Table des Matières
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Installation
5.
5. 1
Hinweis
- Die PFEIFFER-TURBO wird mit 01-
fullung geliefert und ist mit
trockener Luft geflutet.
- Die Blindflansche an Hoch- und
VorvakuumanschluB sollen erst
unmittelbar var der Montage der
Turbo-Molekularpumpe entfernt
werden.
Bei der Anwesenheit eines homo
genen Magnetfeldes quer zur Ro
torachse mit Feldstarken Uber
7mT sind geeignete AbschirmmaB
nahmen vorzusehen, da im Rotor
WirbelstrOme entstehen, die zu
einer unzulassig starken Er
hitzung des Rotors fUhren kOn
nen.
- Zur Kuhlung der Pumpe nur sau
beres Wasser mit geringer Abla
gerung verwenden.
- Zurn elektrischen AnschluB ist
1-Phosen-Wechselstrom erforder
lich.
5.2
HochvakuumanschluB
Die Pumpe kann in horizontaler
bis vertikaler Einboulage (siehe
Fig, 2) an den Rezipienten ange
flanscht werden. Bei einer Verbin
dung der TURBO-Pumpe mit dem Re
zipienten Uber einen Federungs
kOrper, muB diese verankert wer
den, do bei Betrieb der Federungs
kOrper durch die Druckdifferenz
(Vakuum-Umgebungsdruck) axial zu
sammengepreBt wird. Zur Veranke
rung der Pumpe sind auf der Un
terseite vier Bohrungen MS vorhan
den.
Zurn Schutz der Pumpe gegen Fremd
kOrper soll ein Splitterschutz
eingesetzt werden (siehe im Zube
hOr). Das SaugvermOgen der Pumpe
wird durch den Splitterschutz um
nur ca. 15% verringert.
Der Splitterschutz muB mit der S ieb - The splinter shield must be inser
wOlbung nach oben in den Saugstutzen ted with the bulged side of the
eingesetzt werden .
Wegen der im UHV-Bereich verstorkt
auftretenden Gasentwicklung un
reiner Bouteile, sollten alle UHV
Teile bei grOBter Souberkeit mon
tiert werden. Dichtungen und Flan
sche siehe im Zubehor.
5.3
VorvakuumanschluB
Um eine BelUftung des Rezipienten
durch die Vorpumpe zu verhindern,
empfiehlt sich der Einbau eines
Sicherheitsventils in die Vorva-
17
5.
Installation
5. 1
Note
The PFEIFFER-TURBO is supplied
with the requisite oil filling
and is flooded with dry air.
- The blind flanges on the high
and the fore-vacuum sockets
should not be taken off until
immediately before the pump is
installed and assembled.
If a homogen magnetic field nor
mal to the rotor axis strength
of which lies above the values
7mT is present, adequate shiel
ding is to provide, because
idle currents could cause inad
missible heating of the rotor.
- Only absolutely clean water of
low sedimentation should be
used for cooling the turbo-mo
lecul ar pump.
- The pump must be connected to a
single-phase a.c. outlet.
5.2
High vacuum connection
The pump can be flanged to the va
cuum chamber in horizontal or ver
tical position (see fig. 2). When
connecting the TURBO-pump to the
vacuum chamber by means of a me
tal bellows, the pump must be an
chored because the bellows will
be axially compressed by the pres
sure difference (vacuum-ambient
temperature). For anchoring the
pu mp, four bore holes MS ore pro
vided in the lower surface of the
pump.
In order to protect the pump from
foreign matter, a splinter shield
should be used {cf.
Accessories").
11
The volume flow rate of the pump
will only be reduced by a p prox.
15%, if the splinter shield is
used.
sieve upward into the suction port,
As from contaminated surfaces of
the components considerable volu
mes of gas can develop in the UHV
range, all those parts should be
cleaned carefully befor being as
sembled. Gaskets and flanges see
11
under "accessories
•
5.3
Fore-Vacuum Connection
In order to prevent venting of
the recipient by the fore-pump,
the fore-vacuum line should be
fitted with a pressure relief
5 .
Installation
5. 1
Remarque
La PFEIFFER TURBO est livree
avec une charge d'huile et
remplie d'air sec.
- Il ne faut enlever les brides
pleines qui ferment les raccor
dements vide e1eve et vide pri
maire que juste avant de monter
lo pompe dans !'installation.
En cas de presence d'un champ
magnetique homogene perpendi
culaire d l'axe du rotor avec
une intensite depassonte 7mT
il faut appliquer des ecrans
antimagnetiques, parce qu'un
chauffage inadmissible du ro
tor peut arriver, resultant des
courants parasites.
- Pour le refroidissement de la
pompe, n'utiliser que de l'eau
propre, deposant peu.
- Pour le bronchement electrique,
il faut disposer de courant al
ternatif, monophase.
5.2 Connexion vide e1eve
La pompe peut etre raccord9e d
l'enceinte horizontalement ou ver
ticalement (voir fig. 2). En cas
de raccordement de la pompe TURBO
d l'enceinte par l'intermediaire
d'un raccord souple, il faut an
crer la pompe au sol car en uti
lisant le raccord souple celui-ci
va etre comprime en direction
axiole par la difference de pres
sions (vide - pression ambiante).
Pour ancrer la pompe il ya 4
trous filetes M5 dons ·10 surface
in fer ieure.
Pour eviter que des corps etran
gers ne penetrent dans la pompe,
il est recommande de monter un
pare-eclats {voir Accessoires).
La capacit9 d
1
aspiration de la
pompe ne s'en trouve r9duite que
de 15% env.
Le Pare-9clat doit etre install9
1
dons le tube d
aspiration avec le
c0t9 voOte du tamis en haut.
Comme dans le r9gion de l'ultr□-
vide de grandes quantites de gaz
peuvent se former des surfaces
cont□min€es, taus !es composant
doivent etre soigneusement net
toy9s avant le montage dons des
installations ultra-vide. Pour
joints et brides voir ''accessoires''
5.3
Roccordement vide primaire
Pour eviter que de !'air ne pene
tre dans l'enceinte d travers la
pompe primoire, il est recoram□n-
de de monter une vanne de sfucuri-
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