Användning - Agilent Technologies TV 1001 SEM Notice De Mode D'emploi

Table des Matières

Publicité

8
Bruksanvisning
Användning
Användning
Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens
bruksanvisning. Innan du använder systemet ska du utföra alla
elektriska och pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren
uppvärms får temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120 °C.
VARNING!
Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad till
vakuumkammaren eller är blockerad på plats med låsflänsen. Vidrör inte
turbopumpen eller några tillbehör under uppvärmningen för att undvika
brännskador.
Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av
OBSERVER!
turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli skadade. Pumpen ska förses med
luft eller med ädelgaser som ärfria från damn eller andra partiklar.
Ingångstrycket mot rätt dörr måsteunderstiga 2 bar (utöver det atmosfäriska
trycket). För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda med en
speciell öppning igenom vilken man ska leda en ström av ädelgas (kväve eller
argon) för att skydda lagren (se bilagan "Technical information").
Använd aldrig pumpen om det finns frätande gaser eller ångor som kan skada
OBSERVER!
pumpens invändiga material.
VARNING!
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva
gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd
ej pumpen i närheten av explosiva gaser.
122/296
TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)

Publicité

Table des Matières
loading

Ce manuel est également adapté pour:

7698931869893286989469698978

Table des Matières