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1.7
Enddruck
Unter dem Enddruck, d.h. der Summe
ol ler Rest-Partialdrucke von Tur
ba-Malekulorpumpen wird nach PNEU
ROPl) der Druckwert versto n den,
dem sich der Druck innerholb des
Testdomes asymptotisch nahert. Er
i?t der niedrigste Druck, der mit
der Pumpe erreicht werden kann.
Fur die PFEIFFER-TURBO liegt der
Enddruckwert im 10-l l mbor-Bereich.
Do aber in diesen Druckbereichen
die Dichtungs- und Ausheiztechnik
sowie die Ubrigen Arbeitsbedingun
gen (Vorpumpensystem, Sauberkeit,
AnlagengroBe, Vakuummeter) einen
entsc heidenden EinfluB ouf die er
reichten Druckwerte nehmen, wird
ols Enddruck der sogenonnte Be
triebsenddr u ck angegeben.
Betriebsenddruck
Unter dem Betriebsenddruck van
Turba-Molekulorpumpen wird noch
PNEUROPl) der Druck verstonden,
der in einem MeBdom 48 Stunden
nach dem Ausheizen erreicht wird.
fur
Der Betriebsenddruck
PFEIFFER-TURBO liegt je
wendeten Vorpumpensystem bei
genden Werten:
Betriebsenddruck
Ultimate operational
pressure
Pression finale ope
rationelle
©
""'- 1 • 10 - 10 mb□r
..,. l , 1 o - 9
@
mbar
@ ..., 5 • 10- 8
mbor
Jede PFEIFFER-TURBO erreicht bzw.
unterschreitet wahrend der Endab
nahme die Betriebsenddruckwerte
Q) bzw. �
wobei der Betriebs
enddruck CT) ohne Ausheizen der
Pumpen erreicht wird.
l )
Abna h meregeln Vakuumpumpen,
Teil III ( 1973)
1.7
Ultimate Pressure
The ultimate pressure, i.e. the
sum of all residual gas partial
pressures of turbo-molecular pumps,
is the pressure value which the
pressure within the test dome ap
proaches asymptotically in accor
dance with PNEUROP. It is the lo
west pressure which can be attai
ned by means of the pump,
The ultimate pressure value of
the PFEIFFER TURBO is in the range
of 10-ll mbor. However, as in
these pressure ranges the sealing
and baking-out techniques as well
as the other working conditions
(bocking pump system, cleanliness,
plant size, vacuum gauge) essen
tially affect the pressure values
attained, the so-called ultimate
operational pressure is given as
the ultimate pressure.
Ultimate_operational pressure
In accordance with PNEUROP speci
ficotionsl), the ultimate op er a
tiooal pressure of turbo-molecular
pumps is the pressure being at
tained in a measuring dome 48
hours ofter baking it out. The
die
ultimate operational pressure for
nach
ver
the PFEIFFER TURBO, in relation
fol
to the backing pump systems used,
has the following values:
Fore - Pump Combination
Vorpumpensystem
two-stage rotary vane
zweistufige Dreh
pump and turbo-mole
schieberpumpe und
cular pump
PFEIFFER-TURBO
two-stage rotary vane
zweistufige Dreh
schieberpurnpe und
pump and oil-diffusion
�ldiffusionspumpe
pump
zweistufige Dreh
two-stage rotary vane
schieberpurnpe
pump
einstufige Dreh
single-stage rotary
vane pump
schieberpumpe
Each PFEIFFER TURBO attains or
falls below the ultimate opera
tional pressure value CD or ®
during th2 final acceptance,
where the ultimate operating pres
sure @ is being attained with
out any baking-out of the pumps.
l )Acceptonce Specification,
Vacuum Pumps, Part III (1973)
l. 7
Pression finale
Selon PNEUROP
1
), on entend par
pression finale, c,d d, la somme
de toutes les pressions partiel
les residuelles d'une pompe tur
ba-moleculaire, la valeur dont lo
pression d l'interieur du d6me
d'essai se rapproche asymptotique
ment. C'est la pression la plus
basse que l'on peut atteindre avec
la pampe.
Pour la TURBO-PFEIFFER, lo p r es
sion finale se situe dons le do
maine des l0-11 mbar. Mais etant
donne que dons ce domaine de pres
sions, les joints et l'etuvage
ainsi que les autres conditions
de travail (systeme de pompoge
primoire, proprete, dimension de
l' installati o n, jauge d vide) ant
une jnfluence determinante sur
les pressions que l'on peut ot
teindre, on designe comme pres
sion finale ce qu'on appelle la
pression limite aperationelle.
-----------------------------
Pression limite operationelle
Par pression limite operationelle
d'une pompe
turbo
on entend, selon PNEUROPl), la
pression obtenue dons un d6me de
mesure 48 heures opres etuvoge.
Selan les differents systemes de
pompage primaire, les pressions
limite op e rationelle
TURBO-PFEIFFER sont les suivantes:
Dichtung fur Ansaug
Combinaison de
flansch
Seal for Intake Socket
pompes primaires
Joint pour bride d'as
piration
Pompe rotative a 2
etages et pompe
turbo-moleculaire
Pompe rotative a 2
etages et pompe a
diffusion a huile
Pompe rotative d 2
etages
Pompe rotative a 1
et□ge
routes les TURBO-PFEIFFER atteig
nent ou depassent pendant lo con
tr6le finale les pressions limites
CD ou 0 lo pression limite G)
s'obtenont sons etuvage de l a pam
pe,
l )
p
ompes o vie
'
"d
ception Portie.
moleculaire,
de la
Metall
Metal
Metallique
Metall
Metal
Metallique
Metall
Metal
Metallique
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8
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