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Edwards Diffstak 63/150M Mode D'emploi page 41

Pompes à diffusion

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Figure 19 - Système de pompage type : Pompes Diffstak 250/2000
1. Système de vide poussé
2. Vanne d'admission d'air
3. Tête de jauge à vide poussé
4. Vanne de prévidage
5. Tête de jauge de refoulement
© Edwards Limited 2007. Tous droits réservés.
Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées de Edwards Limited.
6. Vanne d'admission d'air
7. Pompe secondaire rotative
8. Vanne de refoulement
9. Pompe Diffstak
10. Vanne d'isolement à vide poussé
B344-21-883 Edition N
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