Balzers TPH 110 Instructions De Service page 43

Pompes turbo-moleculain
Table des Matières

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PM005204�
0,
1) Bei Fernbedien ungsanschh ,B Brue.ken eritfernen
Remover bridges ol remote control connectio n
Fnlevez les ponts pour lo connexion de la tel€'comrnan dc�
2) Bei Roumtenipe ratur � 24
°
C geschloss en
Clo�ed ot ambient temperature � ?4
Fermie IJ lo tAmpCratur e ombiente;;::: 2�
71 Bei LuftkUhlung gebruckt
When □ir�c.oolecl bridged
En cos de refroidiss ement a oi� il
foi.it faire le pont.
KUhlwosserw□c:hter
Cooling water monitor
Controlleur ecu de refroidissement
5
Fernbedienung
Remote control
T�lecommande
9
Fl utven ti 1 TURBO-Pumpe
Air inlet v□lve TURBO pump
Vonne d' entre-e d
air/ pompe ruRRO
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41
TPU /TPH - 110/270
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TCP 270
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TCS 101
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°
C.
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Vorp\.Jrnpe
Racking pump
Pompe primoire
6
Stromausfall fluter
Emergency venting volve
Vonne de rornise d l � oir
en cas dP. coupv:re de qouront
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3
3
Kuhlaggregat oder Luftkuhlung
Coaling unit or oir cooling
Systeme de refroidissen1ent ou
refroidissement par air
7
Flutventil Rezipient
Air inlet valve, chamber
1
Vonne d
entr8e d'a..ir,
r�cipient
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Hei:zung
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HV-Venl il
HV valve
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PM 005 227-S
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7
9
Fig. 7

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