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1.4
Saugvermogen
Turbomolekularpumpen erreichen
ihr maximales Saugvermogen im mo
lekularen Stromungsbereich. Daher
benotigen sie, um wirtschaftlich
und sinnvoll zu arbeiten, Vorpum
pen. Wohrend das maximale Saug
vermogen bis zu einigen 10 - 3 mbar
konstant ist, hongt sein Wert bei
hoheren DrUcken von der GroBe der
verwendeten Vorpumpe ab. Das Saug
vermogen einer Turbomolekularpum
pe fur leichte Gase ist van der
Hohe des Kompressionsverhaltnisses
(K-Wertes), d.h. dem Verholtnis
des Partialdruckes einer Gaskompo
nente auf der Vorvakuumseite zu
dem auf der Hochvakuumseite, fur
diese Gase abhongig. Um z.B. ein
Wosserstoffsaugvermogen von ca.
80% des Stickstoffsaugvermogens
zu erreichen, muB der K-Wert fUr
Wasserstaff mindestens 250 betra
gen. Bei h oheren K-Werten fUr Wos
serstoff steigt das Wasserstaff
Saugvermogen bis zu ca. 130% des
Stickstoffsaugvermogens. Bei K
Werten unter 250 sinkt das Wasser
stoff saugvermogen, j e nach Gri:!Be
des K-Wertes, bis ouf 10-20% des
Stickstoffsaugvermogens ob.
Die Bedingung eines genUgend hohen
K-Wertes ist bei allen AusfUhrun
gen der PFEIFFER-TURBO erfUllt, so
daB z.B. fUr Wasserstoff ein Saug
vermogen bis zu ca. 130% des Stick
stoffsaugvermogens zur VerfUg ung
steht.
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Fig. 4
Sougvermogen TPH/TPU 110 - 2000
for Stickstof f
1.4
Volume flow rate
Turbo-molecular pumps attain their
maximum volume flow rate in the
molecular flow range. For econo
mic and practical operation, they
need baking pumps, Whilst the ma
ximum volume flow rate remains
constant up to some 10 - 3 mbor, its
value is for higher pressures re
lated to the size of the bocking
pump. The volume flow rate of a
turbo-molecular pump for light
gases is a function of the com
pression ratio (k-value), i.e.,
the ratio of the partial pressure
of a gas component on the backing
pressure side and that on the high
vacuum side for these gases. For
instance: in order to attain a vo
lume flow rate for hydrogen of
approx, 80% of that of nitrogen,
the k-value for hydrogen has to
be at least 250. For higher hy d ro
gen k - values, the hydrogen volume
flow rate increases up to approx.
130% of the nitrogen volume flow
rate. Fork-values below 250, the
hydrogen volume flow rate descends
to 10-20% of the nitrogen rate in
rel ation to the k-value. The con
dition of o sufficiently high k
volue has been satisfied for all
models of the PFEIFFER TURBO, so
that a volume flow rate of up to
130% of the nitro g en volume flow
rate is available for hydrogen,
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2000 for nitrogen
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1,4
Debit volume
Les pompes turbo-moleculaires at
teignent leur debit volume maxi
mal dons le domaine moleculaire.
Pour que leur fonctionnement soit
volable et rentable, il faut done
qu'elles soient munies de pompes
primaires, Alors que le debit v o
lume maximal est constant dons l a
gamme depression allant a quel
ques l0 - 3 mbor, lo grandeur du de
bit volume pour des pressions p lu s
elevees depend des dimensions d e
la pom p e primaire utilisee. Le de
bit volume d'une pompe turbo-mo
leculoire pour des gaz legers de
pend etroitement de la hauteur du
toux de compression (valeur K)
pour ces gaz. Pour o b tenir par ex.
un debit volume de l'hydrogene
d'environ 80% du debit volume de
l'azote, il faut que lo voleur K
pour l'hydrogene soit d'ou mains
250. Pour des valuers K pour l'hy
drogene plus elevees, le debit v o
lume de l'hydrogene s'accroit
jusqu - d environ 130% du debit vo
lume de l'ozote, Pour des v aleurs
K situees au-dessous de 250, le
debit volume de l'hydrogene to m be,
selon lo grandeur de la valeur K,
jusqu'd 10-20% du debit volume de
l'azote, La condition pour obtenir
une valeur K suffisomment eleve
est remplie dons toutes les pom
pes turbo-moleculaires des series
TPH et TPU, si bien que meme pour
l'hydrogene, on dispose d'un de
bit volume d'environ d 130% de
celui de l'azote.
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Debit TPH/TPU 110 - 2000 pour ni
tragene
6
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