Refroidissement Par Air; Siles Ventilateurs Sont Bran - Balzers TPH 110 Instructions De Service

kann, wenn die Turbo-Molekular­
pumpe 80% der Enddrehzahl erreicht
hat,
6. Betrieb
6. 1 I n betriebnahme der Pumpe
Wasserklihlung
- Var dem Einschalten der Turbo­
Molekularpumpe KLihlwasserdurch­
fluB herstellen und kontrollie­
ren.
LuftkUhlung
- Ventilatoren einschalten.
- Sind die Ventilatoren am TCP an-
geschlossen, werden
sie
zeitig mit der Pumpe eingeschal­
tet.
Einscholten
- Vorpumpe und Turbo-Molekularpum­
pe gleichzeitig einschalten.
- Eventuell bei Pumpen mit Heiz­
manschette Heizung einschalten.
Der Hochlouf der PFEIFFER-TURBO
erfolgt automatisch, Die Anlauf­
zeit bis zum Drehzahlschaltpunkt
ist obhOngig von der Rczipienten­
grOBe, w enn die Uberwachung ange­
schlossen ist, siche 6.5.
Bei blindgeflanschtem UHV-AnschluB
erreicht die Pumpe nach ca. 1 Mi­
nuten ihre Nenndrehzahl.
6.2 Heizen der Turbo-Molekular-
�
Der Enddruck richtet sich nach der
Sauberkeit der Pumpe und der Appa­
r□tur, Um den Enddruck in mO g­
lichst kurzer Zeit zu erreichen,
ist es zweckmOBig, Turbo-Moleku­
l□rpumpe und Apparatur zu h ei­
zen, !st der Rezipient direkt an­
geflanscht, muB darauf geachtet
werden, daB die Temperatur des
Hochv□kuumflonsches beim Heizen
der Apparotur und der Pumpe 160
nicht Uberschreitet,
Wird der Rezipient hOher als 200
geheizt, muB die WOrmestrahlung
vom Rezipienten auf den Pumpenro­
tor verhindert werden.
Die Heiz d □uer der Pumpe und des
R ezipienten richtet sich nach
dem Verschmutzungsgrad und dem
gewlinschten Enddruck. Die Heiz­
dauer sollte wegen der longen Auf-
only be switched on if the turbo
molecular pump has reached 80 per
cent of its ultimate speed.
6. Operation
6,1 Starting up the Pump
Water cooling
- Before starting the turbo-mole­
cular pump, the coolant flow
must be started and checked.
Air cooling
- Switch on fans.
- If the fans ore connected to the
gleich­ TCP, they will be switched on
simultaneously with the pump.
- Start t he fore-pump and the tur­
bo molecular pump simultane­
ously.
- Switch on the pump heating
sleeve,
if
The PFEIFFER TURBO runs up auto­
matically . The time from starting
to the speed switch point depends
upon the size of the vacuum cham­
ber, In case the control unit is
connected, cf, point 6,5.
If the UHV connection is bl anked
off, the pump will reach its no­
minal speed after approx. 1 minu­
tes.
6.2 Bake-out of the Turbo-Mole-
cular Pump
The ultimate pressure is dependent
on the cleanliness of the pump
and of the vacuum chamber, In or­
der to obtain the ultimate pres­
sure after the shortest possible
time, a bake-out of the pump and
of the chamber is definitely re­
commended. If the chamber is flan­
ged directly, care must be taken
that the temperature of the HV
socke t will not exceed 160
° C
whilst the chamber and the pump
are being heated.
° C
If the chamber is heated up to
more than 200
from the chamber to the rotor of
the pump must be prevented,
The length of the bake cycle of
the pump and of the chamber is de­
pendent on the degree of contami­
nation and on the ultimate pres­
sure desired, The bake shoul d
fitted,
°
C,
° C, heat radiation
la pompe turbo a atteint 80% de so
vi tesse finale.
6. Fonctionnement
6. 1 Mise en service de la pompe
Refroidissement par eau
- Avant de mettre en marche la
pompe turbo-moleculoire, ali­
menter le circuit d'eau de re­
froidissem ent et le contrOler.

Refroidissement par air

- Enclencher les ventilateurs .

- Siles ventilateurs sont bran-

ches au TCP, il sont enclen-
ches simultanement avec la pompe.
- Mettre en morche simultane­
ment la pompe primaire et l a
pompe turbo-mol8culaire,
- Sur les pompes poss8dant une
chemise chauffante, mettre en
marche le chauffage.
La mont8e en vitesse de la TURBO­
PFEIFFER est automatique, La dur€e
de d8marrage jusqu'ou point d e
commutation est fonction de l a di­
mension de l'enceinte. Lorsque le
syst€me de contrOle est branch€,
voir parag. 6.5.
Avec bride UHV ferm8e, la pom pe
atteint so vitesse nominole a u
bout de 1 minutes env.
6.2 Etuvage de la pompe turbo-
m o l€culaire
La pressio n finale d8pend de la
proprete de la pompe et de l'ap­
pareillage. Pour atteindre la pres­
sion finale dons le temps le plus
court possible, il est ban d'8tu­
ver la pompe turbo-mol8culaire et
l'apporeillage, Si un recipient
est raccorde directement sur la
bride, il faut veiller d ce que
lo temperature de la bride vide
8lev6 pendant 1'€tuvage de l'ap­
pareillage et de la pompe ne d€­
c.
passe pas 16o 0
Si le recipient est chauff€ dune
Lemp€rature plus 8levee que 200
une radiation O partir du reci p i ent
vers le rotor de la pompe doit etre
€vi tee.
La dur€e d'etuvage de la pompe et
du r€cipient depend de leur degr€
de pollution et de la pression fi­
nale que l'on veut atteindre. En
raison du temps relativement long
° C
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