Page 1 TPS-compact Models: X3580-64000, X3580-64001, X3580-64002, X3580-64003, X3580-64004, X3580-64005, X3580-64006, X3580-64007, X3580-64010, X3580-64011, X3580-64012, X3580-64013, X3580-64014, X3580-64015, X3580-64016, X3580-64017, X3580-64020, X3580-64021, X3580-64022, X3580-64023, X3580-64024, X3580-64025, X3580-64026, X3580-64027 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções...
Page 2: Safety Notices
Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H)
Page 3 TPS-compact TPS-compact TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 3/314...
Page 4 TPS-compact 4/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 5: Table Des Matières
Informazioni Generali Immagazzinamento 18 Preparazione per l’installazione 19 Installazione Uso 22 Manutenzione 25 Smaltimento Gebrauchsanleitung 27 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 33 Installation 35 Gebrauch Wartung Entsorgung 41 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 5/314...
Page 6 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 61 Almacenamiento Preparación para la instalación 65 Instalación 67 Uso 69 Mantenimiento 72 Eliminación 73 Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 76 Informações gerais 77 Armazenagem 80 6/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 7 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 92 Algemene informatie Opslag Uitpakken 97 Installatie 99 Gebruik Onderhoud 104 Afvalverwerking 105 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information 109 Opbevaring 112 Forberedelse før installation 113 Installation 114 Anvendelse 116 Vedligeholdelse 119 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 7/314...
Page 8 Förberedelser för installationen 127 Installation 128 Använding 130 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 135 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 137 Lagring Klargjøre til installasjon 141 Installasjon 142 Bruk Vedlikehold 147 Kassering Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja 8/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 9 Általános információ 167 Tárolás Előkészítés telepítésre 171 Telepítés Használat 175 Karbantartás Megsemmisítés 179 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 182 Ogólne informacje 183 Magazynowanie 186 Przygotowanie do instalacji 187 Instalacja Użytkowanie TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 9/314...
Page 10 Příprava k instalaci 201 Instalace Použití Údržba Likvidace Návod na Obsluhu 209 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Údržba Likvidácia Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 226 10/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 11 General Information 241 Storage Preparation for Installation 245 Installation 246 Use 248 Maintenance Disposal Technical Information 253 Description of the TPS-Compact 255 Technical Specification 261 TPS-Compact Outline ASDF – Adaptive Scroll Driving Firmware 272 Interconnections TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 11/314...
Page 12 Contents RS 232/RS 485 Communication Description 288 Window Protocol Service Options 301 Replacement Parts and Accessories 307 12/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 13: Istruzioni Per L'uso
Informazioni Generali 15 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali 15 Simboli usati 17 Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 19 Installazione Accensione ed Uso del TPS-compact 23 Arresto del TPS-compact Arresto di Emergenza Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali 13/314...
Page 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
AVVERTENZA! Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 14/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 15: Informazioni Generali
TPS-compact è totalmente privo di agenti contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito". Il TPS-compact ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile comandare la valvola di vent, pilotarlo da remoto tramite un computer host collegato tramite linea seriale.
Page 16 I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 16/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 17: Simboli Usati
N2, Ar e gas leggeri. Nel caso in cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti di Ar, rivolgersi al supporto tecnico Agilent per informazioni. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 17/314...
Page 18: Immagazzinamento
12 mesi dalla data di spedizione. Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre ATTENZIONE! rinviare il sistema di pompaggio in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. 18/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 19: Preparazione Per L'installazione
Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione Il TPS-compact viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TPS-compact e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni.
Page 20: Installazione
In presenza di campi elettromagnetici il sistema di pompaggio deve essere protetto tramite opportuni schermi. Il TPS-compact può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare il TPS-compact in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 50 Nm attorno al proprio asse.
Page 21 La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica Agilent. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information". Il TPS-compact non può essere fissato tramite la sua base. NOTA Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information".
Page 22: Uso
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone. AVVERTENZA! Evitare urti o spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi e potrebbero verificarsi danni alle persone o alle cose. 22/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 23: Accensione Ed Uso Del Tps-Compact
Accensione ed Uso del TPS-compact Per accendere il TPS-compact è sufficiente fornire la tensione di alimentazione e mettere in posizione ON l'interruttore esterno. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dell’alimentazione ed avvia la pompa.
Page 24: Arresto Del Tps-Compact
Per una descrizione dettagliata del pannello di controllo del TPS- compact vedere l'appendice "Technical Information". Arresto del TPS-compact Per arrestare il TPS-compact è sufficiente mettere in posizione OFF l'interruttore esterno. Il controller incorporato arresta immediatamente il sistema di pompaggio. Arresto di Emergenza...
Page 25: Manutenzione
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il TPS-compact non richiede alcuna manutenzione (ad eccezione della sostituzione del Tip-seal). Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Page 26: Smaltimento
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita. Per maggiori informazioni riferirsi a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 26/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 27: Gebrauchsanleitung
TPS-compact User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen 29 Verwendete Symbole Vor der Installation Installation Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TPS-compact Stoppen von Modell TPS-compact Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 27/314...
Page 28: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. WARNUNG! Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 28/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 29: Allgemeine Informationen
Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. Modell TPS-compact ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller und der Primärpumpe, besteht. Das System eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch für...
Page 30 Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben HINWEIS werden. 30/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 31: Verwendete Symbole
Pumpe ist entworfen worden, um Stickstoff, Argon und leichtere Gase zu pumpen. Sollte die Notwendigkeit bestehen, schwereres Gas als Argon pumpen zu müssen, wenden Sie sich bitte für Informationen an den Technischen Kundendienst der Agilent. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 31/314...
Page 32: Lagerung
▪ ab dem Speditionsdatum. Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist das Pumpensystem an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. 32/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 33: Vor Der Installation
Vor der Installation Modell TPS-compact wird in einer speziellen Schutzverpa-ckung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TPS-compact ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß...
Page 34 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Modell TPS-compact kann durch die Umgebung an sich keine Schäden erleiden. HINWEIS Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden. 34/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 35: Installation
Pumpensystemdie Pumpe entsprechend abzuschirmen. Modell TPS-compact kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell TPS-compact ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 50 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Page 36 Turbopumpen mit ConFlat Eingangsflansch sind mit dem speziellen Agilent Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell TPS-compact kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden. HINWEIS Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical Information".
Page 37: Gebrauch
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr. WARNUNG! Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen oder ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden. Die Lager könnten beschädigt werden und Personen oder Gegenständen Schaden zugefügt werden. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 37/314...
Page 38: Einschaltung Und Gebrauch Von Modell Tps-Compact
Pumpensystem darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. Einschaltung und Gebrauch von Modell TPS-compact Zur Einschaltung des TPS-compact ist der Netzstecker anzuschließen und der externe Schalter auf die Schaltstellung ON zu stellen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das Anliegen der Spannung und startet die Pumpe.
Page 39: Stoppen Von Modell Tps-Compact
Für eine detaillierte Erläuterung der Bedienblende des TPS-compact siehe im Anhang "Technical Information". Stoppen von Modell TPS-compact Zur Stillsetzung des TPS-compact ist der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu schalten. Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen Stopp des Pumpensystems.
Page 40: Wartung
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Das Modell TPS-compact erfordert keine Wartung (außer der Austausch des Tip-seal). Eventuelle Eingriffe dürfen nur durch autorisiertes Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C...
Page 41: Entsorgung
Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Für weitere Informationen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 41/314...
Page 42 Gebrauchsanleitung Entsorgung 42/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 43: Mode D'emploi
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales 45 Symboles utilisés 46 Préparation pour l'installation 49 Installation Utilisation Mise en marche et utilisation du TPS-compact Arrêt du TPS-compact 55 Arrêt d'urgence Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale...
Page 44: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel! 44/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 45: Indications Générales
à vitesse élevée, mue par un moteur électrique triphasé à haut rendement. Le TPS-compact est totalement exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les applications exigeant un vide "propre". Le TPS-compact est en outre doté de connecteurs auxiliaires permettant de commander la soupape de ventilation, de le piloter à...
Page 46: Symboles Utilisés
Les symboles suivants sont utilisés dans les différentes illustrations: Danger “Voir instuctions Conducteur de d’installation/mode protection d’emploi” Surface chaude “Risque de ON – Marche (Mise brûlure en cas de contact” sous tension) Danger, risque OFF - Arrêt (Mise hors d’électrisation tension) 46/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 47 En cas de nécessité de pomper des gaz plus lourds que l'argon, veuillez prendre contact avec l'assistance technique de Agilent pour plus d'informations. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 47/314...
Page 48: Stockage
à compter de la date d'expédition. En cas de dépassement du temps de stockage, le système de pompage doit être ATTENTION! retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. 48/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 49: Préparation Pour L'installation
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber le TPS-compact et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et conforme à...
Page 50 Mode d’emploi Préparation pour l'installation Le TPS-compact ne peut s'endommager en restant simplement exposé à NOTE l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à la poussière, il est conseillé de le garder dans son emballage clos jusqu'au moment de l'installation.
Page 51: Installation
En présence de champs magnétiques, le système de pompage doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Le TPS-compact peut être installée dans n'importe quelle position. Le fixer dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de serrage de 50 Nm autour de son axe.
Page 52 à vide à l'aide des éléments mécaniques Agilent prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice "Technical Information". Le TPS-compact ne peut être fixé par sa base. NOTE Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à "Technical Information".
Page 53: Utilisation
La température élevée peut être à l'origine de lésions graves. AVERTISSEMENT! Éviter tout choc ou déplacement de la turbopompe lorsqu'elle est en marche. Cela pourrait endommager les paliers et provoquer de graves dommages aux personnes et aux choses. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 53/314...
Page 54: Mise En Marche Et Utilisation Du Tps-Compact
Ne pas utiliser le système de pompage en présence de gaz explosifs. Mise en marche et utilisation du TPS-compact Pour allumer le TPS-compact, il suffit de le brancher au réseau et de placer l'interrupteur extérieur sur ON. Le contrôleur incorporé...
Page 55: Arrêt Du Tps-Compact
Pour une description détaillée du panneau de contrôle du TPS- compact, consulter l'appendice "Technical Information". Arrêt du TPS-compact Pour arrêter le TPS-compact, il suffit de placer l'interrupteur extérieur sur OFF. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement le système de pompage. Arrêt d'urgence Pour arrêter le TPS-compact en condition d'urgence, débrancher le...
Page 56: Entretien
Mode d’emploi Entretien Entretien Le TPS-compact n'exige aucun entretien particulier (à l’exception du remplacement du Tip-seal). Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Page 57: Mise Au Rebut
œuvre le processus de collecte et mise au rebut. Pour plus d’informations, rendez-vous à l’adresse: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 57/314...
Page 58 Mode d’emploi Mise au rebut 58/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 59: Manual De Istrucciones
Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 60 Información general Símbolos usados 63 Almacenamiento 64 Preparación para la instalación 65 Instalación Encendido y Uso del TPS-compact Parada del TPS-compact Parada de Emergenica Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales 59/314...
Page 60: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 60/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 61: Información General
El TPS-compact es un sistema integrado compuesto por una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacío integrada por el respectivo controlador y la bomba primaria.
Page 62 Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato. Las notas contienen información importante extraída del texto. NOTA 62/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 63: Símbolos Usados
Nitrógeno, Argón y gases más livianos. En caso de que surja la necesidad de bombear gases más pesados que el Argón, se solicita contactar con la Asistencia Técnica de Agilent para obtener información. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 63/314...
Page 64: Almacenamiento
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver el sistema de bombeo al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent. 64/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 65: Preparación Para La Instalación
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el TPS-compact y de no someterlo a golpes o vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es completamente reciclable y cumple con lo dispuesto por la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.
Page 66 Manual de istrucciones Preparación para la instalación El TPS-compact no puede dañarse permaneciendo simplemente expuesto a la NOTA atmósfera. De todas formas, se aconseja mantener cerrada la bomba hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo.
Page 67: Instalación
El TPS-compact puede ser instalado en cualquier posición. Fijar el TPS-compact en posición estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija capaz de resistir ha un par de 50 Nm en torno a su propio eje.
Page 68 La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos específicos Agilent. Para más detalles véase el anexo “Technical Information”. El TPS-compact no puede fijarse utilizando su base. NOTA Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical Information”.
Page 69: Uso
La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas. ¡ADVERTENCIA! Evitar los golpes o bruscos desplazamientos de la turbobomba cuando está en marcha. Los rodamientos se podrían dañar y se podrían verificar daños a las personas o a las cosas. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 69/314...
Page 70: Encendido Y Uso Del Tps-Compact
No usar el sistema de bombeo cuando haya gases explosivos. Encendido y Uso del TPS-compact Para encender el TPS-compact basta conectar la tensión de alimentación y disponer el interruptor externo en posición ON. El controlador incorporado reconoce automáticamente la presencia de la alimentación y pone en marcha la bomba.
Page 71: Parada Del Tps-Compact
Manual de istrucciones parpadea rápidamente (período de 200 ms aproximadamente): ▪ situación de error. Una descripción detallada del panel de control del TPS-compact aparece en el apéndice "Technical Information". Parada del TPS-compact Para detener el TPS-compact basta disponer el interruptor externo en posición OFF.
Page 72: Mantenimiento
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El TPS-compact no necesita ningún mantenimiento (a excepción de la sustitución del Tip-seal). Toda intervención deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema, desconectarlo de la alimentación, disponer la bomba en presión atmosférica abriendo la válvula respectiva y esperar hasta que el rotor se pare completamente y que la temperatura superficial de la bomba se reduzca a menos de 50 ºC.
Page 73: Eliminación
éste es la casa fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y eliminación del producto, después de haber efectuado una verificación de los términos y condiciones contractuales de venta. Para mayor información, remitirse a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 73/314...
Page 74 Manual de istrucciones Eliminación 74/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 75: Manual De Istruções
TPS-compact User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 76 Informações gerais Símbolos utilizados Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Acendimento e Utilização do TPS-compact Paragem do TPS-compact Paragem de Emergência Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 75/314...
Page 76: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 76/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 77: Informações Gerais
às normas nacionais específicas. O TPS-compact é um sistema integrado, constituído por uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, equipado com os respectivos controller e bomba primária. O sistema é capaz de bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso, mas não é...
Page 78 As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! efectuados correctamente, podem causar danos à aparelhagem. As notas contêm informações importantes destacadas do texto. NOTA 78/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 79: Símbolos Utilizados
Nitrogénio, Argon e gases mais ligeiros. Caso seja necessário bombear gases mais pesados que o Argon, pede-se entrar em contacto com a Assistência Técnica da Agilent para mais informações. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 79/314...
Page 80: Armazenagem
é de 12 meses a contar da data da expedição. Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar o sistema de bombeamento para o fabricante. Para mais informações, contactar o representante local da Agilent. 80/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 81: Preparação Para A Instalação
Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair o TPS-compact e para não submetê-lo a choques ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é...
Page 82 Manual de Istruções Preparação para a instalação TPS-compact não pode ser danificado permanecendo simplesmente exposto à NOTA atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o momento da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó. 82/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 83: Instalação
Na presença de campos electromagnéticos, o sistema de bombeamento deve ser protegida através de blindagens adequadas. TPS-compact pode ser instalado em qualquer posição. Fixar a aparelhagem em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de 50 Nm ao redor do próprio eixo.
Page 84 Agilent. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O TPS-compact não pode ser fixado por intermédio da sua própria base. NOTA Para a instalação dos acessórios opcionais, consultar "Technical Information".
Page 85: Utilização
A elevada temperatura pode causar lesões às pessoas. ATENÇAO! Evitar colisões ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos e poderia verificar-se lesões às pessoas ou às coisas. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 85/314...
Page 86: Acendimento E Utilização Do Tps-Compact
Acendimento e Utilização do TPS-compact Para ligar o TPS-compact é suficiente conectá-lo à rede de alimentação e colocar o interruptor exterior na posição de ON. O controller incorporado detecta automaticamente a corrente de alimentação e acciona a bomba.
Page 87: Paragem Do Tps-Compact
Para informações mais detalhadas sobre o painel de comando do TPS-compact, consultar o apêndice "Technical Information". Paragem do TPS-compact Para parar o TPS-compact é suficiente colocar o interruptor exterior na posição OFF. O controller incorporado pára imediatamente o sistema de bombeamento.
Page 88: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TPS-compact não requer qualquer manutenção (com excepção da substituição do Tip-seal). Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da rede de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até...
Page 89: Eliminação
Para maiores informações consultar: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 89/314...
Page 90 Manual de Istruções Eliminação 90/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 91: Bedrijfshandleiding
TPS-compact User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 92 Algemene informatie 93 Gebruikte symbolen Opslag Uitpakken Installatie Gebruik Inschakeling en gebruik van de TPS-compact 102 Afzetten van de TPS-compact Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 105 Vertaling van de originele instructies 91/314...
Page 92: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 92/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 93: Algemene Informatie
De TPS-compact is een geïntegreerd systeem dat uit een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen en een primaire pomp bestaat. Het systeem is in staat om elk type gas of gasverbinding te pompen, maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes.
Page 94 Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPMERKING 94/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 95: Gebruikte Symbolen
De pomp is voor het verpompen van stikstof, argon en lichtere gassen ontworpen. Indien de noodzaak bestaat om zwaardere gassen dan argon te pompen, wordt u verzocht om voor informatie contact op te nemen met de Technische Service van Agilent. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 95/314...
Page 96: Opslag
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet het pompsysteem VOORZICHTIG! weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. 96/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 97: Uitpakken
Zorg er bij het uitpakken voor dat de TPS-compact niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399.
Page 98 Bedrijfshandleiding Uitpakken De TPS-compact kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de OPMERKING atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen.
Page 99: Installatie
De TPS-compact kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de TPS-compact in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 50 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
Page 100 Agilent. Zie voor meer informatie de bijlage "Technical Information". De TPS-compact kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd. OPMERKING Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn.
Page 101: Gebruik
De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken. WAARSCHUWING! Vermijd stoten of bruuske verplaatsingen wanneer de turbopomp in werking is. De lagers kunnen beschadigen en er kunnen letsels aan personen of schade aan voorwerpen worden veroorzaakt. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 101/314...
Page 102: Inschakeling En Gebruik Van De Tps-Compact
Inschakeling en gebruik van de TPS-compact Om de TPS-compact in te schakelen is het voldoende om voedingsspanning te verschaffen en de externe schakelaar in de stand ON te zetten. De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van stroom en start de pomp.
Page 103: Afzetten Van De Tps-Compact
Bedrijfshandleiding Gebruik Afzetten van de TPS-compact Om de TPS-compact uit te schakelen is het voldoende om de externe schakelaar in de stand OFF te zetten. De ingebouwde controller stopt onmiddellijk het pompsysteem. Noodstop Om de TPS-compact onder noodomstandigheden uit te schakelen, moet de voedingskabel uit de contactstop worden gehaald of de externe schakelaar in de stand OFF worden gezet.
Page 104: Onderhoud
Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De TPS-compact is onderhoudsvrij (behalve de vervanging van de Tip-seal). Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Page 105: Afvalverwerking
Kijk voor meer informatie op: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 105/314...
Page 106 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 106/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 107: Istruktionsbog
TPS-compact User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Anvendte symboler 111 Opbevaring Forberedelse før installation Installation Anvendelse Start og anvendelse af TPS-compact 117 Stop af TPS-compact Nødstop Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 107/314...
Page 108: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
ADVARSEL! For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 108/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 109: Generel Information
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine. Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. TPS-compact er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum.
Page 110 I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader. Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. BEMÆRK 110/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 111: Anvendte Symboler
Anvend ikke pumpen ved tilstedeværelse af eksplosive gasser. Pumpen er projekteret til at pumpe nitrogen, argon og lettere gasser. Såfremt der er behov for at pumpe gas, som er tungere end argon, bedes man kontakte Agilents tekniske kundeservice for yderligere oplysninger. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 111/314...
Page 112: Opbevaring
De turbomolekylære pumper må opbevares i 12 måneder fra ▪ forsendelsesdatoen. Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpeanlægget tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. 112/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 113: Forberedelse Før Installation
TPS-compact leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TPS-compact ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100 % og opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
Page 114: Installation
Hvis pumpeanlægget er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. TPS-compact kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør TPS-compact i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på 50 Nm omkring akselen.
Page 115 22 Nm Turbopumpen med ConFlat indløbsflange skal tilsluttes på vakuumkammeret ved hjælp af Agilent monteringsudstyret. I bilaget “Technical Information” findes yderligere detaljer. TPS-compact kan ikke fastgøres i fundamentet. BEMÆRK Der henvises til bilaget “Technical Information” for oplysninger vedrørende installation af ekstraudstyret.
Page 116: Anvendelse
Til pumpens luftafløb anvendes inaktiv luftart, der er fri for støv, partikler eller FORSIGTIG! fugtighed (eksempelvis kvælstof). Indgangstrykket gennem den særlige åbning skal være under 2 bar (over det atmosfæriske tryk). 116/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 117: Start Og Anvendelse Af Tps-Compact
Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Start og anvendelse af TPS-compact Tænding af TPS-compact sker ved blot at tilslutte strømmen og indstille den udvendige afbryder i position ON. Den indbyggede styreenhed registrerer øjeblikkeligt tilslutningen, og pumpen startes.
Page 118: Stop Af Tps-Compact
Istruktionsbog Anvendelse Stop af TPS-compact Afbrydelse af TPS-compact sker ved blot at indstille den udvendige afbryder i position OFF. Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpeanlægget. Nødstop Nødstop af TPS-compact sker ved at fjerne strømkablet fra stikkontakten eller indstille den udvendige afbryder i position OFF.
Page 119: Vedligeholdelse
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse TPS-compact behøver ikke nogen vedligeholdelse (med undtagelse af Tip-seal pakningen). Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Page 120: Bortskaffelse
Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten. For yderligere oplysninger, ret henvendelse til: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 120/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 121: Bruksanvisning
TPS-compact User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 122 Allmän Information Symboler som används 125 Förvaring Förberedelser för installationen 127 Installation Använding Start och användning av TPS-compact Att stänga av TPS-compact Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 121/314...
Page 122: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 122/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 123: Allmän Information
Systemet TPS-compact består av en turbomolekylär pump för höga och mycket höga vakuumtillämpningar, en styrenhet och en huvudpump. Systemet kan användas för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar.
Page 124 I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada ska uppstå. Detta visar på viktig information i texten. OBSERVERA 124/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 125: Symboler Som Används
Använd inte pumpen med explosiva gaser. Pumpen har formgetts för att pumpa kväve, argon och lättare gaser. Om gaser som är tyngre än argon måste pumpas, kontakta Agilents kundtjänst för information. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 125/314...
Page 126: Förvaring
De turbomolekylära pumparna kan lagras i 12 månader från ▪ leveransdatumet. Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpsystemet skickas OBSERVER! tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent-återförsäljaren för ytterligare information. 126/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 127: Förberedelser För Installationen
Komponenter som ska utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer p OBSERVER! g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. Normal påverkan från atmosfären kan inte skada TPS-compact. Trots det är det OBSERVERA säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den.
Page 128: Installation
I närvaro av magnetfält ska pumpsystemet skyddas med en särskild skärm. TPS-compact kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 50 Nm kring sin axel.
Page 129 22 Nm Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas vid vakuumkammaren med hjälp av Agilent fästdelar. För detaljer hänvisas till bilaga “Technical Information”. TPS-compact-systemet kan inte fastspännas med sin egen bas. OBSERVERA Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical Information". TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H)
Page 130: Använding
Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under uppvärmningen för att undvika brännskador. VARNING! Undvik stötar eller plötsliga rörelser av pumpen under drift. Lagren skulle kunna förstöras och skador på personer eller på föremål kan inträffa. 130/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 131: Start Och Användning Av Tps-Compact
Använd ej pumpsystemet i närheten av explosiva gaser. Start och användning av TPS-compact Starta TPS-compact genom att slå till strömmen och placera den externa brytaren i läge ON. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt av strömtillförseln och sätter igång pumpen.
Page 132: Att Stänga Av Tps-Compact
Bruksanvisning Använding Att stänga av TPS-compact Stäng av TPS-compact genom att placera den externa brytaren i läge OFF. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpsystemets funktion. Nödstopp Stäng av TPS-compact vid en nödsituation genom att dra ut elkabeln från eluttaget eller genom att placera den externa brytaren i läge OFF.
Page 133: Underhåll
Bruksanvisning Underhåll Underhåll TPS-compact är underhållsfritt (förutom bytet av Tip-seal). Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC.
Page 134: Bortskaffning
Vi rekommenderar därför att slutanvändaren tar kontakt med leverantören av anordningen, oberoende om det handlar om moderföretaget eller återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. För ytterligare information, se: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 134/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 135: Instruksjon Manual
TPS-compact User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 137 Symboler i bruk Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk 144 Starte og bruke TPS-compact Stoppe TPS-compact Nødstopp Vedlikehold Kassering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 135/314...
Page 136: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. ADVARSEL! For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye! 136/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 137: Generell Informasjon
TPS-compact systemet består av en turbo-molekulær pumpe for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, en styreenhet og en hovedpumpe. Systemet kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening.
Page 138 Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! fore til at utstyret skades. Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. MERK 138/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 139: Symboler I Bruk
Bruk ikke pumpene med eksplosive gasser. Pumpen er prosjektert for å pumpe nitrogen, argon og lettere gasser. I tilfelle det skulle være nødvendig å pumpe tyngre gasser enn argon ber vi om at det tas kontakt med Agilents Tekniske Assistanse for opplysninger. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 139/314...
Page 140: Lagring
Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 12 måneder fra ▪ sendedato. Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpesystemet FORSIKTIG! returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent-forhandleren for informasjon. 140/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 141: Klargjøre Til Installasjon
Når TPS-compact pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte.
Page 142: Installasjon
TPS. Ved magnetfelt må pumpesystemet beskyttes av dertil egnede skjermer. TPS-compact kan monteres i en valgfri stilling. Fest TPS-compact i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment på 50 Nm rundt aksen. Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer.
Page 143 Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra Agilent. For detaljer henvises det til “Technical Information”. TPS-compact må ikke festes gjennom fundamentet. MERK For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Technical Information". TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H)
Page 144: Bruk
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til brannskader. ADVARSEL! Unngå støt eller brå bevegelser av turbopumpen når den er i bruk. Lagrene kan kunne skades og det kan kunne oppstå skade på personer eller gjenstander. 144/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 145: Starte Og Bruke Tps-Compact
Pumpesystemet skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. Starte og bruke TPS-compact For å slå på TPS-compact er det nok å kople til strømmen og dreie den utvendige bryteren til ON. Den innebygde styreenheten detekterer strømforsyningen automatisk, og sørger for å starte pumpen.
Page 146: Stoppe Tps-Compact
Instruksjon Manual Bruk Stoppe TPS-compact For å stoppe TPS-compact er det nok å dreie den utvendige bryteren til OFF. Den innebygde styreenheten stanser pumpesystemet umiddelbart. Nødstopp For å stoppe TPS-compact i en nødsituasjon er det nødvendig å trekke strømkabelen ut av stikkontakten, eller dreie den utvendige bryteren til OFF.
Page 147: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TPS-compact er vedlikeholdsfri (bortsett fra utskifting av Tip-seal). Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noearbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Page 148: Kassering
Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og kassering etter å ha kontrollert avtaler og betingelser i kjøpekontrakten. For mer informasjon: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 148/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 149: Ohjekäsikirja
TPS-compact User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 150 Yleisiä tietoja Käytetyt symbolit 153 Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 159 TPS-compact:n käynnistys ja käyttö 160 TPS-compact: n pysäyttäminen 161 Hätäpysäytys 161 Huolto 162 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 149/314...
Page 150: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 150/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 151: Yleisiä Tietoja
TPS- compact -järjestelmässä ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se soveltuu myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. TPS-compact -järjestelmään kuuluu lisäksi apuliittimiä, joiden avulla on mahdollista ohjata tuuletusventtiiliä ja käyttää järjestelmää kauko- ohjauksella sarjakytketyn isäntätietokoneen avulla.
Page 152 VAROITUS! Varoitus-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen HUOMIO! vahingoittumiseen. Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa. HUOM 152/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 153: Käytetyt Symbolit
Älä käytä pumppua jos paikalla on räjähtäviä kaasuja. Pumppu on suunniteltu typen, argonin tai kevyempien kaasujen pumppaamiseen. Mikäli argoniin nähden painavampia kaasuja joudutaan pumppaamaan, ottakaa yhteyttä Agilentin tekniseen huoltoon lisätietoja varten. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 153/314...
Page 154: Varastointi
Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft- ▪ start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 12 kuukautta ▪ toimituspäivästä. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppausjärjestelmä tulee HUOMIO! palauttaa tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. 154/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 155: Valmistelut Asennusta Varten
TPS-compact toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TPS-compact:n putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali voidaan kierrättää kokonaisuudessaan ja se vastaa EY-direktiiviä 85/399 ympäristön suojelusta.
Page 156 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten TPS-compact ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On HUOM kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen. 156/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 157: Asennus
▪ ohjekirjoihin. Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppausjärjestelmä suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. TPS-compact voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnitä TPS- compact tukevaan asentoon kytkemällä turbopumpun kiinteä sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kestää 50 Nm:n momentin oman akselinsa ympäri. Turbopumppu ISO-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammioon kaksois- tai yksinkertaisilla kiinnikkeillä.
Page 158 Kaksoiskiinnike, kierteitys M10 22 Nm Turbopumppu ConFlat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammioon sopivien Agilentin mekaanisten varusteiden avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. TPS-compact:ä ei voida kiinnittää perustansa kautta. HUOM Ks. “Technical Information” -liitettä lisävarusteiden asentamista varten. 158/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 159: Käyttö
Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen aikana. Korkea lämpötila saattaa aiheuttaa henkilöiden loukkaantumisia. VAROITUS! Välttäkää turbopumppuun kohdistuvia iskuja tai sen äkkinäistä liikuttamista sen ollessa käynnissä. Laakerit voisivat vahingoittua, joka saattaisi johtaa henkilö- tai omaisuusvahinkoihin. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 159/314...
Page 160: Tps-Compact:n Käynnistys Ja Käyttö
Älkää käyttäkö pumppausjärjestelmää räjähdysherkkien kaasujen lähellä. TPS-compact:n käynnistys ja käyttö Käynnistä TPS-compact kytkemällä sähkö päälle ja asettamalla ulkokatkaisin ON-asentoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti sähkövirran ja käynnistää pumpun. Ensimmäisessä käynnistyksessä on hyvä käyttää "Soft Start" -tapaa.
Page 161: Tps-Compact: N Pysäyttäminen
Ohjekäsikirja Käyttö TPS-compact: n pysäyttäminen Pysäytä TPS-compact asettamalla ulkokatkaisin OFF-asentoon. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumppausjärjestelmän välittömästi. Hätäpysäytys Hätätilassa pysäytä TPS-compact irrottamalla sähköjohto pistorasiasta tai asettamalla ulkokatkaisin OFF-asentoon. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 161/314...
Page 162: Huolto
Ohjekäsikirja Huolto Huolto TPS-compact ei vaadi lainkaan huoltoa (tip-seal-tiivisteen vaihtamista lukuun ottamatta). Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC:en.
Page 163: Hävittäminen
Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. Lisätietoja varten viitatkaa osoitteeseen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 163/314...
Page 164 Ohjekäsikirja Hävittäminen 164/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 165: Felhasználói Kézikönyv
TPS-compact User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános információ 167 Felhasznált jelképek Tárolás Előkészítés telepítésre 171 Telepítés Használat A TPS-compact bekapcsolása és használata A TPS-compact kikapcsolása Vészleállítás 177 Karbantartás Megsemmisítés 179 Az eredeti utasítás fordítása 165/314...
Page 166: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 166/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 167: Általános Információ
A TPS- compact szennyezőanyagoktól mentes, és ezért alkalmas „tiszta” vákuumot igénylő alkalmazásokra. A TPS-compact fel van szerelve segédcsatlakozókkal a ventillátor szelepének vezérléséhez, amit távoli helyről kell vezérelni soros vonalon csatlakoztatott gazdagépen keresztül. A következő bekezdések a berendezést használó kezelő biztonságának garantálásához szükséges összes információt tartalmazzák.
Page 168 A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! követnek, a berendezés károsodását okozhatják. A megjegyzések fontos, a szövegből kivonatolt információkat tartalmaznak. MEGJEGYZÉS 168/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 169: Felhasznált Jelképek
Ne használjuk a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. A szivattyút nitrogén, argon és könnyebb gázok szivattyúzására tervezték. Amennyiben az argonnál nehezebb gáz szivattyúzására lenne szükség, forduljon a Agilent műszaki ügyfélszolgálatához felvilágosítás végett. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 169/314...
Page 170: Tárolás
Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 12 hónap a ▪ szállítás dátumától. Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyúzó rendszert vissza FIGYELEM! kell vinni a gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Agilent vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. 170/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 171: Előkészítés Telepítésre
Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A TPS-compact-ot különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
Page 172 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a TPS-compact-ot. MEGJEGYZÉS Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját. 172/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 173: Telepítés
▪ kézikönyvét Mágneses mezők jelenlétében a szivattyúzó rendszert védeni kell ferromágneses pajzs segítségével. A TPS-compact-ot bármely helyzetben lehet telepíteni. Rögzítse a TPS-compact-ot stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 50 Nm tengely körüli nyomatéknak.
Page 174 22 Nm A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Agilent hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért lásd „Technical Information”. ATPS-compact nem rögzíthető az alapján keresztül. MEGJEGYZÉS Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Technical Information”. 174/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 175: Használat
A csapágyak megsérülhetnek, és anyagi kár vagy személyi sérülés történhet. Használjon portól, szemcséktől vagy nedvességtől mentes semleges gázt (pl. FIGYELEM! nitrogént) a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton lévő nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött). TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 175/314...
Page 176: A Tps-Compact Bekapcsolása És Használata
(kb. 200 ms periódus): hibafeltétel. ▪ A TPS-compact vezérlőpanel részletes leírásáért lásd „Technical Information” függelék. A TPS-compact kikapcsolása A TPS-compact kikapcsolásához elegendő a külső kapcsolót KI állásba kapcsolni. A beépített vezérlő azonnal leállítja a szivattyúzó rendszert. 176/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 177: Vészleállítás
Felhasználói Kézikönyv Használat Vészleállítás A TPS-compact vészhelyzetben való azonnali leállításához el kell távolítani a tápkábelt a hálózati dugaszból, vagy a külső kapcsolót KI állásba kell kapcsolni. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 177/314...
Page 178: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TPS-compact nem igényel karbantartást (kivéve a Tip-seal cseréjét). A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Page 179: Megsemmisítés
és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. Részletes információk végett forduljon az alábbi címhez: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 179/314...
Page 180 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés 180/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 181: Podrecznik Instrukcji
Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne informacje 183 Zastosdowane symbole 185 Magazynowanie 186 Przygotowanie do instalacji 187 Instalacja Użytkowanie Włączenie i obsługa systemu TPS-compact Zatrzymanie TPS-compact 192 Zatrzymanie Alarmowe 192 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 181/314...
Page 182: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
ZAGROZENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi! 182/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 183: Ogólne Informacje
TPS-compact jest zintegrowanym systemem składającym się z pompy turbomolekularnej dla zastosowania wysokich i ultra wysokich próżni , odpowiedniego sterownika i z głównej pompy. System jest w stanie pompować...
Page 184 Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. Są to ważne przypis wyciągnięte z tekstu. PRZYPIS 184/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 185: Zastosdowane Symbole
Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. Pompa jest zaprojektowana do pompowania azotu, argonu i gazów lżejszych. W przypadku konieczności pompowania gazów cięższych od argonu, należy skontaktować się z działem Obsługi Technicznej firmy Agilent w celu uzyskania odpowiednich informacji. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 185/314...
Page 186: Magazynowanie
12 ▪ miesięcy od daty wysyłki. Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy UWAGA! odesłać zespół pompujący do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. 186/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 187: Przygotowanie Do Instalacji
Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. ć System TPS-compact, nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go na PRZYPIS działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.
Page 188: Instalacja
TPS. W obecności pól elektromagnetycznych zespół pompyjący musi być odpowiednio zabezpieczony przez odpowiednie ekranowanie. TPS-compact może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji. Zamocować TPS-compact w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na obciążenie 50 Nm wokół własnej osi.
Page 189 Agilent. W celu dodatkowych informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Technical Information” System TPS-compact nie może być mocowany poprzez własną podstawę. PRZYPIS Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z „Technical Information”.
Page 190: Użytkowanie
Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może spowodować uszkodzenia ciała na osobach. ZAGROZENIE! Podczas funkcjonowania turbopompy należy unikać uderzeń i jej przemieszczania. Łożyska mogą ulec uszkodzeniu i może dojść do uszkodzenia Osób lub rzeczy. 190/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 191: Włączenie I Obsługa Systemu Tps-Compact
Nie stosować zespołu pompującego w obecności gazów wybuchowych. Włączenie i obsługa systemu TPS-compact Aby włączyć TPS-compact wystarczy dostarczyć napięcie zasilania i ustawić wyłącznik zewnętrzny w pozycji On. Wbudowany sterownik tzw. kontroler automatycznie rozpozna obecność zasilania i uruchomi pompę.
Page 192: Zatrzymanie Tps-Compact
Aby zatrzymać TPS-compact wystarczy ustawić wyłącznik zewnętrzny na pozycji OFF. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast zespół pompujący. Zatrzymanie Alarmowe Aby zatrzymać w stanie alarmowym system TPS-compact, należy wyłączyć kabel zasilania z gniazda sieciowego, lub ustawić zewnętrzny wyłącznik na pozycję OFF. 192/314...
Page 193: Konserwacja
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja System TPS-compact nie wymaga żadnej konserwacji (z wyjątkiem wymiany Tip-seal). Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór dla wlotu powietrza, odczekać...
Page 194: Przetworstwo Odpadow
Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu. W@ięcej informacji zamieszczono: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 194/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 195: Návod K Použití
Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 196 Všeobecné informace 197 Použité symboly Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 204 Zapnutí a používání vývěvy TPS-compact 205 Vypnutí vývěvy TPS-compact Nouzové zastavení 206 Údržba Likvidace 208 Překlad originálního návodu 195/314...
Page 196: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie. NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence poškození zařízení a zranění obsluhy! 196/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 197: Všeobecné Informace
činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. TPS-compact je integrovaný systém pro aplikace vyžadující vysoké a velmi vysoké vakuum vybavený hlavní turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem. Zařízení může odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs.
Page 198 činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Pozor hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení mohly POZOR! poškodit zařízení. Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu. POZNÁMKA 198/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 199: Použité Symboly
Vývěva byla navržena pro čerpání dusíku, argonu a lehkých plynů. V případě, že by bylo třeba čerpat plyny těžší než argon, je třeba požádat o informace Servisní službu firmy Agilent. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 199/314...
Page 200: Uskladnění
12 měsíců ode dne ▪ doručení. Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, čerpací systém POZOR! musíte vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. 200/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 201: Příprava K Instalaci
POZOR! manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. V normálním prostředí se vývěva TPS-compact nemůže poškodit. Přesto POZNÁMKA doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem.
Page 202: Instalace
TPS. V přítomnosti magnetických polí se čerpací systém musí chránit feromagnetickým stíněním. Vývěvu TPS-compact lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TPS- compact upevněte v nějaké stabilní poloze a vstupní přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese torzní moment 50 Nm kolem své osy.
Page 203 Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu firmy Agilent. Viz podrobný popis v příloze "Technical Information". Vývěvu TPS-compact nelze připevnit pomocí její podstavy. POZNÁMKA Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technical Information".
Page 204: Použití
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny. NEBEZPEČÍ! Předcházejte nárazům či posunům turbomolekulární vývěvy během jejího chodu. Mohlo by dojít k poškození ložisek a také ke zranění osob či škodám na věcech. 204/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 205: Zapnutí A Používání Vývěvy Tps-Compact
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Zapnutí a používání vývěvy TPS-compact Vývěvu TPS-compact stačí zapojit do sítě a pak zapnout venkovní vypínač. Vestavěný regulátor automaticky rozezná přítomnost síťového napětí a spustí vývěvu.
Page 206: Vypnutí Vývěvy Tps-Compact
Vývěvu TPS-compact stačí vypnout externím vypínačem, který přepnete do vypnuté polohy. Vestavěný regulátor čerpací systém okamžitě zastaví. Nouzové zastavení Pro okamžité zastavení vývěvy TPS-compact v nouzové situaci je třeba vytáhnout napájecí kabel ze síťové zásuvky, nebo vypnout síťový vypínač. 206/314...
Page 207: Údržba
Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TPS-compact nevyžaduje žádnou údržbu (s výjimkou výměny Tip-seal). Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Page 208: Likvidace
Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o kompletní likvidaci uvedeného výrobku. Podrobnejší informace můžete získat na internetové stránce: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 208/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 209: Návod Na Obsluhu
TPS-compact User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 211 Použité symboly Uchovávanie Príprava na inštaláciu 215 Inštalácia Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TPS-compact Vypnutie TPS-compact 220 Núdzové zastavenie Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu 209/314...
Page 210: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍ! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť dôsledne dodržované, aby nedošlo k poškodeniu zariadenia alebo k zraneniu obsluhy! 210/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 211: Všeobecné Informácie
úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej krajiny. TPS-compact je integrovaný systém s turbovývevou pre určený pre aplikácie používajúce vysoké, alebo veľmi vysoké vákuum, spojený s príslušným kontrolným modulom a vývevou primárneho vákua. Systém dokáže vyčerpať...
Page 212 Nebezpečíe majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu. POZNÁMKA 212/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 213: Použité Symboly
Výveva bola navrhnutá pre čerpanie dusíka, argónu a ľahkých plynov. V prípade, ak bude chcieť čerpať plyny ťažšie ako argón, bude potrebné požiadať o informácie Servisnú službu firmy Agilent. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 213/314...
Page 214: Uchovávanie
12 mesiacov odo ▪ dňa dodania. Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte čerpací POZOR! systém do závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. 214/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 215: Príprava Na Inštaláciu
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Zariadenie TPS-compact je dodané v špeciálnom ochrannom obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
Page 216 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Bežné vystavenie okolitým podmienkam nemôže TPS-compact poškodiť. POZNÁMKA Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie prachom. 216/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 217: Inštalácia
TPS. V prítomnosti magnetického poľa musí byť čerpací systém chránený feromagnetickým štítom. Zariadenie TPS-compact môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe. Upevnite TPS-compact do stabilnej polohy pripojením vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak, aby vydržala namáhanie krútiacim momentom 50 Nm okolo svojej osi.
Page 218 Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená k vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky Agilent. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. TPS-compact nemožno upevniť pomocou jej základnej dosky. POZNÁMKA O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technical Information”.
Page 219: Použitie
čo my mohlo viesť k úrazom alebo k majetkovým škodám. Pre výplach vývevy používajte inertný plyn zbavený prachu, častíc a vlhkosti POZOR! (napr. dusík) Tlak na ventilačnom vstupe musí byť nižší než 2 bary (pretlakové). TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 219/314...
Page 220: Zapnutie A Použitie Zariadenia Tps-Compact
Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Zapnutie a použitie zariadenia TPS-compact Pre zapnutie TPS-compactu stačí pripojenie k sieti a prepnutie vonkajšieho vypínača do polohy ON. Zabudovaný kontrolný modul automaticky rozpozná pripojenie k sieti a zapne vývevu.
Page 221: Núdzové Zastavenie
Návod na Obsluhu Použitie Núdzové zastavenie Ak chcete zariadenie TPS-compact okamžite vypnúť v stave núdze, musíte alebo vytiahnuť kábel napájania zo zástrčky zdroja napájania, alebo prepnúť vonkajší vypínač do polohy OFF. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 221/314...
Page 222: Údržba
Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie TPS-compact nevyžaduje žiadnu údržbu (s výnimkou výmeny Tip-seal). Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍE! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Page 223: Likvidácia
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. Podrobnejšie informácie môžete získať na internetovej stránke: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 223/314...
Page 224 Návod na Obsluhu Likvidácia 224/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 225: Priročnik Za Navodila
TPS-compact User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 226 Splošne informacije Uporabljeni simboli 228 Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vklop in uporaba TPS-compact-a 235 Izklop TPS-compact-a 236 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 225/314...
Page 226: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 226/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 227: Splošne Informacije
TPS-compact je integriran sistem s turbomolekularno črpalko za visoko in ultravisoko vakuumsko uporabo, ki je povezana s pripadajočim upravljalcem in primarno črpalko. Sistem lahko črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi.
Page 228: Uporabljeni Simboli
Naslednji simboli so dosledno uporabljeni na vseh slikah: Nevarnost: »Upoštevajte Ozemljitveni vodnik navodila za namestitev / delovanje« Vroča površina: »Nevarnost ON – vklop (napajanja) opeklin ob dotiku vročih delov« Nevarnost električnega OFF – izklop udara (napajanja) 228/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 229 Črpalke nikoli ne uporabljajte ob prisotnosti eksplozivnih plinov. Črpalka je zasnovana za črpanje dušika, argona in lažjih plinov. Če bi bilo potrebno črpati pline, ki so težji od argona, se posvetujte s službo za tehnično pomoč Agilent. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 229/314...
Page 230: Shranjevanje
Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 12 mesecev od ▪ datum pošiljanja. Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalni POZOR! sistem vrniti v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. 230/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 231: Priprava Za Montažo
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo TPS-compact je dobavljen v posebni zaščitni embalaži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte. Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399.
Page 232: Montaža
TPS. V prisotnosti magnetnih polje zaščite črpalni sistem s feromagnetnim ščitom. TPS-compact lahko namestite v poljuben položaj. TPS-compact namestite v stabilem položaj tako, da povežete vhodno prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki lahko prenese navor 50 Nm okoli svoje osi.
Page 233 Turbo črpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Agilent strojne opreme. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". TPS-compact-a ni moč pritrditi s svojo osnovo. OPOMBA Za namestitev opcijski dodatkov, glej »Technical Information«.
Page 234: Uporaba
Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne dotikajte. Visoka temperatura lahko povzroči opekline. SVARILO! Preprečiti udarce ali premike turbočrpalke, ko le-ta deluje. Ležaji se namreč lahko poškodujejo, kar lahko povzroči škodo človeku in predmetom. 234/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 235: Vklop In Uporaba Tps-Compact-A
»Soft Start« onemogočite. Za aktivacijo načina »Soft Start«, glej odstavek »Opis signalov« v poglavju »Technical Information«. Plava lučka "STATUS", ki se nahaja na zadnji plošči TPS-compact kaže, preko frekvence lastnega utripa, operativne pogoje sistema: Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti;...
Page 236: Izklop Tps-Compact-A
Priročnik za Navodila Uporaba Izklop TPS-compact-a Za izklop TPS-compact-a je dovolj, da premaknete zunanje stikalo v položaj OFF. Vgrajen kontroler takoj zaustavi črpalni sistem. Zaustavitev v sili Za takojšenj izklop TPS-compact-a v sili je potrebno odstraniti dovod napetosti ali premakniti zunanje stikalo v položaj OFF.
Page 237: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje TPS-compact ne potrebuje vzdrževanja (razen zamenjave Tip-seal-a). Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Page 238: Odlaganje Opadkov
šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. Za podrobnejše informacije si oglejte spletno stran: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 238/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 239: Instructions For Use
TPS-compact User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 240 General Information Symbols used 243 Storage Preparation for Installation 245 Installation Switching on and Use of TPS-Compact TPS-Compact Switching off 250 Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions 239/314...
Page 240: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
WARNING! To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 240/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 241: General Information
The TPS-compact is an integrated system with a turbo-molecular pump for high and ultra-high vacuum applications associated with its relevant controller and its primary pump. The system can pump any type of gas or gas compound.
Page 242 The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment. The notes contain important information taken from the text. NOTE 242/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 243: Symbols Used
The pump is designed to pump high throughput of N , Ar and lighter gas. Should you need to pump gases heavier than Ar, please contact Agilent technical support for informations. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 243/314...
Page 244: Storage
If for any reason the shelf life time is exceeded, the pumping system has to be CAUTION! returned to the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. 244/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 245: Preparation For Installation
Instructions for Use Preparation for Installation Preparation for Installation The TPS-compact is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Page 246: Installation
In the presence of magnetic fields the pumping system must be protected using a ferromagnetic shield. The TPS-compact can be installed in any position. Fix the TPS- compact in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 50 Nm around its axis.
Page 247 The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate Agilent hardware. See the appendix "Technical Information" for a detailed description. The TPS-compact cannot be fixed by means of its base. NOTE For installation of optional accessories, see "Technical Information".
Page 248: Use
The high temperatures may cause burns. WARNING! Avoid impacts or harsh movements of the pump when in operation. The bearings may become damaged and damages to the persons or the things could be taken place. 248/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 249: Switching On And Use Of Tps-Compact
Switching on and Use of TPS-Compact To switch on the TPS-compact it is sufficient to supply the mains and then move the external switch to ON position. The integrated controller automatically recognizes the mains presence and start up the pump.
Page 250: Tps-Compact Switching Off
Instructions for Use TPS-Compact Switching off To switch off the TPS-compact it is sufficient to move the external switch to OFF position. The integrated controller immediately stops the pumping system. Emergency Stop To immediately stop the TPS-compact in an emergency condition it is necessary to remove the supply cable from the mains plug or moving the external switch to OFF position.
Page 251: Maintenance
Instructions for Use Maintenance Maintenance The TPS-compact does not require any maintenance (except Tip-seal replacement). Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,...
Page 252: Disposal
The end user is therefore invited to contact the supplier of the device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 252/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 253: Technical Information
TPS-compact User Manual Technical Information Description of the TPS-Compact Turbopump Description 257 Controller Description Control Panel Description Scroll Pump Description 260 Technical Specification TPS-Compact Outline Inlet Screen Installation 267 High Vacuum Flange Connection 269 High Vacuum Flange Connection Configurations ASDF – Adaptive Scroll Driving Firmware...
Page 254 Window Meanings 297 Service Options 301 Cleaning 301 Exterior Interior Tip-Seal Replacement To Remove the Worn Tip-Seals To Install the new Seals and O-Rings 304 To test the Pumping System Troubleshooting Chart Replacement Parts and Accessories 254/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 255: Description Of The Tps-Compact
Description of the TPS-Compact Description of the TPS-Compact The TPS-compact pumping system consists of a pump with an integrated controller and a forepump and is available in twenty-four models which differ in the TPM size, high vacuum flange and voltage.
Page 256 Technical Information Description of the TPS-Compact 74 FS or 304 FS 256/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 257: Turbopump Description
A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to prevent the pump from overheating. The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0.01 µm. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 257/314...
Page 258: Controller Description
The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection. Control Panel Description The following picture shows the TPS-compact control panel; the associated table lists the avail-able commands. For a detailed description see the following paragraphs.
Page 259 Control name Description J5 IN-OUT Input-output connector to remote control the TPS-compact J6 SERIAL Serial input-output connector to control the TPS-compact via an RS 232 or RS 485 connection STATUS Blue LED to show the system operating condition P3 VENT...
Page 260: Scroll Pump Description
Technical Information Description of the TPS-Compact Scroll Pump Description The TPS-compact internal scroll creates vacuum using a simple dual scroll mechanism in which one of the nested scrolls orbits about the other, creating moving zones of captured gas. Gas enters the scroll set at the perimeter and is displaced and compressed toward the center hub where it is exhausted.
Page 261: Technical Specification
115 Vac: 5 A 115 Vac: 4 A 230 Vac: 3 A 230 Vac: 2.5 A 100 Vac: 5 A Compliance with: EN 55011 (Class A Group 1) EN 61326-1 EN 61010-1 EN 1012-2 EN 12100 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 261/314...
Page 262 * According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leakfree test dome, 48 hours after the completion of test dome bake-out, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange. When the TPS-compact has been stored at a temperature less than 5 °C, wait NOTE until the TPS-compact has reached the above mentioned temperature.
Page 263: Tps-Compact Outline
Technical Information TPS-Compact Outline TPS-Compact Outline The following figure shows the TPS-compact outline. Dimensions are in mm. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 263/314...
Page 264 Technical Information TPS-Compact Outline TPS-compact equipped with 304 FS: Pumping speed for Nitrogen 264/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 265 Technical Information TPS-Compact Outline TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 265/314...
Page 266 Technical Information TPS-Compact Outline TPS-compact 304 FS: 15l pumpdown 266/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 267: Inlet Screen Installation
Technical Information TPS-Compact Outline Inlet Screen Installation TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 267/314...
Page 268 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10 %. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. 268/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 269: High Vacuum Flange Connection
The screen can be removed as shown in the following figure. High Vacuum Flange Connection To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 269/314...
Page 270 Attach the units and tighten each one in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet. Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the CAUTION! envelope as this may cause the pump rotor to lock. 270/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 271: High Vacuum Flange Connection Configurations
Technical Information TPS-Compact Outline High Vacuum Flange Connection Configurations TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 271/314...
Page 272: Asdf - Adaptive Scroll Driving Firmware
When the absorbed power exceeds the threshold power �� , then the integrated scroll pump is switched on and the �� separation electromagnetic valve is re-opened. So, the ASDF is able to extend the scroll Tip-seal life 272/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 273 Technical Information ASDF – Adaptive Scroll Driving Firmware TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 273/314...
Page 274: Interconnections
The following figure shows the input power connector. P3 – Vent This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve (available on request). The vent valve can be driven by controller automatically or by serial line. 274/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 275: Gauge Connector
Technical Information Interconnections Gauge Connector TPS-compact is equipped with new generation gauge reading card able to drive/read a Agilent Full Range Gauge FRG-700. The FRG-700 Full Range Gauge is a combined technologies gauge (Inverted Magnetron plus Pirani Gauge). FRG-700 measure from 5x10 mbar to atmosphere (3.8x10...
Page 276 Technical Information Interconnections Pressure gauge can be connected/disconnected from the TPS- compact during normal operation. 276/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 277: Pressure Display Module
Technical Information Interconnections Pressure Display Module TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 277/314...
Page 278: J5 - In-Out
SPEED SETTING (-) SOFT START (+) SOFT START (-) +24 Vdc = 30 mA NORMAL OUTPUT (relay contact) = 125V = 200 mA PROGRAMMABLE SET POINT NORMAL OUTPUT (relay contact) FAULT OUTPUT PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (+) 278/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 279: Signal Description
100 Hz +/-20 % ▪ amplitude: 24 V max ▪ ▪ duty cycle range: from 25 % to 75 % corresponding to a pump speed from 1100Hz to 1167Hz (see the ▪ following diagram). TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 279/314...
Page 280 PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power or Temperature or Pressure) set by the user. The de-fault setting is the frequency (see the following example diagram). 280/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 281 Technical Information Interconnections Output: Power setting Voltage (V) Output: Temperature setting Voltage (V) TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 281/314...
Page 282 (in % of the threshold value) to avoid bouncing. For example: reference quantity: frequency ▪ ▪ threshold: 867 Hz ▪ hysteresis: 2 % activation type: "high level" ▪ 282/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 283: How To Connect The Open Collector Input Of The Controller
How to Connect the Open Collector Input of the Controller Here below there are the typical connections of the open collector input of TPS-compact to an external system. Two cases are considered: TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 283/314...
Page 284 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc. Please note that on the connector a 24 Vdc, 30 mA, a GROUND signal and the open collector pin are available. 284/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 285 Technical Information Interconnections TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 285/314...
Page 286 Technical Information Interconnections 286/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 287: How To Connect The Outputs Of The Controller
11 and 9. J6 – Serial This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TPS-compact. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 287/314...
Page 288: Rs 232/Rs 485 Communication Description
RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the software. Communication Format 8 data bit ▪ no parity ▪ 1 stop bit ▪ ▪ baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 programmable 288/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 289 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description  ½ W PC HOST TPS-compact TPS-compact  ½ W TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 289/314...
Page 290: Serial Communication Descriptions
This unit can communicate by two different proto-col: ▪ protocol (old system) “letter” “Window” protocol (new system). ▪ These two protocols can be used as well with 232 or 485 media. Please use “Window” protocol for new development. NOTE 290/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 291: Window Protocol
ANSWER + CRC to the host. The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> Where: When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated NOTE data is the corresponding ASCII character. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 291/314...
Page 292 MESSAGE. Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one NOTE used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR> 292/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 293 The specified window is Read Only or temporarily disabled (for example) Win Disabled 1 byte (0x35) you can’t write the Soft Start when the Pump is running) TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 293/314...
Page 294: Examples
Technical Information Window Protocol Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 294/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 295 Technical Information Window Protocol Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 295/314...
Page 296 Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: REAL SERIAL TYPE Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR WINDOW DATA 296/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 297: Window Meanings
1 = low level active active" (default = 0) Set point hysteresis (in % of value) 0 to 100 (default = 2) Active Stop (write only in stop) 0 = NO 1 = YES (default = 0) TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 297/314...
Page 298 0 to 13107 sec) (default = 15) Vent open time 0 = infinite See “vent connector” paragraph 1 bit = 0.2 sec 1 to 65535 Power limit applied watt Read the maximum allowable power 298/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 299 Reserved to Agilent service to 347 0 = reset Tip-seal life (R) Tip-seal life reset (W) CRC EPROM (QE) QE8XXXX (where “XXXX” are variable) Boot CRC (BL) BL2XXXX (where “XXXX” are variable) TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 299/314...
Page 300 3. These commands remove the pump motor supply for a short time. If they are used continuously, they can cause the pump stopping. TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. 300/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 301: Service Options
O-rings, and can be obtained from your Agilent dealer. Cleaning Exterior The exterior surfaces of the TPS-compact may be cleaned with mild detergents only. Interior Internal dry scroll pump do not contain fluid for the cleansing of accumulated dust and debris.
Page 302: Tip-Seal Replacement
Tip-Seal Replacement The parts and tools required to replace Tip-Seals are listed below: Tip-Seal Replacement Kit P/N IDP3TS ▪ 4 mm Allen wrench ▪ Razor blade or side-cutting pliers ▪ Compressed air (optional) ▪ 302/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 303: To Remove The Worn Tip-Seals
Unlock the scroll pump support by unscrewing the screws (A) (see the “Tip-Seal replacement - Figure A”) Lift the TPS-compact in order to access the Scroll pump site (you’ll hear a “click” noise as soon as the upper part of TPS- compact is locked).
Page 304: To Install The New Seals And O-Rings
Reinstall (4) M5 bolts (B) and torque the (4) M5 bolts to 5.6 Nm (50 in-lb). Unlock the upper part of TPS-compact by sliding the small lever you can find on the bottom side of TPS-compact. Reconnect the TPS-compact to the electrical power mains.
Page 305: To Test The Pumping System
10 minutes prior to disassembly. To test the Pumping System Run the TPS-compact for about 5 seconds. Verify that the front fan is running. If you hear loud noises from the Scroll pump this indicates that the tip seal or main O-ring are possibly out of place.
Page 306: Troubleshooting Chart
Scroll Pump seals worn out Replace tip seals. Poor conductance to TPS-compact Replumb with shorter and/or larger diameter tubing. Hammering Scroll pump overheated Check ventilation to TPS-compact. Check ambient noise temperature. Debris in Scroll pump Flush the TPS-compact. Disassemble pump and inspect.
Page 307: Replacement Parts And Accessories
FRG-700 5 m cable 9699961 9699961 9699961 9699961 Serial cable and T-Plus SW 9699883 9699883 9699883 9699883 Tip-seal replacement kit IDP3TS IDP3TS IDP3TS IDP3TS Vent Valve N.O. 0.5 mm orifice 9699844M005 9699844M005 9699844M005 9699844M005 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 307/314...
Page 308 9699883 9699883 Tip-seal replacement kit IDP3TS IDP3TS IDP3TS IDP3TS Vent Valve N.O. 0.5 mm orifice 9699844M005 9699844M005 9699844M005 9699844M005 For a complete overview of Agilent's extensive product lines, please refer to the Agilent catalog. 308/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
Page 314 Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

Agilent Technologies TPS-compact Mode D'emploi

Table des Matières

Deutsch

Français

Español

Português

Dutch

Dansk

Svenska

Norsk

Suomi

Magyar

Polski

Čeština

Slovenčina

Slovenščina

English

Liens rapides

Chapitres

Manuels Connexes pour Agilent Technologies TPS-compact

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies TPS-compact