Pompe Primaire - Balzers TPH 110 Instructions De Service

kuumleitung. In PFEIFFER-Vorpum­
pen ist ein Sicherheitsventil in­
tegriert. AuBerdem sOllte in die
Vorvakuumleitung ein Federungs­
kOrper oder Wellschlauch einge­
baut werden, um die Ubertragung
von Vibrationen der Vorpumpe he­
robzusetzen.
Alle Verbindungen in der Vorvaku­
umleitung konnen mit Kleinflan­
schen hergestellt werden. Die er­
forderlichen Bauelemente sind im
Abschnitt ZubehOr der Betriebson­
leitung oder im Katalog oufge­
fUhrt.
5.4 Vorpumpe
Als Vorpumpe empfehlen wir unsere
DUO 1.5 A. Wird eine grOBere Vor­
pumpe gewUnscht, kann je nach ge­
fordertem Endvakuum fUr die TPH
110 eine einstufige (UNO.,.) und
fur die TPU 110 eine zweistufige
(DUO ••• ) Drehschiebervakuumpumpe
eingesetzt werden, Bei grOBeren
Vorpumpen ist eine Steuerung mit
(cl,
dem Relaissatz c8) nicht
mOglich.
Die Pumpen zeichnen sich durch ge­
ringe Wasserstoffentwicklung aus.
AuBerdem ist in den Pumpen ein
elektropneumatisches Sicherheits­
ventil integriert. Dieses Ventil
schlieBt bei Stromausfall oder
beim Abschalten. Gleichzeitig
wird die Vorpumpe geflutet. Beim
Einschalten der Vorpumpe Offnet
dos Ventil verzOgert. Hierdurch
erUbrigt sich ein zusdtzliches
Sicherheitsventil in der Vorvaku­
umlei tung.
5.5 KUhlung
Zurn AbfUhren der entstehenden Rei­
bungswdrme und der beim Heizen
auftretenden W�rme mUssen die Pum­
pen TPH und TPU an den Lagern ge­
kUhlt werden.
5.5. 1 WassorkUhlung
Fig.9
Die PFEIFFER-TURBO ist serienmds­
sig wassergekUhlt. Sic kann durch
dos KUhlwassernetz oder van die­
sem unabhdngig Uber dos KUhlaggre­
gat TZK 350 versorgt werden.
und RUcklauf des Kuhlwasscrs kann
beliebig an den AnschlUssen 7 on­
geschlossen werden,
valve . All PFEIFFER backing pumps
are equipped with an incorpora­
ted safety valve. The fore-vacuum
line should be fitted with a bel­
lows or corrugated hose from the
fore-pump.
All connections in the fore-vacu­
um line can be in the form of
small flanges. The requisite com­
ponents are listed in the acces-
sory section of the Operation Ma­
nual or in the Catalogue.
5.4 Fore-Pump
We recommend the employment of
our DUO 1.5 A as the backing pump.
If a larger backing pump is desir­
able, a one-stage (UNO ••• ) rotary
vane pump can be used for the TPH
110 and a two-stage rotary vane
pump (DUO •.. ) for the TPU 110, de­
pending on the required ultimate
vacuum. For bigger backing pumps
a control with the set of relays
(cl,
c8) is not possible.
The pumps distinguish themselves
by low production of hydrogen.
The pumps include, on integral
electro-pneumatic "relief valve,
which closes automatically when­
ever the power fails or the pump
is stopped, simultaneously the
fore-pump is flooded. When the
fore-pump is started, the opening
of the valve is delayed, thus eli­
minating the need for an additio­
nal relief valve in the fore-va­
cuum line ,
5.5 Cooling
To discharge the frictional heat
and the heat generated by the hea­
ter, the TPH and TPU pump bea­
rings must be cooled.
5.5. 1 Water cooling
Fig. 9
The PFEIFFER TURBO is equipped
with a standard water cooling sy­
stem. It can be supplied by the
cooling water system or indepen­
dently of this by the cooling
Vor­
unit TZK 350. System and return
lines of the cooling water con be
connected at Connect.ion 7 as de-
t8 dons la canalisation de vide
prirnaire. Une vanne de securite
est incorporee dons le pompes
pr0liminaires PFEIFFER. Il est
ban 0galement de monter sur cette
canalisation un raccord souple ou
un tube ondule pour reduire la
transmission des vibrations de la

pompe primaire.

Taus les raccords sur la canalisa­
tion de vide p rimaire peuvent se
faired !'aide de petites brides.
Les elements de construction ne­
1
cessoires sont repris au paragra­
phe Accessoires des Instructions
de Service ou dons le catalogue
g0n0ral.
5.4 Pompe primaire
Comme pompe primaire, nous recom­
mondons notre pompe DUO 1.5 A,
l'on veut une pompe primaire plus
importante, on peut, selon le vide
final d0sir0, monter pour TPH 110
une pompe rotative a palettes a
un �toge (UNO .•• ) et pour TPU 110
une pompe d deux 0toges (DUO. , .).
Pour les pompes primaires une com­
monde avec le jeu de relais
c8) n'est pas possible.
Ces pompes se caract0risent par
un foible d0gagement d'hydrogene.
D'autr e part, elles sont munies
1 une vanne de s0curit0 0lectro­
d
pneumatique. Ces vannes se fer­
ment en cos de panne de courant
au quand on arr&te lo pompe. En
meme temps, il se produit une en­
1
tree d air dons lo pompe primaire.
O uand on met en morche la pompe
primaire, lo vanne s'ouvre avec
retard. Cela 0vite d'avoir O mon­
ter une vanne de s0curit0 suppl0-
mentaire dons la canalisation de
vide primaire.
5.5 Refroidissement
Pour 0liminer la chaleur dOe au
frottement et la choleur qui se
produit par 1'0tuvoge,
les paliers des pompes TPH et TPU
soient refroidis.
5.5. 1 Refroidissement par eau
Fig.9
La, TURBO-PFEIFFER est 0quipee de
fa�on standard d'un systeme de re­
froidissemcnt par eau. Elle peut
etre alimentee soit par le circuit
d'eau de la ville, soit ind0pen­
damment de celui-ci par le systeme
de refroidissement TZK 350. On peut
raccorder l'arrivee au la sortie
Si
(cl,
il
faut que
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