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Introduction
1.1
Portée et définitions
Ce manuel présente les instructions de montage, d'utilisation, d'entretien et de stockage des pompes
turbomoléculaires hybrides DX de Edwards. Il convient d'utiliser les pompes DX comme indiqué dans ce manuel, au
risque d'annuler la garantie les accompagnant.
Lisez ce manuel avant d'installer et d'utiliser la pompe DX. Les informations de sécurité importantes sont mises en
évidence dans des encadrés intitulés AVERTISSEMENT et ATTENTION. Vous devez en respecter les consignes.
L'utilisation de ces AVERTISSEMENT et ATTENTION est définie ci-dessous.
Un message Avertissement est prévu chaque fois que le non-respect d'une consigne risque
d'entraîner mort ou blessure.
Un message Attention est prévu chaque fois que le non-respect d'une consigne risque d'endommager
l'équipement, le matériel et le processus.
Les unités utilisées dans l'ensemble de ce manuel sont conformes au système international SI d'unités de mesure.
L'abréviation "sccm", signifiant "centimètres cubes standard par minute", est utilisée pour spécifier des débits.
Elle correspond à un débit de 1 cm
5
(1,013 x 10
Pa).
Conformément à la norme EN61010, les symboles d'avertissement suivants figurent sur la pompe DX :
Avertissement - consulter la documentation fournie.
Avertissement - surfaces chaudes.
Les unités utilisées dans l'ensemble de ce manuel sont conformes au système international SI d'unités de mesure ; les
valeurs américaines équivalentes sont également mentionnées le cas échéant.
1.2
Description générale
Une utilisation inadéquate de l'équipement risque de l'endommager ou d'occasionner
des blessures. L'utilisateur est responsable du fonctionnement sûr, de l'installation et de la
surveillance du système.
© Edwards Limited 2008. Tous droits réservés.
Edwards et le logo Edwards sont des marques d'Edwards Limited.
AVERTISSEMENT
ATTENTION
3
-1
min
à une température ambiante de 0 °C et une pression de 1013 mbars
AVERTISSEMENT
B722-40-883 Issue E
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