Edwards EXT Serie Mode D'emploi

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Description

EXT556H / DN160ISO-K

EXT556H / DN160CF

EXT556H / DN160ISO-K (admission fine)

EXT556HF / DN160ISO-K

EXT556HF / DN160CF

Mode d'emploi

Pompes turbomoléculaires hybrides EXT :

EXT556H et EXT556HF

B777-50-883

Issue C

Numéro de référence

B777-51-000

B777-52-000

B777-61-000

B777-57-000

B777-58-000

Sommaire des Matières pour Edwards EXT Serie

Page 1 B777-50-883 Issue C Mode d'emploi Pompes turbomoléculaires hybrides EXT : EXT556H et EXT556HF Description Numéro de référence EXT556H / DN160ISO-K B777-51-000 EXT556H / DN160CF B777-52-000 EXT556H / DN160ISO-K (admission fine) B777-61-000 EXT556HF / DN160ISO-K B777-57-000 EXT556HF / DN160CF B777-58-000...
Page 2 Déclaration de conformité Nous, la société Edwards, Crawley Business Quarter, Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, R.U. déclarons sous notre entière responsabilité, en tant que fabricant et personne établie dans l'UE et autorisée à constituer le dossier technique, que le ou les produit(s) suivant(s) Pompes turbomoléculaires hybrides EXT556H :...
Page 3 Nettoyage de la pompe ....................23 Identification des pannes ....................24 Stockage et mise au rebut ..............27 Stockage ........................27 Mise au rebut ......................27 © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Page i Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 4 Dimensions et caractéristiques des pompes EXT556H .............18 Installation des pièces détachées et des accessoires en option sur la pompe EXT556H .....31 Page ii © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 5 Référence du document Contrôleurs de pompes turbomoléculaires EXC120/120E/300/300M D396-14-880 Contrôleurs de pompes turbomoléculaires EXC250E/250L D396-36-880 Modules d'entraînement de pompes turbomoléculaires EXDC D396-40-880 © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Page iii Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 7 EXT556H de Edwards. Lisez et respectez toutes les instructions qui y figurent. La pompe EXT556H est conçue pour être utilisée avec un contrôleur EXC ou EXDC de Edwards. Lisez ce manuel et celui accompagnant le contrôleur avant d'installer ou d'utiliser l'équipement. Le manuel du contrôleur contient des informations détaillées sur l'installation électrique.
Page 9 Remarque : La compression de la pompe peut modifier les concentrations de gaz. © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Page 3 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 10 Lorsqu'elles sont purgées avec un gaz inerte, les pompes peuvent être utilisées pour pomper de l'oxygène dans des concentrations supérieures à 20 % par volume. Page 4 © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 11 Pression d'eau maximale 5 bars (relatifs) (73,5 psig, 6 x 10 Matériaux exposés à l'eau de refroidissement Cuivre, laiton et nickelage © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Page 5 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 12 Refroidissement par air forcé, 1,0 x 10 mbar temp. ambiante 35 °C Refroidissement par eau à 15 °C 2,0 x 10 mbar Page 6 © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 13 Temps de montée en régime à 90 % : EXC250 < 8 minutes EXC300 < 8 minutes EXDC160 < 8 minutes © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Page 7 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 14 Ainsi, le gaz lourd présente une masse atomique supérieure à 28 UMA et le gaz léger, une masse atomique inférieure ou égale à 28 UMA. †† Si le refroidissement par air s'avère nécessaire, Edwards recommande l'ACX555. Page 8 © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés.
Page 15 B777-50-883 Issue C Figure 1 – Orientation de montage de la pompe EXT556H 1. Admission 2. Orifice de refoulement © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Page 9 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 17 Pompe turbomoléculaire EXT556H Ecran d'aspiration (monté) Joint d'admission (joint torique avec bague de renfort, joint Co-Seal ou joint à compression en cuivre) © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Page 11 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 18 (fourni monté) 12. Raccords d'eau de 17. Vanne de remise à l'air 5. Pompe EXT refroidissement 6. Vanne secondaire Page 12 © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 19 Si vous utilisez une pompe EXT556H DN160CF, employez un jeu complet de 20 boulons M8 pour fixer la pompe à votre système de vide. © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Page 13 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 20 Figure 3 – Schéma de l'écran d'aspiration – ôtez les vis "A" pour retirer l'écran d'aspiration. N'ôtez pas les vis "B" Page 14 © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 21 Employez éventuellement des soufflets ou des tuyaux flexibles pour réduire la transmission de vibrations de la pompe secondaire à la pompe EXT556H. Nous recommandons l'utilisation d'une pompe secondaire RV de Edwards. La taille minimum de la pompe secondaire requise est indiquée au Tableau 5.
Page 22 à l'air. Figure 4 – Vitesse maximale de montée en pression lors de la remise à l'air Page 16 © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 23 Ne retirez pas le câble du contrôleur EXDC/EXC de la pompe avant que celle-ci ne soit complètement arrêtée, au risque d'exposer le personnel à des tensions dangereuses et d'endommager le contrôleur EXDC/EXC. © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Page 17 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 24 3. Orifice de refoulement (NW25) 2. Connecteur de l'alimentation 4. Bouchon de purge électrique 5. Point de mise à la masse Page 18 © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 25 1. Enfoncez le tuyau renforcé (environ 6 mm de diamètre interne) dans les extrémités des embouts cannelés du refroidisseur par eau. 2. Fixez le tuyau à l'aide de puissants colliers de serrage que vous serrerez fermement. © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Page 19 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 26 Le modèle EXT556HF subit de puissantes forces d'attraction à proximité ou dans des champs magnétiques. Assurez-vous que la pompe est solidement fixée à l'installation avant de l'exposer à un champ magnétique. Page 20 © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 27 5. Etant donné que le rotor tourne librement dans un système de vide, il lui faudra environ 40 minutes pour ralentir et s'arrêter complètement si la pompe n'est pas du tout remise à l'air. © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Page 21 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 28 Chauffer la pompe empêche également la condensation de vapeurs à l'intérieur de celle-ci. Vous pouvez utiliser la ceinture d'étuvage BX d'Edwards pour chauffer la pompe (reportez-vous à la Section 7). Placez la ceinture autour de la pompe, juste en dessous de la bride d'admission.
Page 29 Si l'intérieur de la pompe EXT556H est contaminé, vous ne pourrez peut-être pas atteindre le vide limite spécifié ou le temps de pompage risque d'augmenter. Vous devez renvoyer la pompe à un centre de service Edwards où elle sera démontée et nettoyée. Suivez la procédure décrite à la fin de ce manuel.
Page 30 EXC est-il EXC est défectueux. S'il est allumé, allumé ? la pompe EXT est défectueuse. Consultez Edwards ou votre fournisseur. Page 24 © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 31 Le contrôleur EXC s'arrête en mode Consultez Edwards ou votre "Défaillance" – tous les voyants de fournisseur. vitesse sont allumés. © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Page 25 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 32 Si tel est le cas, le rotor est peut- aigu constant ? être déséquilibré. Consultez Edwards ou votre fournisseur. Aucun des symptômes ci-dessus. – Consultez Edwards ou votre fournisseur. Page 26 © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 33 N'incinérez pas la pompe. Elle contient des substances phénoliques et à base de fluorosilicone susceptibles de se décomposer en substances dangereuses lorsqu'elles sont chauffées à haute température. © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Page 27 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 35 établissements Edwards. Commandez les pièces détachées et les accessoires en vous adressant à la société ou au distributeur Edwards le plus proche. Lors de la commande, indiquez pour chaque composant requis les éléments suivants : le numéro de modèle et le numéro de référence de votre équipement ;...
Page 36 EXT. 7.4.2 Contrôleur EXC Les contrôleurs EXC de Edwards offrent les fonctionnalités nécessaires pour faire fonctionner un système de pompage basé sur une pompe EXT556H. Les numéros de référence des contrôleurs EXC sont indiqués au Tableau Tableau 11 –...
Page 37 à l'air d'étuvage 6. Electrovanne de remise montée) 17. Ensemble refroidisseur à l'air TAV 11. Refroidisseur par eau WCX par air ACX © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Page 31 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 38 à une application particulière. Tableau 17 – Refroidisseur par air ACX Pompe Refroidisseur par air Numéro de référence EXT556H/HF ACX555 B580-53-561 Page 32 © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 39 Restricteur de remise à l'air Diamètre de l'orifice (mm) Numéro de référence VRX10 B580-66-021 VRX20 B580-66-022 VRX30 B580-66-023 VRX50 B580-66-024 VRX70 B580-66-025 © Edwards Limited 2008. Tous droits réservés. Page 33 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.

Ce manuel est également adapté pour:

Ext556h Ext556hf B777-51-000 B777-52-000 B777-61-000 B777-57-000 ... Afficher tout