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heizzeit des Rotors mindestens
4 Stunden betrogen,
6,3
Ausheizen der MeB-Systeme
Schlecht geheizte MeBsysteme kOn
nen erhebliche Mengen Gos obgeben,
die dos MeBergebnis verfOlschen
und einen Tei! des SaugvermOgens
der Pumpe in Anspruch nehmen. Dies
kann der AnlaB dofur sein, daB dos
gewUnschte Hochvokuum nicht er
reicht wird.
6,4
Abschalten
Nach dem Ausschalten der Turbo-Mo
lekulorpumpe sollte die Vorvakuum
leitung durch ein Ventil geschlos
sen werden, um dos Eindringen van
Oldcimpfen □us der Vorvakuumpumpe
in die PFEIFFER-TURBO zu verhin
dern. Bei PFEIFFER-Vorpumpen
schlieBt dos integrierte Sicher
heitsventil automatisch.
Pumpe und Rezipient kOnnen direkt
nach dem Abschalten geflutet wer
den. Das Fluten sollte spOtestcns
bei halber Nenndrehzahl der Pumpe
erfolgen.
Bei TPH 110 und TPU 110 � 1 min.
Wenn aus verfbhrenstechriischen
Grunden nicht auf Atmosphciren
druck geflutet werden muB, em
pfiehlt es sich, nur auf ca. 100
mbar zu flu ten,
Nach dem Abschalten KUhlwasserzu
fuhr absperren. Besonders bei ge
offnetem UHV-Flansch und hoher
Luftfeuchtigkeit kOnnen sich Kon
densate an den gekuhlten Flachen
niederschlagen,
6.5
Justierung der Uberwachungs
elektronik in TCP fur auBer
e wOhnliche AnwendungsfOlle
z
_siehe 2.5)
Normalerweise ist
eine
der Schaltpunkte nicht erforder
lich,
Der Schaltpunkt fur die Drehzahl
der PFEIFFER-TURBO ist ouf 80% der
zwischen 70% und 90% am Trimmpo
tentiometer Pl verOndert werden.
- Wen11 bei GaseinlaB im mbar-Be
rcich die Drehzahl der Pumpe un
ter 80% □bsinkt, k□nn dos □uto
m□tische Abschalten verhindert
werden, indem man dos Potentio
meter Pl im Uhrzeigersinn < 80%
stelJ.t.
25
continue for at least four hours
because of the long heat-up pe
riod of the rotor,
6.3
Bake-out of the Measuring
Systems
Poorly baked-out measuring systems
can emit substantial quantities
of gas which might prejudice the
measuring data and absorb some
part of pumping speed of the pump.
This might be one of the causes
of not obtaining the desired high
vacuum.
6.4
Stopping
After having stopped the turbo
molecular pump, the fore-vacuum
line should be closed by means of
a valve in order to prevent oil
vapours from the backing pump
from entering the PFEIFFER TURBO.
If PFEIFFER backing pumps arc
used, the incorporated safety
valve closes automatically.
Immediately after stopping, the
pump and the vacuum chamber can
be vented. Venting should, at the
latest, be performed when the
pump has reached half its nominal
speed.
For the TPH 110 and TPU 110 �fmin.
If venting to atmospheric pres
sure for process purposes is not
required, it is recommended to
just vent to approx. 100 mbar.
After stopping, block the cooling
water flow, Condensates may settle
at the cooled surfaces, in parti
cular
the PFEIFFER TURBO is
if
open and the atmospheric humidity
is high.
6.5
Adjustment of the control
electronics in the TCP unit
for special applications
(cf. 2.5)
Ver□nderung
Usually no changing of the switch
points is requjred.
The speed switch point of the
PFEIFFER TURBO has been set to
be varied at the trimming poten
tiometer Pl from 70% to 90%.
- If the speed of the pump falls
below 80% when gos is intro
duced in the mbar range, an au
tomatic stopping can be preven
ted by setting the potentiome
ter Pl in clockwise direktion
to < 80%.
dont le rotor a besoin pour chauf
fer, l'etuvage devrait durer au
mains 4 heures,
6.3
Etuvage du systeme de mesure
Des systemes de mesure mal etuves
peuvent d8gager des quantites im
portantes de gaz qui faussent les
rCsultats et redujsent partielle
ment le debit volume de
la pompe, Ce peut @tre une des
raisons de la non obtention du
vide €!eve desire.
6.4
Arr8t de la pompe
Apres arrGt de la pompe turbo-mo-
18culaire, il faut que lo canali
sation de vide primaire soit fer
m8e par une vanne, pour 8viter la
p8netration des vapeurs d'huile
en provenance de la pompe primaire
dons
TURBO-PFEIFFER. Sur les
la
pompes primaire PFEIFFER, la vanne
de s8curit8 incorporee se ferme
automatiquement,
La pompe et l'enceinte peuvent
@tre remises O l'air aussitOt
□pres arret de la pompe. La re
misc O l'air doit s'effectuer au
plus tard lorsque la pompe est
rcdesccndue Ola moitie de so vi
tesse nominale,
Pour TPH 110 et TPU 110., 1 min.
Si pour des raisons techniques,
on ne doit pas remettre l'ensemble
0 la pression atmosph8rique, il
est recommend€ d'8tablir une pres
sion d'env. 100 mbar,
Apres arr@t de lo pompe, fermer
l'arriv8e d'eau de refroidisse
ment. En particulier lorsque la
TURBO-PFEIFFER est ouverte et que
l'humidite ambiante est importante,
des condensats peuvent se deposer
sur les surfaces refroidies.
6,5
Reglage de l'electronigue de
contrOle dons le TCP pour
ccrtains utilisations parti
culieres (voir 2.5)
Normalement, il n
est par n8ces
1
saire de modifier les points de
commutation.
Le point de commutation pour la
vitesse est r8gl8 0 80% de la vi
fie entre 70% et 90% sur le poten
tiometre d'8quillibrage Pl.
- Lorsqu'en cos d'introduction de
gaz dons le domaine mbar, la vi
tesse de la pompe descend au
dessous de 80%, on peut 8viter
l'arr@t automaiique de la pompe
en r8glant le potentiometre Pl
..:::. 80%.
(tourner le potentiometre dons
le sens des aiguilles d'une montre)
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