Verification Bloc D'alimentotion; Vcrificotion De L'etage Driver - Balzers TPH 110 Instructions De Service

Pompes turbo-moleculain
Table des Matières

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Prufen der IC-Betriebsspannungen
Checking the IC operating voltages
Verification des tensions de fonctionnement
Stecker Jl
bis J4 einstecken
J4
Plug
to
in plugs Jl
En foncer les
fiches Jl
IC 6 + 7
Von/from/de
vo n/ from/ d c
IC 4 + 5
IC 4 + 5
von/from/de
IC 8
von/from/de
IC 9
Von/from/de
IC 9
van/from/de
IC 10
von/from/de
IC 10
van/ from/ de
IC 11
von/from/de
IC 11
van/from/de
PrUfung Scholtnetzteil
Mit Oszilloscope Signal on T13 mes- Measure signal at T13 with on as-
sen: Basis Jl/6 gegen 0,
Amplitude 50 V, 20 kHz
Fehlt dos Signal, dann ist bei
negotivem Bosispotentiol:
ThermofUhler om KUhlkorper und
im Trofo zwischen J3/19 und J3/16
zu UberprUfen (co. 200 Ohm).
bei positivem Bosispotentiol:
Steuerprint vnd T13 ouszutauschen.
Vor erneuter Inbetriebnahme End­
stufentransistaren UberprUfen.
PrUfen der Treiberstuf�
Hollsondenversorgung:
Spannungsversorgung Uber Rl7 (120
Ohm/ l W) 5 V DC. Bei vorhandener
35
IC
d J4
Pin
14
0
Pin
7
0
Pin
0
4
4 +
Pin
8
0
Pin
7
0
Pin
4
0
Pin
1
0
Pin
4
0
Pin
8
0
15
Pin
0
Checking the circuit power pack
cilloscope: base Jl/6 against 0,
Amplitude 50 V, 20 kHz.
If the signal at negative base
potential is missing:
Check thermo-sensor of the cooling
and in the transformer between
J3/19 and J3/16 (approx. 200 Ohm).
for positive base potential:
Replace control print and Tl3.
Check the output stage transistors
prior to again putting it into ope- en morche, verifier les transistors
ration.
Checking the driver stage
Holl probe
Voltage supply via R 17 (120 Ohm/
1 W) 5 V D.C. If Holl probe supply
v.
+ 15
+ 15 V
-
2
V
+
15 V
+
15 V
2
V
+ 15 V
-
2
V
-
2 V
+ 15 V
+sov
ov
-
.5V
supply:

Verification bloc d'alimentotion

de commande
Mesurer le signal au T13 avec un
Jl/6
oscilloscope: base
Amplitude 50 V, 20 kHz.
Fig. 15
Signal Scholtnetzteil
Signal from circuit power pack
Signal du block d'olimentation
de commonde
Si le signal monque le potential
de base etont negatif:
verifier le polepur thermique ou
corps refroidissont et dons le
transformoteur entre J3/19 et
JJ/16
(env. 200 Ohm).
en cos de potentiel de base posi­
tif:
Remplacer le circuit imprime de
commonde et 113. Avant de remettre
d'etage final.

Vcrificotion de l'etage driver

Alimentotion des sondes de
Alimentation de lo tension par R17
(120 Ohm/ l W) 5 V DC, Si l'ali-
contre O.
Hall:

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