Oil Filling; Tph 110; Bride Vide Primoire; Tpu 110 - Balzers TPH 110 Instructions De Service

Pompes turbo-moleculain
Table des Matières

Publicité

Te chnische Daten
3.
PFEIFFER-TURBO
Ansaugflansch
Vorvakuumflansch
Saugvermi:lgen fUr
Stickstoff N2
Helium
• He
Wasserstoff H
2
Min. Saugvermi:lgen
der Vorpumpe
Kompressionsverhaltnis
fur N 2
H e
H 2
Enddruck
Betriebsenddruck 1
2
3
Nenndrehzahl
Anlau fzei t
01 fUllung
KUhlwasserbedarf
bei Wassertemperotur
15
c
°
Leistungsaufnahme
der Heizung
Gewicht der Pumpe
Magnetfeldstarke quer
zur Rotorachse max.
r- 7 7 1
[T
a'.)
�;
!
nrn----.!:=== =1====;7 i
0 ([
'--- -+-- --' i �
el
�93
Fig, 8
3.
Technical Data
PFEIFFER TURBO
Intake Socket
Fo re-Vacuum-Socket
Pumping speed for
Nitrogen
N 2
H elium
He
H ydrogen
H 2
Minimum flow rate of
the fore pump
Co mpression Ratio
for N 2
He
H2
Ultimate pressure
Ulti m ate opera-
1
tional pressure
2
Nominal speed
Start-up Cycle

Oil filling

Coolant Consumption
at Water Temperature
15
c
°
Rating of the
heating
Weight of the pump
Magnetic field ,trength Force du champs mag-
rectangualr to the
rotor axis
ID TPH 110 ON 100 1S0-K
/T PU 110 ON 100 CF
I
Tl
0)
(\J
; j
g
, <
7
I �
--'I
t
f
110 �
3.
Caracteristigues Techniques
TURBO PFEIFFER
Bride d'aspiration
Bride vide primaire
Capacite d'aspira­
tion pour
1/s
Azote
N
2
Helium He
1/s
Hydrogene
H
1/s
2
Debit minimal de la
pompe primaire
Taux de compression
pour N 2
He
H2
Pression finale
mbar
Pression finale
1
mbar
operationelle
2
mbar
mbar
LI/min
Vitesse nominale
Temps de demarrage
min
Charge d'huile
Consommation eau de
refroidissement d
15°c max, de tempe -
rature d'eau
1/h
Puissance du chauf-
Watt
fage
Poids de la pompe
kg
netique transversal
d l'oxe du rotor
mT

TPH 110

TPU 110

DN 100 ISO -K
DN 100 CF
NW 25 KF
170
120
170
1, 5
8
3 • 10
7 • 10
3
500
10-11
1 0- 1 0
1
l
10-9
70 - 8
5
43,000
1
2
6
X
15
60
6
7
HochvakuumanschluB
0
Vorvakuumflansch
G
FlutanschluB
0
KUhlwasseranschluB
0
AnschluB-Antriebselektronik
(D High-Vacuum Connection
0
Fare-Vacuum Flange
G
Flooding Connection
0
Coolant Connection
0
Connector for Electronic Drive
Raccordement v ide eleve
(D
0

Bride vide primoire

G
Raccordement entree d'oir
0
Raccordement eau de re froid is-
sement
C
Branchement commande electro-
nique
8
14

Publicité

Table des Matières
loading

Ce manuel est également adapté pour:

Tpu 110

Table des Matières