anvend altid handsker eller anden lignende beskyttelse. Figur 1 Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade TPS-mini . Det anbefales dog, at BEMÆRK opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil den skal installeres.
Page 116 Istruktionsbog Installation Figur 2 Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk ...
Page 117 Istruktionsbog Installation Turbopumpen med ConFlat indløbsflange skal tilsluttes på vakuumkammeret ved hjælp af Agilent monteringsudstyret. I bilaget “Technical Information” findes yderligere detaljer. TPS-mini kan ikke fastgøres i fundamentet. BEMÆRK Der henvises til bilaget “Technical Information” for oplysninger vedrørende installation af ekstraudstyret. ADVARSEL! Systemets installation skal udføres så...
Page 118 Istruktionsbog Anvendelse Anvendelse Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens temperatur ikke overstige 120 °C med flange af ConFlat-type, og 80 °C med flange af ISO-type. ADVARSEL! Pumpen må...
Page 119 Istruktionsbog Anvendelse Til pumpens luftafløb anvendes inaktiv luftart, der er fri for støv, partikler eller FORSIGTIG! fugtighed (eksempelvis kvælstof). Indgangstrykket gennem den særlige åbning skal være under 2 bar (over det atmosfæriske tryk). ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype.
Page 120 Istruktionsbog Anvendelse Den blu "STATUS" LED, der er anbragt på panelet på TPS-mini ’s fundament, angiver systemets funktion ved blink:  konstant tændt: pumpen er i normal rotation langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i stilling  for acceleration, bremsning, stop eller “Waiting for interlock”...
Page 121 Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse TPS-mini behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Page 122 Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på en godkendt affaldsstation.
Page 123 TPS-mini User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 124 Allmän information Symboler som används 127 Förvaring Förberedelser för installationen 129 Installation Användning Start och användning av TPS-mini Att stänga av TPS-mini 135 Nödstopp Underhåll Rengöring Bortskaffande Översättning av originalinstruktionerna 123/318...
Page 124 Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Page 125 Bruksanvisning Allmän information Allmän information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador som helt eller delvis beror på åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Page 126 Bruksanvisning Allmän information I bruksanvisningen används följande standardrubriker: VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada ska uppstå.
Page 127 Bruksanvisning Allmän information Symboler som används De följande symbolerna används vanligen i alla illustrationer: Fara “Se installationen Skyddsledare /funktionen” Varm yta “Fara för ON - Start brännskador vid kontakt (försörjning) med varma delar” Fara, risk för elektrisk stöt OFF - Stopp (försörjning) VARNING! När pumpen används för en pumpning av giftiga, antändabara eller...
Page 128 Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande  omgivningsförhållanden respekteras: Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.  Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). ...
Page 129 Bruksanvisning Förberedelser för installationen Förberedelser för installationen TPS-mini levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TPS-mini inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen.
Page 130 Bruksanvisning Installation Normal påverkan från atmosfären kan inte skada TPS-mini . Trots det är det OBSERVERA säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den. Installation Ta bort tejpen och dra ut skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till OBSERVER! systemet.
Page 131 Bruksanvisning Installation I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. TPS- mini måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical information"). TPS-mini kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på...
Page 132 Bruksanvisning Installation VARNING! Systemet ska installeras så att en lätt urkoppling av försörjningen är möjlig. VARNING! Strömkabel: Rätt kabel för elanslutning måste ha tre ledare (fas + nolla + jord). Kabelsnittet måste vara minst 0,75 (AWG 18). Se till att det finns ett fritt utrymme runt systemet på minst 20 cm för att tillåta OBSERVER! en lämplig luftcirkulation.
Page 133 Bruksanvisning Användning Användning Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens bruksanvisning. Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120 °C med flänsningen ConFlat och 80 °Cmed flänsningen ISO. VARNING! Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad till vakuumkammaren eller är blockerad på...
Page 134 Bruksanvisning Användning Använd ädelgas, fri från damm, partiklar och fukt (t.ex. kväve) för luftning av OBSERVER! pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar (över atmosfäriskt tryck). VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.
Page 135 Bruksanvisning Användning Den blå lysdioden ”STATUS” på underdelen av TPS-mini anger, genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar: fast sken: pumpen roterar normalt;  långsamt blinkande (ungefär var 400 ms): systemet är i läge för  acceleration, bromsning, Stop eller “Waiting for interlock”; ...
Page 136 Bruksanvisning Underhåll Underhåll TPS-mini är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC. Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad.
Page 137 Bruksanvisning Bortskaffande Bortskaffande Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD- direktivet som har betecknats som "WEEE". Denna symbol (som endast gäller för länder inom Europeiska gemenskapen) anger att produkten på vilken den sitter INTE kan skaffas bort tillsammans med vanligt hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Page 138 Bruksanvisning Bortskaffande 138/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 139 TPS-mini User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper 140 Generell informasjon 141 Symboler i bruk Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk 149 Starte og bruke TPS-mini Stoppe TPS-mini Nødstopp Vedlikehold Rengjøring Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 139/318...
Page 140 Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Page 141 Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
Page 142 Instruksjon Manual Generell informasjon Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! føre til at utstyret skades.
Page 143 Instruksjon Manual Generell informasjon Symboler i bruk Følgende symboler brukes i alle illustrasjonene: Fare. “Se Jording installasjon/funksjon” Varm flate. “Fare for PÅ – start forbrenning ved berøring (strømforsyning) av varme flater” Fare for elektrisk støt AV – stopp (strømforsyning) ADVARSEL! Når pumpen brukes for å...
Page 144 Instruksjon Manual Lagring Lagring For å garantere optimal drift og pålitelighet for Agilent turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende  miljøforhold overstiges: Temperatur: fra –20 °C til 70 °C.  Relativ fuktighet: fra 0 til 95 % (uten kondensering).
Page 145 Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon TPS-mini leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TPS-mini pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Page 146 Instruksjon Manual Installasjon Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge TPS-mini . Likevel MERK anbefaler vi å holde pumpen lukket til den er montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving. Installasjon Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når turbopumpen koples til FORSIKTIG! systemet.
Page 147 Instruksjon Manual Installasjon Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Technical Information” for detaljer. TPS-mini må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). TPS-mini kan monteres i en valgfri stilling. Fest TPS-mini i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment på...
Page 148 Instruksjon Manual Installasjon ADVARSEL! Strømledning: Ledningen som brukes for elektrisk kobling, skal ha tre ledere (fase, nøytral og jording). Kabelens tverrsnitt skal være minst 0,75 (AWG18). Sørg for at det er minst 20 cm åpent rom rundt systemet slik at luften kan FORSIKTIG! sirkulere.
Page 149 Instruksjon Manual Bruk Bruk Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 120 °C med ConFlat inngangsflens eller 80 °C med ISO inngangsflens. ADVARSEL! Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.
Page 150 Instruksjon Manual Bruk Bruk fukt-, støv- og partikkelfri inaktiv gass (f. eks kvelstoff) ved forsyning av FORSIKTIG! pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk). ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges.
Page 151 Instruksjon Manual Bruk Det blå LED ”STATUS” som befinner seg på basen til TPS-mini indikerer ved hjelp av frekvensen på blinkingen, den operative situasjonen til systemet: den lyser fast: pumpen roterer normalt  den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i stilling for ...
Page 152 Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TPS-mini er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Page 153 Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC- direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
Page 154 Instruksjon Manual Eliminering 154/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 155 TPS-mini User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 156 Yleisiä tietoja Käytetyt symbolit 159 Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 165 TPS-mini :n käynnistys ja käyttö 166 TPS-mini: n pysäyttäminen 167 Hätäpysäytys 167 Huolto 168 Puhdistus Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 155/318...
Page 156 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 156/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 157 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
Page 158 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: VAROITUS! Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen HUOMIO! vahingoittumiseen. Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa. HUOM 158/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 159 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Käytetyt symbolit Seuraavia symboleita käytetään johdonmukaisesti kaikissa selityksissä: Vaara “Viittaa Suojajohdin asennukseen / toimintaan” Kuuma pinta ON - Käynnistys “Palovammojen vaara jos (Virransyöttö) kuumia pintoja kosketaan” Vaara, sähköiskun vaara OFF - Pysäytys (Virransyöttö) VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, palavien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudata jokaiselle kaasutyypille kuuluvia menetelmiä.
Page 160 Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia  ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: -20 °C - 70 °C.  suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä). ...
Page 161 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten TPS-mini toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TPS-mini :n putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali voidaan kierrättää...
Page 162 Ohjekäsikirja Asennus TPS-mini ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On HUOM kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen. Asennus Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään HUOMIO! järjestelmään. Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara.
Page 163 Ohjekäsikirja Asennus Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. TPS-mini voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnitä TPS-mini tukevaan asentoon kytkemällä turbopumpun kiinteä sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kestää 50 Nm:n momentin oman akselinsa ympäri.
Page 164 Ohjekäsikirja Asennus VAROITUS! Järjestelmä on asennettava siten, että virta saadaan kytkettyä helposti pois päältä. VAROITUS! Virtajohto: oikeassa sähköjohdossa tulee olla 3 johdinta (vaihe+neutraali+maa). Johdon halkaisijan tulee olla vähintään 0,75 (AWG18). Varmista, että järjestelmän ympärille jää vähintään 20 cm riittävän ilmankierron HUOMIO! takaamiseksi.
Page 165 Ohjekäsikirja Käyttö Käyttö Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet. Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 120 °C:tta ConFlat laipoituksella ja 80 °C:tta ISO laipoituksella. VAROITUS! Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla.
Page 166 Ohjekäsikirja Käyttö Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää jalokaasua, jossa ei ole pölyä, HUOMIO! hiukkasia tai kosteutta (esim. typpi). Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olle alle 2 baaria (paitsi atmosfäärinen paine). VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa.
Page 167 Ohjekäsikirja Käyttö TPS-mini perustan paneeliin sijoitettu sininen ”STATUS” led ilmoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;  vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-,  jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”- tilassa;  vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila. Ks.
Page 168 Ohjekäsikirja Huolto Huolto TPS-mini ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC:en. Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää...
Page 169 Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE- direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää...
Page 170 Ohjekäsikirja Hävittäminen 170/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 171 TPS-mini User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános információ 173 Felhasznált jelképek Tárolás Előkészítés telepítésre 177 Telepítés Használat A TPS-mini bekapcsolása és használata 182 A TPS-mini kikapcsolása Vészleállítás 183 Karbantartás Tisztítás Megsemmisítés 185 Az eredeti utasítás fordítása 171/318...
Page 172 Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
Page 173 Felhasználói Kézikönyv Általános információ Általános információ A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
Page 174 Felhasználói Kézikönyv Általános információ Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt használja: VESZÉLY! A figyelmeztető üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! követnek, a berendezés károsodását okozhatják.
Page 175 Felhasználói Kézikönyv Általános információ Felhasznált jelképek Az alábbi jelképeket valamennyi ábrán következetesen használtuk: Veszélyjel “A telepítés / Biztonsági berendezés működést vegye vezetéke figyelembe” Forró felület “A forró ON - Bekapcsolás részek érintése (Táp) égésveszéllyel jár” Veszélyjel, áramütés OFF - Kikapcsolás veszélye (Táp) VESZÉLY!
Page 176 Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent Turbomolecular szivattyúk maximális teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell követni: szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő  környezeti paramétereket nem szabad túllépni: hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C  relatív páratartalom: 0 – 95 % (nem kondenzáló) ...
Page 177 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A TPS-mini -ot különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
Page 178 Felhasználói Kézikönyv Telepítés A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a TPS-mini -ot. MEGJEGYZÉS Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját. Telepítés Ne távolítsa el az öntapadó és védőkupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez FIGYELEM! való...
Page 179 Felhasználói Kézikönyv Telepítés Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért lásd „Technical Information”. A TPS-mini -ot bármely helyzetben lehet telepíteni. Rögzítse a TPS- mini -ot stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 50 Nm tengely körüli nyomatéknak.
Page 180 Felhasználói Kézikönyv Telepítés VESZÉLY! Tápkábel: Az elektromos tápkábel 3 eres legyen (Fázis+Semleges+Föld). A kábel átmérője legalább 0.75 legyen (AWG18). Biztosítson a rendszer körül egy legalább 20 cm-es szabad területet, hogy a FIGYELEM! levegő megfelelően áramolhasson. 180/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 181 Felhasználói Kézikönyv Használat Használat Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. Végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a rendszer használata előtt. A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete nem haladhatja meg a 120 °C-ot ConFlat karima és a 80 °C-ot ISO karima esetén.
Page 182 Felhasználói Kézikönyv Használat Használjon portól, szemcséktől vagy nedvességtől mentes semleges gázt (pl. FIGYELEM! nitrogént) a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton lévő nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött). VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok ártalmatlanításához szükséges eljárásokat.
Page 183 Felhasználói Kézikönyv Használat A kék “STATUS” kijelző a Mini-TASK-AG81 alján a villogás sűrűségével jelzi a rendszer működési állapotát. nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog;  lassan villog (kb. 400 ms periódus): a rendszer emelkedőben,  fékezésben, állás vagy „kapcsolatra vár” állapotban van; ...
Page 184 Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TPS-mini nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Page 185 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címken jelenlévő "WEEE" logo jelentése. Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Page 186 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés 186/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 187 TPS-mini User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne informacje 189 Zastosdowane symbole 191 Magazynowanie 192 Przygotowanie do instalacji 192 Instalacja Użytkowanie Włączenie i obsługa systemu TPS-mini Zatrzymanie TPS-mini 199 Zatrzymanie Alarmowe 199 Konserwacja Czyszczenie Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 187/318...
Page 188 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Page 189 Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje Ogólne informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich...
Page 190 Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: ZAGROŻENIE! Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w UWAGA! przypadku ich braku przestrzegania, może dojść...
Page 191 Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje Zastosdowane symbole Niżej pokazane symbole zamieszczane są odpowiednio obok wszystkich rysunków: Niebezpieczeństwo Przewód ochronny “Dotyczy instalacji/działania” Gorąca powierzchnia ON - Włączenie “Dotknięcie gorących (Zasilanie) części grozi oparzeniem” Niebezpieczeństwo, grozi OFF - Zatrzymanie porażeniem elektrycznym (Zasilanie) ZAGROZENIE! Kiedy pompa jest stosowana do pompowania gazów toksycznych, palnych lub radioaktywnych, należy postępować...
Page 192 Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Magazynowanie By zagwarantować maksymalny poziom funkcjonalności i działania systemów pompujących Agilent, powinny być przestrzegane następujące zasady: podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp, nie  mogą być przekroczone następujące warunki środowiskowe: temperatura: od -20 °C do 70 °C ...
Page 193 Podrecznik Instrukcji Instalacja Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać gołymi rękoma UWAGA! części przeznaczonych do próżni. Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. Posta 1 System TPS-mini , nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go na PRZYPIS działanie atmosfery.
Page 194 Podrecznik Instrukcji Instalacja Posta 2 Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru. Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać następujące warunki otoczenia: maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem atmosferycznym ...
Page 195 Podrecznik Instrukcji Instalacja Tab. 1 KOŁNIERZ TYP ZACISKU MOMENT DOKRĘCENIA ISO 63 Podwójny zacisk z gwintem M10 22 Nm Pojedynczy zacisk z gwintem M8 11 Nm Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie drobne układy mechaniczne firmy Agilent.
Page 196 Podrecznik Instrukcji Instalacja Wokół systemu zapewnić co najmniej 20 cm wolnego miejsca w celu UWAGA! umożliwienia odpowiedniego przepływu powietrza. 196/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 197 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Użytkowanie W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury operacyjne. Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na kołnierzu nie może przekroczyć 120 °C w przypadku kołnierza ConFlat i 80 °C w przypadku kołnierza ISO.
Page 198 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Dla wlotu do powietrza pompy zastosować obojętny gaz bez pyłu lub innych UWAGA! cząstek i bez wilgoci (np.: Azot). Ciśnienie wejściowe poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2 barów ( ponad ciśnienie atmosferyczne). ZAGROŻENIE! Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać...
Page 199 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Niebieska LAMPKA “STATUS” umieszczona na panelu podstawy urządzenia TPS-mini częstotliwością swego migania określa operatywne warunki systemu: zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie normalnych  obrotów; miga powoli ( okres 400 ms.): system w stanie zbocza, lub ...
Page 200 Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja System TPS-mini nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROŻENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie wynosiła poniżej 50 °C.
Page 201 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objaśnienie znajdujące się na etykiecie napisu "WEEE" Użyty poniżej symbol jest zgodny z wymogiem zarządzenia "WEEE" Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, że wyrób nim oznaczony, nie może być przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemysłowymi odpadami, lecz musi być...
Page 202 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow 202/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 203 TPS-mini User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 204 Všeobecné Informace 205 Použité symboly Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 213 Zapnutí a používání vývěvy TPS-mini 214 Vypnutí vývěvy TPS-mini Nouzové zastavení 215 Údržba 216 Čištění Likvidace Překlad originálního návodu 203/318...
Page 204 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...
Page 205 Návod k Použití Všeobecné Informace Všeobecné Informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
Page 206 Návod k Použití Všeobecné Informace Tento manuál používá následující standardní protokol: NEBEZPEČÍ! Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení POZOR! mohly poškodit zařízení.
Page 207 Návod k Použití Všeobecné Informace Použité symboly Níže uvedené symboly jsou použity shodně u všech ilustrací: Nebezpečí! „Vycházejte z Ochranný (zemnicí) informací ohledně vodič instalace / činnosti“ Horký povrch! „Nebezpečí ZAP. - Zapnutí vzniku popálenin při (Napájení) dotyku částí s vysokou teplotou“...
Page 208 Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Pro zaručení maximální úrovně funkčnosti a spolehlivosti vývěvových systémů Agilent je třeba respektovat následující předpisy: Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli  překračovat následující technické podmínky prostředí: Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C ...
Page 209 Návod k Použití Instalace Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte holé ruce při POZOR! manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. Postava 1 V normálním prostředí se vývěva TPS-mini nemůže poškodit. Přesto POZNÁMKA doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem.
Page 210 Návod k Použití Instalace Postava 2 Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané prostředím: maximální...
Page 211 Návod k Použití Instalace Tab. 1 PŘÍRUBA PŘÍCHYTNÉ ZAŘÍZENÍ POČET UTAHOVACÍ MOMENT ISO 63 Spony M10 22 Nm Příchytky M8 11 Nm Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu firmy Agilent. Viz podrobný popis v příloze "Technical Information". Vývěvu TPS-mini nelze připevnit pomocí...
Page 212 Návod k Použití Instalace Zajistěte kolem systému volný prostor nejméně do vzdálenosti 20 cm, aby byla POZOR! umožněna vhodná cirkulace vzduchu. 212/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 213 Návod k Použití Použití Použití Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů. Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota vstupní příruby nesmí překročit 120 °C v případě příruby ConFlat a 80 °C v případě příruby ISO.
Page 214 Návod k Použití Použití Pro odvětrání vývěvy používejte inertní plyn bez prachu, částic a vlhkosti (např. POZOR! dusík). Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem). NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované...
Page 215 Návod k Použití Použití Modrá LED kontrolka „STATUS“ na panelu základny modelu TPS- mini ukazuje prostřednictvím rychlosti svého blikání operační stav systému: bez blikání: vývěva se otáčí normálně;  pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna rozbíhá  nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu “čekání...
Page 216 Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TPS-mini nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Page 217 Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Page 218 Návod k Použití Likvidace 218/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 219 TPS-mini User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 221 Použité symboly Uchovávanie Príprava na inštaláciu 224 Inštalácia Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TPS-mini 230 Vypnutie TPS-mini 231 Núdzové zastavenie Údržba 232 Čistenie Likvidácia Preklad originálneho návodu 219/318...
Page 220 Návod na Obsluhu Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...
Page 221 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
Page 222 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: NEBEZPEČÍE! Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú...
Page 223 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Použité symboly Nižšie uvedené symboly sú použité koherentným spôsobom vo všetkých ilustráciách: Nebezpečenstvo! Ochranný (zemniaci) „Vychádzajte z informácií vodič ohľadom inštalácie / činnosti“ Horúci povrch! ZAP. - Zapnutie „Nebezpečenstvo popálenia (Napájanie) pri kontakte s časťami s vysokou teplotou“...
Page 224 Návod na Obsluhu Uchovávanie Uchovávanie Aby sa zaistila maximálna funkčnosť a spoľahlivosť čerpacích sústav Agilent, je potrebné dodržiavať nasledujúce pokyny: neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas prevozu,  prenášania a uchovávania vývev: rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C  rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95 % (bez kondenzácie) ...
Page 225 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Postava 1 Bežné vystavenie okolitým podmienkam nemôže TPS-mini poškodiť. Napriek POZNÁMKA tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie prachom. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D) 225/318...
Page 226 Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, než pripojíte turbovývevu POZOR! k systému. Postava 2 Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko požiaru.
Page 227 Návod na Obsluhu Inštalácia Zariadenie TPS-mini môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe. Upevnite TPS-mini do stabilnej polohy pripojením vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak, aby vydržala namáhanie krútiacim momentom 50 Nm okolo svojej osi. Turbovýveva so vstupnou prírubou ISO musí byť pripojená k vákuovej komore pomocou svoriek alebo kleštín.
Page 228 Návod na Obsluhu Inštalácia NEBEZPEČÍE ! Napájací kábel: Kábel vhodný na pripojenie elektrického napájania musí mať 3 vodiče (fázový + nulový + zemniaci). Minimálny prierez vodičov musí byť 0,75 mm² (AWG18). Zabezpečte okolo systému voľný priestor minimálne do vzdialenosti 20 cm, aby POZOR! bola umožnená...
Page 229 Návod na Obsluhu Použitie Použitie Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické a pneumatické pripojenia. Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory nesmie prekročiť 120 °C v prípade príruby ConFlat a 80 °C v prípade príruby ISO.
Page 230 Návod na Obsluhu Použitie Pre výplach vývevy používajte inertný plyn zbavený prachu, častíc a vlhkosti POZOR! (napr. dusík) Tlak na ventilačnom vstupe musí byť nižší než 2 bary (pretlakové). NEBEZPEČÍE! Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov.
Page 231 Návod na Obsluhu Použitie Modrá LED “STATUS”, umiestnená na paneli zariadenia TPS-mini , signalizuje frekvenciou blikania operatívne podmienky, v ktorých sa nachádza systém: žiadne blikanie: výveva normálne rotuje;  pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom  z týchto stavov: stúpanie/klesanie, brzdenie, Stop alebo v režime „Čakanie na spojenie“;...
Page 232 Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie TPS-mini nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍE! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Page 233 Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí odstrániť...
Page 234 Návod na Obsluhu Likvidácia 234/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 235 TPS-mini User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 236 Splošne informacije Uporabljeni simboli Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vklop in uporaba TPS-mini -a Izklop TPS-mini -a 247 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Čiščenje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 235/318...
Page 236 Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Page 237 Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Page 238 Priročnik za Navodila Splošne informacije Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: SVARILO! Opozorila so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe POZOR! opreme.
Page 239 Priročnik za Navodila Splošne informacije Uporabljeni simboli Naslednji simboli so dosledno uporabljeni na vseh slikah: Nevarnost: »Upoštevajte Ozemljitveni vodnik navodila za namestitev / delovanje« Vroča površina: »Nevarnost ON – vklop (napajanja) opeklin ob dotiku vročih delov« Nevarnost električnega OFF – izklop udara (napajanja) SVARILO!
Page 240 Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi jamčili največji možni nivo uporabnosti in zanesljivosti črpalnih sistemov Agilent, je potrebno upoštevati sledeča pravila: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete  preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -20 °C do 70 °C ...
Page 241 Priročnik za Navodila Priprava za montažo Slika 1 Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati TPS-mini -a Kljub temu OPOMBA je priporočljivo, da je enota zaprta dokler je ne namestite v sistem. S tem boste preprečili onesnaženje s prahom. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D) 241/318...
Page 242 Priročnik za Navodila Montaža Montaža Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na POZOR! sistem. Slika 2 Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara.
Page 243 Priročnik za Navodila Montaža TPS-mini lahko namestite v poljuben položaj. TPS-mini namestite v stabilem položaj tako, da povežete vhodno prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki lahko prenese navor 50 Nm okoli svoje osi. Turbo črpaklo z dovodno ISO prirobnico je treba fiksirati na vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Agilent strojne opreme.
Page 244 Priročnik za Navodila Montaža SVARILO! Napajalni kabel: pravi kabel za električni priklop mora biti trižilni (napetostni vod + nevtralni vod + ozemljitev). Presek kabla mora biti najmanj 0,75 (AWG18). Poskrbite, da bo okrog sistma najmanj 20 cm prostora, tako da omogočite POZOR! ustrezno kroženje zraka.
Page 245 Priročnik za Navodila Uporaba Uporaba Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo. Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske povezave. Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne prirobnice ne sme preseči 120 °C pri prirobnici ConFlate oziroma 80 °C pri prirobnici ISO.
Page 246 Priročnik za Navodila Uporaba Za prezračevanje črpalke uporabljajte čist plin, brez prahu, delčkov ali vlažnosti POZOR! (kot dušik). Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 2 bara (nad pritiskom atmosfere). SVARILO! Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina.
Page 247 Priročnik za Navodila Uporaba Plava lučka "STATUS", ki se nahaja na osnovni plošči TPS-mini kaže, preko frekvence lastnega utripa, operativne pogoje sistema: Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti;  Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v stanju  ramp, breaking, stop ali v stanju »Waiting for interloc«;...
Page 248 Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje TPS-mini ne potrebuje vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Page 249 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...
Page 250 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 250/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 251 TPS-mini User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 252 General Information Symbols used 255 Storage Preparation for installation 256 Installation Switching on and Use of TPS-mini TPS-mini Switching off 263 Emergency Stop Maintenance Cleaning Disposal Original Instructions 251/318...
Page 252 Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Page 253 Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
Page 254 Instructions for Use General Information This manual uses the following conventions WARNING! Warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment Notes contain important information taken from the text.
Page 255 Instructions for Use General Information Symbols used The following symbols are used consistently throughout in all illustration: Warning “see Protective conductor installation/operating” terminal Hot surface “Danger of On (Power) burns if hot parts are touched” Caution, risk of electric Off (Power) shock WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive...
Page 256 Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: when shipping, moving and storing pumps, the following  environmental specifications should not be exceeded: temperature range: -20 °C to 70 °C ...
Page 257 Instructions for Use Installation In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands to handle CAUTION! components which will be exposed to vacuum. Always use gloves or other appropriate protection. Figure 1 Normal exposure to the environment cannot damage the TPS-mini . NOTE Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system, thus preventing any form of pollution by dust.
Page 258 Instructions for Use Installation Figure 2 Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be respected: maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure ...
Page 259 Instructions for Use Installation Tab. 1 FLANGE FIXING DEVICE FIXING TORQUE ISO 63 M10 clamps 22 Nm M8 claws 11 Nm The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate Agilent hardware. See the appendix "Technical Information"...
Page 260 Instructions for Use Installation Assure a free space all around the system at minimum of 20 cm to allow proper CAUTION! air circulation. 260/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 261 Instructions for Use This paragraph details the fundamental operating procedures. Make all electrical an pneumatic connections before the use of the system. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 120 °C with ConFlat flanging and 80 °C with ISO flanging.
Page 262 Instructions for Use Use inert gas free from dust, particles or humidity (like Nitrogen) for venting the CAUTION! pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar (above atmospheric pressure). WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal.
Page 263 Instructions for Use The blue LED “STATUS” located on the TPS-mini base front panel indicates with its flashing frequency the system operating conditions: with no flashing: the pump is normally rotating;  slowly flashing (period of about 400 ms): the system is in ramp, ...
Page 264 Instructions for Use Maintenance Maintenance The TPS-mini does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.
Page 265 Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels. The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Page 266 Instructions for Use Disposal 266/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 267 TPS-mini User Manual Technical Information Description of the TPS-mini 269 Turbopump Description269 Controller Description 271 Diaphragm Forepump Description Control Panel Description 271 Technical Specification 273 TPS-mini Outline 275 Inlet Screen Installation High Vacuum Flange Connection High Vacuum Flange Connection Configurations Interconnections 283 Input Power Connector 283 P1 –...
Page 268 Technical Information Disposal How to Connect the Open Collector Input of the Controller How to Connect the Outputs of the Controller 296 J2 - Serial RS 232/RS 485 Communication Description 298 Communication Format 298 Serial Communication Descriptions 300 Window Protocol 300 Description Communication Format 300 Communication Protocol...
Page 269 Technical Information Description of the TPS-mini Description of the TPS-mini The TPS-mini pumping system consists of a pump with an integrated controller and a forepump and is available in three models which differ only in the high vacuum flange. The four models are: Model 9699180 with KF 40 high vacuum flange;...
Page 270 Technical Information Turbopump Description During normal operation, the motor functions with a power feed at 54 Vac three-phase at 1350 Hz. To reduce losses during start-up to a minimum, the frequency increases according to a ramp with a higher initial voltage/frequency ratio. A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to prevent the pump from overheating.
Page 271 Technical Information Turbopump Description Controller Description The integrated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip microcomputer and is composed of a PCB which includes a power supply with a 3-phase AC output, analog and input/output section, microprocessor and digital section.
Page 272 Technical Information Turbopump Description Figure 4 Tab. 2 CONTROL NAME DESCRIPTION J1 IN-OUT Input-output connector to remote control the TPS-mini J2 SERIAL Serial input-output connector to control the TPS-mini via an RS 232 or RS 485 connection STATUS Blue LED to show the system operating condition P1 VENT Connector to control the optional vent valve J5 GAUGE...
Page 273 Technical Information Technical Specification Technical Specification Tab. 3 Pumping speed (l/s) With CF 4.5” or ISO 63: With KF 40 NW: : 52 l/s : 38 l/s (With inlet screen) He: 50 l/s He: 30 l/s : 35 l/s : 24 l/s Base pressure* 5 x 10 mbar (3.75 x 10...
Page 274 Technical Information Technical Specification Serial communication (kit) RS232 cable with a 9-pin D type male connector and a 9-pin D type female connector, and software (optional) Storage temperature - 20 °C to + 70 °C Weight kg (lbs) KF: 7.9 kg (17.4 lbs) ISO: 7.5 kg (16.5 lbs) CFF: 8.8 kg (19.4 lbs) According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test dome, 48...
Page 275 Technical Information TPS-mini Outline TPS-mini Outline The following figure shows the TPS-mini outline. Figure 5 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 275/318...
Page 276 Technical Information TPS-mini Outline Figure 6 Graph of pumping speed vs inlet pressure (N2) 276/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 277 Technical Information TPS-mini Outline Figure 7 Graph of pressure vs time (with a pump down volume of 1 litre) TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 277/318...
Page 278 Technical Information Inlet Screen Installation Inlet Screen Installation Figure 8 The inlet screens mod. 9699300 and 9699309 prevent the blades of the pump from being damaged by dust greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10 %.
Page 279 Technical Information Inlet Screen Installation The screen can be mounted on either pump series and is supplied with a small tab for easy removal (see figure). Figure 10 The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange (on the left side) and pump with 4.5”...
Page 280 Technical Information High Vacuum Flange Connection High Vacuum Flange Connection To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. Figure 12 Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure.
Page 281 Technical Information High Vacuum Flange Connection Figure 13 For ConFlat flange connections we recommend using Agilent hardware. To facilitate assembly and dismantling, apply Fel-pro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange. Note that the 2.75” CF flange has six blind holes.
Page 282 Technical Information High Vacuum Flange Connection Configurations High Vacuum Flange Connection Configurations Figure 14 282/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 283 Technical Information Interconnections Interconnections Input Power Connector The following figure shows the input power connector. Figure 15 P1 – Vent Figure 16 Vent Connector This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve (available on request). The vent valve can be driven by controller automatically or by serial line.
Page 284 Technical Information P1 – Vent Figure 17 Vent Valve Diagram in “Auto” mode J5 – Gauge Connector TPS-mini is equipped with new generation gauge reading card able to drive/read a Agilent Full Range Gauge FRG-700. The FRG-700 Full Range Gauge is a combined technologies gauge (Inverted Magnetron plus Pirani Gauge).
Page 285 Technical Information P1 – Vent Pressure gauge can be connected/disconnected from the TPS-mini during normal operation. Figure 18 Gauge Connector The FRG700 gauge is intended for high vacuum use, so with pressure above NOTE 50 mTorr the signal is misinterpreted and a “false” pressure is displayed. Use a transition gauge to understand if the reading is really under 50 mTorr or not.
Page 286 Technical Information P1 – Vent Figure 20 FRG-700 gauge dimensions Procedure to Connect the Serial and I/O ports to an External Cable In the following picture, it has showed the right procedure to connect a cable to the I/O or to the serial port. A shieleed cable of 30 m (to be checked with Riccardo the max length) maximum length has to be utilized for both serial and I/O port connection.
Page 287 Technical Information P1 – Vent In this way, you will be sure to reduce the influence of the external noise and to accomplish the EMC requests. In picture d is showed the cable assembled. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 287/318...
Page 288 Technical Information J1 – IN-OUT J1 – IN-OUT Figure 21 This connector carries all the input and output signals to remote control the TPS-mini . It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use.
Page 289 Technical Information J1 – IN-OUT PIN N. SIGNAL NAME INPUT/OUTPUT PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (+) GROUND  PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (-)  Signal Description START/STOP: input signal to start or stop the pump. Without the supplied cover connector the turbomolecular pump automatically starts, if you want to stop the turbo-pump from outside, you have to connect the START/STOP (+) signal to the +24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the GROUND pin (this is the default...
Page 290 Technical Information J1 – IN-OUT 1400 1350 1300 1250 1200 1150 1100 1050 Duty Cycle [%] Figure 22 PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power or Temperature or Pressure) set by the user. The default setting is the frequency (see the following example diagram).
Page 291 Technical Information J1 – IN-OUT Output: Power setting Voltage (V) Figure 24 Output: Temperature setting Voltage (V) Figure 25 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 291/318...
Page 292 Technical Information J1 – IN-OUT Output: Pressure setting 1,0E-01 1,0E-02 1,0E-03 1,0E-04 1,0E-05 1,0E-06 1,0E-07 1,0E-08 1,0E-09 Voltage (V) Figure 26 FAULT: this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected. PROGRAMMABLE SET POINT: this open collector output signal is enabled when the reference quantity chosen (frequency, power or time or pressure or normal) is higher than the set threshold.
Page 293 Technical Information J1 – IN-OUT Figure 27 It is possible to delay the set point checking for a programmable delay time. The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings: reference quantity: frequency  thereshold: 867 Hz   hysteresis: 2 % activation type: high level ...
Page 294 Technical Information J1 – IN-OUT How to Connect the Open Collector Input of the Controller Here below there are the typical connections of the open collector input of TPS-mini to an external system. Two cases are considered: the customer supplies the 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc.
Page 295 Technical Information J1 – IN-OUT Figure 29 Case 2 with relay utilisation TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 295/318...
Page 296 Technical Information J1 – IN-OUT Figure 30 Case 2 with transistor utilisation How to Connect the Outputs of the Controller The following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller.
Page 297 Technical Information J1 – IN-OUT Figure 31 Typical output connection 1 J2 - Serial Figure 32 This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TPS-mini . TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 297/318...
Page 298 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Tab. 5 PIN N. SIGNAL NAME +5 V (OUT) TX (RS232) RX (RS232) Not used A + (RS485) Not used B - (RS485) Not used A serial communication kit with a serial cable and the Navigation software is available (optional).
Page 299 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Figure 33 RS 232 Connection Figure 34 RS 485 Connection TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 299/318...
Page 300 Technical Information Window Protocol The communication port mating connector is supplied with the RS232 PCB (AMP/Cannon or equivalent 15-pin “D” type male connector). For example, the Transmit data signal from controller (pin 2) must be connected to the host computer’s receive data line (pin 2) and vice versa.
Page 301 Technical Information Window Protocol Communication Protocol The communication protocol is a MASTER/SLAVE type where:  Host = MASTER Controller = SLAVE  The communication is performed in the following way: the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC to the controller (SLAVE);...
Page 302 Technical Information Window Protocol Tab. 6 Data Type Field Length Valid Characters Logic (L) ‘0’ = OFF ‘1’ = ON Numeric (N) ‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right justified with ‘0’ Alphanumeric (A) from blank to ‘_’ (ASCII) <ETX>...
Page 303 Technical Information Window Protocol The controller can answers with the following response types: Tab. 7 Type Response Response Description Length Value After a read instruction of a logic Logic 1 byte window After a read instruction of a numeric Numeric 6 bytes window After a read instruction of an...
Page 304 Technical Information Window Protocol Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 304/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Page 305 Technical Information Window Protocol Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 305/318...
Page 306 Technical Information Window Protocol Command: READ PUMP STATUS Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: READ SERIAL TYPE Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR WINDOW Source: PC...
Page 307 Technical Information Window-Meanings Window-Meanings Tab. 8 Read/ Data Description Admitted Values Write Type Start/Stop Start = 1 (in remote/ mode the Stop = 0 window is a read only) Low Speed Activation No = 0 (in remote/ mode the Yes = 1 window is a read only) (default = 0) Remote or Serial...
Page 308 Technical Information Window-Meanings Read/ Data Description Admitted Values Write Type Active Stop 0 = NO (write only in stop) 1 = YES (default = 0) Baud rate 600 = 0 1200 = 1 2400 = 2 4800 = 3 9600 = 4 (default = 4) Pump life/ cycle time/ cycle To reset write ‘1’...
Page 309 Technical Information Window-Meanings Read/ Data Description Admitted Values Write Type Vent open time 0 = infinite 1 bit = 0.2 sec See “vent connector” paragraph 1 to 65535 Power limit applied watt Read the maximum allowable power Gas load type Ø...
Page 310 Technical Information Window-Meanings Read/ Data Description Admitted Values Write Type Pump status Stop = 0 Waiting intlk = 1 Starting = 2 Auto-tuning = 3 Braking = 4 Normal = 5 Fail = 6 Error code Bit description: see the following figure Controller Heatsink 0 to 110...
Page 311 Technical Information Window-Meanings Read/ Data Description Admitted Values Write Type Reserved to Agilent service RS 485 address 0 to 31 (default = 0) Serial type select 0 = RS 232 1 = RS 485 (default = 0) 1. Automatic means that when the controller stops, the vent valve is opened NOTE with a delay defined by window n.
Page 312 Technical Information Orderable Parts Orderable Parts Tab. 9 Description Part number Mains cable NEMA plug [3m] 9699958 Mains cable EU plug [3m] 9699957 Serial cable and T-Plus Software 9699883 DIY Full Range Gauge Kit / 84 FS KF 40 9699190 DIY Full Range Gauge Kit / 84 FS ISO 63 9699192 DIY Full Range Gauge Kit / 84 FS CFF 4.5”...
Page 318 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd 121 Hartwell Avenue Unit Nos 105-116 Unit 201, Level 2 uptown 2, Lexington, MA 02421 - USA...

Ce manuel est également adapté pour:

Tps-mini G8703a-021 G8703a-022

Agilent Technologies G8703A-0 20 Notice De Mode D'emploi

Les langues disponibles

Liens rapides

Manuels Connexes pour Agilent Technologies G8703A-0 20

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies G8703A-0 20

Ce manuel est également adapté pour: