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Symptôme
Le voyant "Normal" vert ne s'allume
pas, la pompe ne tourne pas à sa
vitesse maximale ou elle s'arrête en
cours de fonctionnement
Il est impossible d'atteindre la
pression limite
© Edwards Limited 2008. Tous droits réservés.
Edwards et le logo Edwards sont des marques d'Edwards Limited.
Tableau 23 – Identification des pannes (suite)
Vérification
La pression d'admission est-elle trop
élevée ?
La pompe est-elle trop chaude ?
Le rotor tourne-t-il librement ?
La pression est-elle limitée par de la
vapeur d'eau ?
L'une des jauges de vide est-elle
contaminée ?
La vitesse de pompage est-elle
insuffisante (en raison d'une
mauvaise conductance entre la
pompe et la jauge ou d'une chambre
trop grande) ?
La pression d'admission interétage
est-elle >0,5 mbar (50 Pa)
La pression de refoulement est-elle
3
>10 mbars (1x10
Pa) ?
La zone de vide poussé du système
est-elle contaminée ?
Vérifiez si le reste du système ne
présente pas de fuites ni de
contamination.
B722-40-883 Issue E
Action
Si tel est le cas, réduisez la charge
de pompage ou vérifiez l'absence
d'une fuite importante dans le
système.
Intensifiez le refroidissement de la
pompe. Vous devrez peut-être passer
du refroidissement par air au
refroidissement par eau (reportez-
vous à la
Section 2
pour les
spécifications relatives au
refroidissement et à la pression
d'admission maximale). Vous devrez
peut-être augmenter le débit d'eau
de refroidissement ou diminuer la
température de l'eau, ou les deux.
Vérifiez si les sources de chaleur
externes (comme les éléments
chauffants des ceintures d'étuvage)
ne sont pas excessives.
Si ce n'est pas le cas, les roulements
de la pompe sont peut-être
endommagés. Contactez votre
fournisseur ou Edwards.
Etuvez le système et la pompe.
Si tel est le cas, nettoyez-la ou
remplacez-la.
Augmentez la conductance ou
réduisez le volume.
Si la pression d'admission interétage
est trop élevée, la pression au niveau
de l'admission turbomoléculaire
augmente ; assurez-vous que la
pression d'admission interétage est
< à 0,5 mbar (50 Pa).
Si tel est le cas, la pression de
refoulement est peut-être trop
élevée. Vérifiez l'absence de fuites
dans la canalisation d'amorçage.
En présence d'un débit élevé, vous
aurez peut-être besoin d'une pompe
secondaire plus grande.
Si tel est le cas, nettoyez le système
de vide poussé.
Si tel est le cas, colmatez les fuites
et nettoyez les zones contaminées.
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