Table des Matières
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ARTHUR PFEIFFER
Vakuumtechnik Wetzlar GmbH
0-6334 Asslar
·
Postfach 1280
Telex 0483859 · Telegramm: vacupfeif
·
Telefon (06441) 802-1
Betriebsanweisung
Operating instruction
Instruction de service
PM 800 061 BD
PM 800 061 BE
PM 800 061 BF
fur
Turbo-Molekularpumpen
for
Turbo-Molecular Pumps
pour Pompes turbo-moleculain
TPH 110
TPU 110
Antriebs-Elektronik
Electronic Drive Unit
Commande electronique
TCP 270
BALZERS
I
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Ausgabe
7904/N 1453
Issue
Edition
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Table des Matières
Sommaire des Matières pour Balzers TPH 110
- Page 1 Instruction de service PM 800 061 BD • PM 800 061 BE PM 800 061 BF • Turbo-Molekularpumpen Turbo-Molecular Pumps pour Pompes turbo-moleculain TPH 110 TPU 110 Antriebs-Elektronik Electronic Drive Unit Commande electronique TCP 270 ARTHUR PFEIFFER BALZERS Vakuumtechnik Wetzlar GmbH 0-6334 Asslar ·...
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Page 2: Utilisation
Description Beschreibung Description 1. 1 Application 1. 1 Utilisation 1, 1 Anwendungen Mode of Operation 1 .2 Arbeitsweise 1 .2 Fonctionnement Technical details D€tails techniques Technische Details Saugvermtigen 1 ,4 Volume flow rate D€bit volume Kompression (K-Wert) 1 .5 Compression (value K) Compression (valeur de K) Restgas 1 .6... -
Page 3: Table Des Matières
Operating instruction PM 800 061 BE Instruction de service PM 800 061 BF pour fi.ir PFEIFFER-TURBO PFEIFFER TURBO TURBO PFEIFFER TPU 110 TPH 110 TPH 110 TPU 110 TPH 110 TPU 110 Antriebselektronik Electronic Drive Commonde electronique TCP 270 TCP 270... - Page 5 Fig. 1 TPH 110 luftgekuhlt TPH 110 wassergekUhlt air-cooled wot er-cooled a refroidissement par air a refroidissement par eou Fur horizontole bis vertikale Einbaulage For horizontal to vertical po sition Pour position horizontole d ver ticale Fig. 2 Arrange the pump always with sue�...
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Page 6: Technische Details
Technical details 1 .3 Details techniques Die PFEIFFER-TURBO TPH 110 und The PFEIFFER TURBO TPH 110 and Les TURBO-PFEIFFER TPH 110 et TPU TPU 110 ist die kleinste ihrer TPU 110 is the smallest one of 110 sont les plus petits modeles Art. - Page 7 Bronchement eau de refroidis- sement Antrieb Drive Commande D ie PFEIFFER-TURBO TPH/TPU 110 The TPU/TPH 110 PFEIFFER TURBO Lo TURBO-PFEIFFER TPH/TPU 110 est is equipped with o brushless ist mit kollektorlosem Gleich equipe d'un moteur o couront con strommotor mit Hollsondensteuerung d.c.
- Page 9 TPH 270 TPU .._ _L_ _ ___j_ . I K f-- ;=-- ,� - --- L , -.._·--r . c-----=-' ..TPH 110 TPU �:� �" --- �f---- - � \� ..--· · � � � �...
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Page 10: Compression (Valeur De K)
Metalldampfe der Rhenium the Quadrupole mass spectrometer peurs metalliques deux ou trois kathode des verwendeten Ouadrupol used model: BALZERS, QMG 101 . fois ionisees proven□nt de la ca Massenspektrometers Typ: BALZERS thode en rhenium du spectrometre QMG 101. -
Page 11: Pfeiffer-Turbo
Ultimate Pressure l. 7 Pression finale Enddruck Unter dem Enddruck, d.h. der Summe The ultimate pressure, i.e. the Selon PNEUROP ), on entend par ol ler Rest-Partialdrucke von Tur sum of all residual gas partial pression finale, c,d d, la somme ba-Malekulorpumpen wird nach PNEU... -
Page 12: Description De L'entralne
PFEIFFER TURBO Bestondteil des Antriebs der PFEIF une composont de lo commonde de TPH 110 and TPU 110. The unit re lo PFEIFFER TURBO TPH 110 et TPU FER-TURBO TPH 110 und TPU 110. Dos Gerat regelt und Uberwacht gulates and controls the rotatio... -
Page 13: Tcp
permanent bipolairc comme rotor rotor, and the stator with the ex nem zweipoligen Permanentmagneten et d'unc stator ovec les bobines citer windings. The printed-cir als Rotor und dem Stator mit den d'excitation. Le circuit imprim€ cuit strip with the two Hall pro Erregerwicklungen. - Page 14 (6/12, size 3) Rack moduloire (6/12 Gr. 3) du of the BALZER$ rack system. The BALZERS-Racksystems eingebaut. systCmc de Rack BALZERS. Sur lo front panel contains the indicator Auf der Frontplatte befinden sich ploqu� frontale se trouvent l'ap...
- Page 15 zum Steuern der Pumpenheizun g tact can be employed for control vitesse nominale. On peut utili und z.B. der Signallampe ''Pumpe ling the pump heater and, e.g., ser ce contact pour lo commande betriebsbereit" benutzt werden. the pilot lamp ''Pump ready''. du chauffoge de la pompe et par ex.
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Page 16: Antriebselektronik Tcp
R.73 ACHTUNG Bei Frequenzumstellung darf nur der Widerstand R73 ausgelotet wer den, R47 muB unbedingt im Gerat verbleiben, mit R 73 - 1000 Hz ohne R 73 = 716 Hz ATTENTION For change of frequency only the resistance R73 may be unsoldered. R 47 must absolutely remain in the unit. -
Page 17: Oil Filling
Magnetic field ,trength Force du champs mag- zur Rotorachse max. rectangualr to the netique transversal rotor axis d l'oxe du rotor .» HochvakuumanschluB ID TPH 110 ON 100 1S0-K r- 7 7 1 /T PU 110 ON 100 CF Vorvakuumflansch FlutanschluB � KUhlwasseranschluB a'.) AnschluB-Antriebselektronik �;... - Page 18 Antriebselektronik Drive Electronics Commande electronique TCP 270 Anschlu8spannung Connected voltage Tension de branche- 50 - 60 Hz 50 - 60 Hz ment 50 - 60 Hz 110/220/240 Leistungsaufnahme Max. power input Puissance absorbee max. par TCP, max. Leistungsaufnahme Pump Mox, power input, pump Puissonce obsorbee standkomp□nenten ing unit components...
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Page 19: Tph 110
Acee s soi res et p/ Type/ Type Code ,umbers No, de command� Code-No./ Nummer No. de com. PFEIFFER-TURBO PFEIFFER TURBO TURBO-PFEIFFER TPH 110 PM P,Jl 109 PFEIFFER TURBO TUR80-PFEJFFFR PFEIFFER-TURBO TPU 110 PM POl 119 Commonde ilectronique TCP ?70 Antriebsclektronik... - Page 20 Installation Installation Installation 5. 1 Note 5. 1 Remarque 5. 1 Hinweis The PFEIFFER-TURBO is supplied - Die PFEIFFER-TURBO wird mit 01- La PFEIFFER TURBO est livree with the requisite oil filling fullung geliefert und ist mit avec une charge d'huile et and is flooded with dry air.
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Page 21: Pompe Primaire
Endvakuum fUr die TPH 110 eine einstufige (UNO.,.) und vane pump can be used for the TPH final d0sir0, monter pour TPH 110 110 and a two-stage rotary vane une pompe rotative a palettes a fur die TPU 110 eine zweistufige (DUO •••... -
Page 22: Air Cooling
5,5,2 LuftkUhlung Die serienmtlBi g wossergekUhlte The normally wotercooled pump TPH Lo pompe TPH 110 ou TPU 110, qui 110 or TPU 110 con be changed to Pumpe TP.H 110 oder TPU 110 kann est en serie refroidie d eou peut air-cooling by providing a fan. - Page 23 C 4()•20i1 �J ili!it � Fig. 10 ,/-' PFEIFFER-TURBO PFEIFFER TURBO TURBO PFEIFFER TPH 11 0 TPU 11 0 TPH 110, TPU 110 TPH 110, TPU 110 Gummi fuB Rubber buffer Armortisseur en cooutschouc Schrcube Screw Halter Support Support Halter...
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Page 24: Branchement Electrique
- Check the indicated voltage of - Comparer !'indication de la ten - Spannungsang□be auf dem Venti the fan with that of the mains, sion sur le ventialteur avec lator mit der Netzspannung ver gleichen. celle du reseua. - Kappe 57 anschrauben. - Screw on cap 57. - Page 25 Arriere du TCP 270 Circuit imprime de commande Branchement secteur Power connection NetzanschluB Branchement TPH 110 ou TPU 110 Connection of TPH 110 or TPU 110@ AnschluB TPH 110 oder TPU 110 ® Branchement composonts du Connection of pumping unit AnschluB Pumpstandkomponenten...
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Page 26: Possibilite D'utilisation D'ap
Together with the pumping unit Utilisation du TCP 270 avec Einsatz des TCP 270 mit dem control TCS 101. l'appareil de commande de groupe PumpstandsteuergerOt TCS 101. Connection in accordance with AnschluB nach Schaltplan de pompage TCS 101. Branchement Wiring Diagram PM 005 227 -5. selon schema 8lectr. -
Page 27: Refroidissement Par Air
kann, wenn die Turbo-Molekular only be switched on if the turbo la pompe turbo a atteint 80% de so pumpe 80% der Enddrehzahl erreicht molecular pump has reached 80 per vi tesse finale. hat, cent of its ultimate speed. Betrieb Operation Fonctionnement 6. - Page 28 Ola moitie de so vi Bei TPH 110 und TPU 110 � 1 min. For the TPH 110 and TPU 110 �fmin. tesse nominale, Pour TPH 110 et TPU 110., 1 min.
- Page 29 R 4 7 ACHTUNG Bei Frequenzumstellung dorf nur der Widerstond R73 ousgelotet wer den, R47 muB unbedingt im Gerat verbleiben. mit R 73 - 1000 Hz ohne R 73 = 716 Hz ATTENTION For change of frequency only the resistance R73 may be unsoldered. R 47 must absolutely remain in the unit.
- Page 30 Wenn ous SicherheitsgrUnden If, for safety reasons, the Lorsque pour des raisons de se der Scholtpunkt in Abh□ngigkeit switch point should be > 80% curite, le point de commutation der Drehz□hl > 80% sein sell, os o function of the speed, the en fonction de la vitesse doit Potentiometer Pl entgegen dem potentiometer Pl is turned...
- Page 32 -----.= --�----------'--� C:4()-152 Fig. 14 TPH 110, TPU 110 TPH 110, TPU 110 TPH 110, TPU 110 moximoler Flussigkeitsspiegel max. fluid level Niveou max. du fluide Frigen 113 oder Freon TF...
- Page 33 - Pumpe in dieser Zeit mehrmals nutes. de la pampe ne doit pas etre imergee, langsam heben und senken, so During this period, slowly lift and lower the pump several tim es - Loisser agir le Frigen 5 d 10 daB an den Stator- und Rotor...
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Page 34: Checkliste
Check-Liste Gerat sch□ltet vor Erreich en des Drehz□hlsch□ltpunktes ob Nenndrehz□hl der TURBO- Pumpe wird nicht erreicht Sicherung (e9, Power ) brennt durch (e 10, Control) brennt durch Sicherung TURBO-Pumpe 1· du ft nur l□ngsam e lauft nicht an TURBO-Pump •• Gerat f unktioniert nicht (Kontrallampe brennt) Gera... - Page 37 Steuerprint 8.2 Control print 8.2 Circuit imprim8 de commande 8.2. 1 Ausklappen des Steuerprints 8.2. 1 Enlevement du circuit im 8.2. l Unfolding the control print prim8 de commande Der Steuerprint befindet sich When viewed from f rant, circuit se trouve long gesehen vorn...
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Page 38: Verification Bloc D'alimentotion
Prufen der IC-Betriebsspannungen Checking the IC operating voltages Verification des tensions de fonctionnement Stecker Jl bis J4 einstecken Plug in plugs Jl En foncer les fiches Jl d J4 IC 6 + 7 Von/from/de + 15 vo n/ from/ d c IC 4 + 5 + 15 V IC 4 + 5... -
Page 39: Signal De Sortie De Lo Logique
Hallsondenversorgung Signale mit present, check signals by means mentotion des sondes existe, veri Oszilloskop prUfen, of on oscilloscope. fier les signoux ovec un oscillos cope. Fig. 16 Hallsondensignnl var Operotions verstarker Holl probe signal in front of ope rational amplifier Signal de sondes de Holl avant orn... -
Page 40: Signaux De Sortie Des Transistors D'etage Final
Fig. 18 Ausgangssignal der Logik Output signal of the logic Signal de sortie de la logique Output signals of the output Signaux de sortie des transistors Ausgangssignale der Endstufentran stage transistors d'etage final sistoren The amplitude changes as a func L'amplitude varie en fonction de Die Amplitude andert sich in Ab... - Page 41 1 ----l f------- C12 2,2n� --:· p 6 R":O � · R · 1� ZPC 1CV SBOE (./ .K - 2 y R 64 J 1 /1 01� -(,,51,1 JSJ21 1N41o'.9 J'5-i28 Jl/4 JSl}G Jl/1 Jl/9 �1----·--,1------- IOOµf40 V SllSCI000/700 11-·H.1.f.8 , , ) Coolfog pi111-i:::1-...
- Page 42 ® i � � (") ""O -...J r · Sl mit Relais wi-:h Rela�s avec Relau r · 1 TV f 01 0 · 1 L_ _ ···" .. • L " ,. r lut-St euergero t., trol Unit/ "' " '" �...
- Page 43 TPU /TPH - 110/270 ,·-·--·-·-·-·- 7 □ PM005204� -l ltf fl 11 fl l l To"TT"rTTTT,-r,-· _.J'..J'..j_L'LJ'..J'.J'..L.L:t.._ _____ PM001980-S aS ul, r.J3 u2 ol TCP 270 bi, b3 ti-2 !;1 n£, bl-i bS --01 " ; ;::� --, - '�iiiii ,_ iiiiiii ..i iitt p iiiiiii Q �...
- Page 44 MeB-PrUfodapter Testing adopter Adopteur de contr6le Bestell-Nr. PM 001 210 -X Code no, PM 001 210 -X No. de cotologue 001 210 Wird zwischen PFEIFFER-TURBO To be connected between the A broncher entre PFEIFFER - TUR TPH/TPU 100 bis 500 und Ver PFEIFFER-TURBO TPH/TPU 100 to BO TPH/TPU 100 d 500 et coble bindungskobel der zugehorigen...
- Page 45 - �::_ · · - -- - --- -- Parts normal Wear not Subject lo Keine VerschleiBteil<? 4 .--------------.. Pieces non soumtses 8 l'usure normale o,1------------------------------------- ErscJt2tr.-illi-:-; t e hjr '. Spare parts 11st for TPU 110 TPH 110 Pieces de rechange pour: 7905...
- Page 46 � - - - 4 2 2 9 - 37-- l\: : :O:: Mfil��:sq==f������t:Jil � ...,..� � ----'-� := ::: z :z :=: :; ..,,..---,-- ...,,L, -'-- ";: /:::• - 3 8 5 2 - --- - - - - 5 1 _ __ _ _ .._ ""...
- Page 47 Les pieces ne sont rempla�ables qu'en usine >< >< Parts not Subject to normal Wear Keine VerschleiBteile Pieces nan soumises rusure normale Luftkuhlung fur Ersatzte,lliste fur TPH 110 Air cooling for Spare parts list for: .::, TPU 110 Pieces de rechangP. prnn: Refroidissement air pour...
- Page 48 Pos. SlUckzahl Title Item l:lenennung Quant i ty No. de cat Pos. DCsignatiori No. de nieces Contra 1 print 011 002 172 CJ:'.0 Steuerprinl __ __ j:arte im2rim f: de commande Base print 011 002 1 n 02:.0 Grundprint de bu•e Corte im_pri __ me Fuse prinL...
- Page 49 .,,0 , er 4 5 5 1 5o 49 <ia ""' 1 3 PMS OOo4 1£:o er...
- Page 50 StUckzahr Pos. Tille Quantity Benennung Item lfa. Designat i on No. de oieces No. de cat. Pos. 5x20, 250 V, 0,2 A G-fuse G-Sicherung P 4666 422 G-fu�ible uF, 360 V 4700 Al-Elko Al-Elko P 0920 094 E Sc l f_ inducting coil Dv.
- Page 51 BALZERS Hochvakuum AG, Stamplenbachstral1e 48, CH-8006 ZUrich, Tel. 01/603 266, Telex 52 278 bpzue Schweiz/Suisse BALZERS HIGH VACUUM CORP., P 0. BOX 10816. Santa A na/Calif. 92711, Tel. (714) 547 77 67. Telex 67 8333 U.S.A. BALZERS HIGH VACUUM CORP .. P.O. Box 1408, Nashua. New Hampshire 03060. Tel. (603) 889-6888, Telex 94 3479 U.S.A.