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Tableau 3 – Caractéristiques techniques des pompes DX (suite)
Paramètre
Taux de compression à l'admission
N
2
He
H
2
Vitesse de pompage interétage, pour
pompes DX interétage avec N
DN16NW)
Débit de 70 sccm via l'orifice interétage
Débit de 5 sccm via l'orifice interétage
Vitesse de pompage interétage, pour
N
2
He
Pression limite :
avec une pompe secondaire rotative
*
à palettes :
avec une pompe secondaire à membrane :
*
Pression limite 48 heures après étuvage avec pompe secondaire rotative à palettes 2 étages.
†
Pression limite 48 heures après étuvage avec P
Paramètre
Poids
Bride d'admission
Bride de refoulement
Orifice de remise à l'air
Orifice de purge
Orifice interétage (en option)
Vitesse de pompage à l'admission
N
2
He
H
2
Taux de compression à l'admission
N
2
He
H
2
Vitesse de pompage interétage,
pour pompes DX interétage avec N
Débit de 70 sccm via l'orifice
interétage
Débit de 5 sccm via l'orifice
interétage
© Edwards Limited 2008. Tous droits réservés.
Edwards et le logo Edwards sont des marques d'Edwards Limited.
EXT75DX
ISO63
>1 x 10
1 x 10
5 x 10
(orifice
2
10 l s
3 l s
-
-
-9
<5 x 10
†
-8
<5 x 10
<5 mbars (500 Pa).
b
Tableau 4 – Caractéristiques techniques des pompes DX
EXT255DX ISO100
6,25 kg
DN100ISO-K
DN25NW
1/8" BSP
1/8" BSP
–
-1 *
220 l s
-1 *
230 l s
-1 *
180 l s
8
>1 x 10
5
4 x 10
4
1 x 10
2
-
-
EXT75DX
63CF
11
11
>1 x 10
6
6
1 x 10
4
4
5 x 10
-1
-
-1
-
-
-
-10
mbar
<5 x 10
mbar
-9
mbar
<5 x 10
mbar
EXT255iDX ISO100
6,5 kg
DN100ISO-K
DN25NW
1/8" BSP
1/8" BSP
DN25NW
-1 *
220 l s
-1 *
230 l s
-1 *
180 l s
8
>1 x 10
5
3 x 10
4
1 x 10
-
-
B722-40-883 Issue E
EXT75DX
EXT75DX
NW40
ISO100
11
>1 x 10
>1 x 10
6
1 x 10
1 x 10
4
5 x 10
5 x 10
-
-
-
-
-
-
-
-
-9
-9
<5 x 10
mbar
<5 x 10
-8
-8
<5 x 10
mbar
<5 x 10
EXT255DX
100CF
8,5 kg
DN100CF
DN25NW
1/8" BSP
1/8" BSP
–
-1 *
220 l s
-1 *
230 l s
-1 *
180 l s
8
>1 x 10
5
4 x 10
4
1 x 10
-
-
11
6
4
mbar
mbar
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