Description Du Systeme; Description Des Types; Fonctionnement Général - Burkert 8626 Instructions De Service

DESCRIPTION DU SYSTEME

Description des types

Ces istructions de service contiennent des informations relatives aux
MassFlowController (MFC) et MassFlowMeter (MFM) faisant partie du
programme de produits Bürkert:
Type Modèle
Gamme de valeur
finale Q
8626 MFC
8006 MFM
8716 MFC
8706 MFM
8712 MFC
8702 MFM
8710 MFC
8700 MFM
1 )
Observer à cet effet les recommandations relatives aux types 8626/8006 dans le chapitre Brochage
des connecteurs type 8626/8006.
2 ) CMOSens ® est une marque déposée de la société Sensirion SA (Suisse).
Fonctionnement général
Les MFC du type 8626, 8716, 8712 et 8710 sont des appareils compatibles dont la
fonction et de contrôler le débit massique de gaz. Ils assurent la régulation en
fonction d'une consigne de débit prédéterminée, indépendamment des grandeurs
perturbatrices telles que fluctuations de pression ou résistance à l'écoulement
variable dans le temps, résultant par exemple du colmatage d'un filtre.
Les MFC coniennent les composants suivants: capteur de débit (Q-Sensor),
l'électronique (assurant les fonctions de traitement du signal, de régulation et de
commande de la vanne) et une électrovanne proportionnelle constituant l'organe
de réglage.
w x =w-x
d
x
Régulateur
p
Capteur Q
Figure: Composants d'un Mass Flow Controller
(l /min)
nenn N
rapporté à air / N
2
25 ... 1500
25 ... 1500
25 ... 1500
25 ... 1500
0,02 ... 50 Bypass CMOSens
0,02 ... 50 Bypass CMOSens
0,05 ... 30 Bypass Standard
0,05 ... 30 Bypass Standard
y
Organe de
réglage
Capteur Remarques
Inline pour appareils
dès janv. 2003
Inline pour appareils
dès janv. 2003
Inline
Inline
® 2)
® 2)
x
out
MFC/MFM - 81
1)
1)