Použití - Agilent Technologies TPS-mobile 9698400 Notice De Mode D'emploi

Použití
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů.
Před použitím systému zkontrolujte, zda byla správně zrealizována
všechna elektrická a pneumatická zapojení. Při případném zahřívání
vakuové komory teplota vstupní příruby nesmí překročit 120 °C v
případě příruby ConFlat a 80 °C v případě příruby ISO.
NEBEZPEČÍ! Čerpací systém nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba připojená k
vakuové komoře.
NEBEZPEČÍ! Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte. Vysoká
teplota může způsobit popáleniny.
NEBEZPEČÍ! Předcházejte nárazům či posunům turbomolekulární vývěvy během jejího
chodu. Mohlo by dojít k poškození ložisek a také ke zranění osob či škodám
na věcech.
Pro odvětrání vývěvy používejte inertní plyn bez prachu, částic a vlhkosti (např.
POZOR!
dusík). Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než 2 bary (nad
atmosférickým tlakem).
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
13
Návod k Použití
Použití
267/400